用于曲面检测的光学检测装置制造方法及图纸

技术编号:30124988 阅读:11 留言:0更新日期:2021-09-23 08:36
本申请提供一种用于曲面检测的光学检测装置,具有摄像机用以检测待测物的弧面,光学检测装置还包含:至少一导光件呈弧形,其内表面定义一检测区域;多个隔板,彼此间隔设置于导光件的外表面;以及多个光源,远离导光件且分别设置于该些隔板之间;其中,摄像机接受检测区域中待测物的反射光线以取得检测结果。测区域中待测物的反射光线以取得检测结果。测区域中待测物的反射光线以取得检测结果。

【技术实现步骤摘要】
用于曲面检测的光学检测装置


[0001]本申请是关于光学检测装置,特别是一种可用于对待测物品的曲面进行检测的检测装置。

技术介绍

[0002]自动光学检测技术(AOI)在半导体制造过程中扮演重要角色,为了避免后续制造的产品有缺陷,半导体制造过程中会以自动光学检测进行初步检验,目前常见的自动光学检测系统多半是针对平面的待测物品做设计,实际上有许多待测物品的检测面为曲面,目前的检测技术较不容易检测出曲面上的缺陷。

技术实现思路

[0003]本申请所要解决的技术问题在于提供一种光学检测装置,特别是一种可用于曲面检测的光学检测装置。
[0004]根据本申请目的,提供一种光学检测装置,具有摄像机用以检测待测物的弧面,光学检测装置还包含:至少一导光件至少部分围绕该曲面,其内表面定义一检测区域;多个隔板,彼此间隔设置于该导光件的外表面;以及多个光源,远离该导光件且分别设置于相邻的二隔板之间。
[0005]待测物的至少一部分设置于检测区域,该待测物的待测弧面具有一延伸轴以及与该延伸轴垂直的一参考轴,该摄像机定义出一取像轴,该参考轴与该取像轴夹角为锐角。
[0006]其中该光源为可见光或不可见光,该光源的发光方向为一光轴,该光轴与该取像轴夹角介于0度到150度之间。
[0007]较佳的,该至少一导光件的数量为二个,该些导光件的开放端相面对形成二开口。
[0008]较佳的,该隔板表面可以是吸光面或反射面,能集中该光源所发射的光线。
[0009]有关本申请的其它功效及实施例的详细内容,配合图式说明如下。
附图说明
[0010]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0011]图1是本申请的第一实施例示意图;
[0012]图2是本申请的第一实施例使用示意图;
[0013]图3是本申请的第二实施例示意图;
[0014]图4是本申请的第二实施例使用示意图。
[0015]符号说明
[0016]A:取像轴
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
B:参考轴
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
C:延伸轴
[0017]D:光源平面
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
E:取像平面
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
L:光轴
[0018]10:导光件
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
11:检测区域
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
20:隔板
[0019]30:光源
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
40:摄像机
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
50:待测物
具体实施方式
[0020]在下文的实施方式中所述的位置关系,包括:上,下,左和右,若无特别指明,皆是以图式中组件绘示的方向为基准。
[0021]请参阅图1至图2,绘示一种光学检测装置,包含一导光件10,该导光件10呈弧形,该导光件10呈C型且其内表面定义一检测区域11,多个隔板20沿着该导光件10的外表面等角度间隔设置,多个光源30远离该导光件10且分别设置于相邻的二隔板20之间,使光源30可以朝向导光件10发射光线,以及一摄像机40,用以接收该些光源30通过导光件10后抵达至待测物50表面所反射的光线,以取得待测物50表面的影像。由于导光件10具有将光线散射或扩散的功能,可以使进入检测区域11中的光线均匀分布,因此,可以均匀的照射在待测物的圆弧曲面,提高摄像机40所拍摄影像的清晰程度,而得知该表面是否有瑕疵。
[0022]该导光件10在本实施例为一体成形的单一组件,亦可视需要变化成由多个导光单元相互组装而成,无论其材质或结构,只要能达成光线散射或扩散的功能,均可视为导光件10的等效结构。前述导光单元也可以供连接隔板20及光源30连接,形成照明模块。
[0023]于本实施例中,每一光源30可以是不同波长的色光、白光或不可见光,该些隔板20表面可以是吸光面或是反射面,该些隔板20两两间隔设置用以集中光线并增强光线照射强度,也可以避免该些光源30的色光互相影响。此外,本申请所属
的通常知识者可以依照待测物50的曲面角度变化,视需要将该些光源30单独点亮、依序点亮或是全部同时点亮。补充说明的是该些隔板20具有阻隔两相邻光线在导光件10前互相影响的功效,于其他实施例中不以此为限,可以采用任何外形、材料或方法。
[0024]于本实施例中,该检测区域11大致呈圆柱状,待测物50待检测部分设置于该检测区域11中,该导光件10能接收该光源30的光线传递至该检测区域11,使光线能均匀分布至该待测物50的表面。因此,该待测物50可以是圆管状、圆盘状或是具有一圆弧边缘的任意形状。该摄像机40设置以接受该待测物50反射的光线。
[0025]待测物50、导光件10、摄像机40的具体位置可参考图2,待测物50为圆柱状而使其待测圆弧面具有一延伸轴C(即圆柱的轴心),并定义出一参考轴B垂直于该延伸轴C,该摄像机40的镜头方向定义成一取像轴A,使得该参考轴B与该取像轴A夹角θ2为锐角。该些光源30的出光方向共一平面且定义一光源平面D与该延伸轴C相交,该光源平面D与该参考轴B夹角θ1为锐角。本申请所属
的通常知识者可以根据待测物50的外观或待侧面设定延伸轴C与参考轴B,并微调θ1、θ2使摄像机40的镜头方向可以微调朝向待测物的圆弧面。
[0026]请参阅图3至图4为本申请的第二实施例,其中二导光件10的内表面定义一检测区域11,导光件10的开放端相远离形成二开口,该些开口位同一轴线(取像轴A)上,并将该摄像机40设置于其中的一开口的一侧,此外,本申请所属
的通常知识者可以视需要调整导光件10的数量及设置位置,当光源30挡住摄像机40视角时,可以将该光源30拿掉,此时,该摄像机40与该些光源30的出光方向大致位于同一平面,该摄像机40的取像轴A朝向待测物50的表面,并定义与该取像轴A垂直的一取像平面E,其中各该光源30的发光方向为一
光轴L,该光轴L与该取像轴A夹角介于0度到150度之间,进一步地该光轴L与该取像轴A可以介于80度到150度之间,以检测待测物的圆弧曲面,而得知该表面是否有瑕疵。于其他实施例中,该导光件10数量为二个以上,但实施上不以此为限,例如可以用任何外形、材料或方法。
[0027]在第二实施例中,所有光源30的多个光轴与取像轴A之间的夹角均介于0度到150度之间。
[0028]以上所述的实施例及/或实施方式,仅是用以说明实现本申请技术的较佳实施例及/或实施方式,并非对本申请技术的实施方式作任何形式上的限制,任何本领域技术人员,在不脱离本申请内容所公开的技术手段的范围,当可作些许的更动或修饰为其它等效的实施例,但仍应视为与本申请本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于曲面检测的光学检测装置,具有一摄像机用以检测一待测物的一曲面,其特征在于,该光学检测装置还包含:至少一导光件至少部分围绕该曲面,具有将光线散射或扩散的功能,其内表面定义一检测区域;多个隔板,彼此间隔设置于该导光件的外表面;以及多个光源,远离该导光件且分别设置于相邻的二隔板之间。2.根据权利要求1所述用于曲面检测的光学检测装置,其特征在于,该检测区域容设该待测物的至少一部分,该待测物的弧面具有一延伸轴以及一参考轴垂直于该延伸轴,该摄像机定义出一取像轴,该参考轴与该取像轴夹角为锐角。3.根据权利要求1所述用于曲面检测的光学检测装置,其特征在于,该摄像机定义出一取像轴,该些光源的发光方向为多个光轴,该些光轴与该取像轴夹角均介于0度到150度之间。4.根据权利要求1所述用于曲面检测的光学检...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈泳男郑钦源
申请(专利权)人:极智光电股份有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1