光源装置及使用该光源装置的自动光学检测系统制造方法及图纸

技术编号:30734014 阅读:40 留言:0更新日期:2021-11-10 11:37
本申请提供一种光源装置,包含一弧形壳体,一发光单元与一导光结构相间隔的设置于该弧形壳体内,该导光结构具有一入光面靠近该发光单元,以及相对该入光面的一出光面,该发光单元所发射的光线会在该导光结构内多次反射后均匀地照射至一待测物品表面。后均匀地照射至一待测物品表面。后均匀地照射至一待测物品表面。

【技术实现步骤摘要】
光源装置及使用该光源装置的自动光学检测系统


[0001]本申请是一种光源装置,特别是一种可供自动光学检测(AutomaticOptical Inspection,AOI)设备使用的光源装置,以及使用前述光学组件的检测用光源,可以提高自动光学检测的准确度。

技术介绍

[0002]自动光学检测技术在半导体制造过程中扮演重要脚色,为了避免后续制造的产品有缺陷,半导体制造过程中会以自动光学检测进行初步检验,检测过程中会使用发光二极管照射待测物品并以摄像机接收检测画面,而发光二极管照射至待测物品的光线强度会受到发光二极管的排列位置影响,容易使得待测物品受光不均匀,造成检测不够精准的问题。

技术实现思路

[0003]本申请所要解决的技术问题在于提供一种光源装置,特别是一种可供自动光学检测(Automatic Optical Inspection,AOI)设备使用的光源装置,能够提高自动光学检测的精准度。
[0004]根据本申请目的,提供一种光源装置,包含一弧形壳体,为一中空壳体且具有二开放端部,一发光单元设置于该弧形壳体内,该发光单元包本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光源装置,其特征在于,包含:一弧形壳体,呈弯弧状而具有二开放端部;一发光单元,设置于该弧形壳体内;以及一导光结构,设置于该弧形壳体内并且与该发光单元相间隔,该导光结构具有一入光面靠近该发光单元,及相对远离该发光单元的一出光面。2.根据权利要求1所述的光源装置,其特征在于,该发光单元包含一印刷电路板及多个发光二极管,该些发光二极管设置于该印刷电路板的一表面。3.根据权利要求1所述的光源装置,其特征在于,该导光结构横断面为三角形。4.根据权利要求3所述的光源装置,其特征在于,该导光结构具有一反射面位于该入光面与该出光面之间。5.根据权利要求4...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈泳男郑钦源
申请(专利权)人:极智光电股份有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1