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本实用新型公开了一种双瓶高低压吹扫装置，包括工艺调节盘面、左钢瓶、右钢瓶、过滤装置和固定支架；工艺调节盘面内设置有输气管路，输气管路内设置有第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门、第五阀门、第六阀门、第一高压表、第二高压表、第一调压阀和第二...
该专利属于上海兄弟微电子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海兄弟微电子技术有限公司授权不得商用。

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