一种半导体器件边角打磨辅助设备制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体器件加工辅助设备的技术领域，具体为一种半导体器件边角打磨辅助设备，其能提高对打磨产生的粉尘的输送效果，同时可根据半导体晶圆的尺寸对支座高度进行相对调整，提高支撑效果和适应能力，且减小半导体晶圆与支座间的摩擦力，提高其转动效果和打磨效果，增强使用可靠性；包括底座、支架、电动缸、安装座、打磨块、固定机构、旋转机构、处理箱、排风扇、支座和输送管，输送管输入端上固定有输送头；还包括四组减震座、分流管、两组螺纹管、两组螺纹杆、两组下滚珠轴承和两组支撑板，支座包括两组支块、两组上滚珠轴承、两组连接轴和支柱，支柱中部外侧壁上设置有环形凹槽，输送管和输送头均设置有三组。输送管和输送头均设置有三组。输送管和输送头均设置有三组。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体器件边角打磨辅助设备


[0001]本技术涉及半导体器件加工辅助设备的
，具体为一种半导体器件边角打磨辅助设备。

技术介绍

[0002]众所周知，半导体晶圆在生产过程中，需对其外侧面进行打磨；现有的一种半导体器件边角打磨辅助设备包括底座、支架、电动缸、安装座、打磨块、固定机构、旋转机构、处理箱、排风扇、支座和输送管，支架、固定机构、旋转机构和支座均固定在底座顶端，且固定机构、旋转机构和支座均位于支架下方，电动缸安装在支架上，电动缸的底部输出端上设置有活塞杆，安装座固定在活塞杆底端，打磨块固定在安装座底端，处理箱固定在底座顶端左侧，排风扇固定在处理箱内部，输送管连通固定在处理箱顶端，输送管输入端上固定有输送头，且输送头位于打磨块处；这种半导体器件边角打磨辅助设备使用时将半导体晶圆插入至固定机构和旋转机构之间，并使半导体晶圆底端与支座顶端接触，同时通过固定机构进行固定，之后控制电动缸带动活塞杆进行伸长，直至打磨块与半导体晶圆顶端接触，之后控制旋转机构带动半导体晶圆进行转动，通过打磨块对转动过程中的半导体晶圆外侧面进行打磨，打磨过程中控本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体器件边角打磨辅助设备，包括底座(1)、支架(2)、电动缸(3)、安装座(4)、打磨块(5)、固定机构(6)、旋转机构(7)、处理箱(8)、排风扇(9)、支座(10)和输送管(11)，支架(2)、固定机构(6)、旋转机构(7)和支座(10)均固定在底座(1)顶端，且固定机构(6)、旋转机构(7)和支座(10)均位于支架(2)下方，电动缸(3)安装在支架(2)上，电动缸(3)的底部输出端上设置有活塞杆，安装座(4)固定在活塞杆底端，打磨块(5)固定在安装座(4)底端，处理箱(8)固定在底座(1)顶端左侧，排风扇(9)固定在处理箱(8)内部，输送管(11)输入端上固定有输送头(12)；其特征在于：还包括四组减震座(13)、分流管(14)、两组螺纹管(15)、两组螺纹杆(16)、两组下滚珠轴承(17)和两组支撑板(18)，所述支座(10)包括两组支块(19)、两组上滚珠轴承(20)、两组连接轴(21)和支柱(22)，支柱(22)中部外侧壁上设置有环形凹槽(23)，所述两组连接轴(21)分别固定在支柱(22)左右两端上，两组支块(19)上均设置有上放置槽，所述两组上滚珠轴承(20)分别固定在两组上放置槽内部，且两组连接轴(21)分别插入至两组上滚珠轴承(20)内部，所述底座(1)顶端设置有两组下放置槽，两组下滚珠轴承(17)分别固定在两组下放置槽内部，所述两组螺纹管(15)底端分别插入至两组下滚珠轴承(17)内部，两组螺纹杆(16)底端分别插入并螺装在两组螺纹管(15)顶端内部，所述两组支撑板(18)分别固定在两组螺纹杆(16)顶端，且两组支撑板(18)顶端分别与两组支块(19)底端连接，所述输送管(11)和输送头(12)均设置有三组，分流支管连通固定在处理箱(8)顶端，所述三组输送管(11)分别连通固定在分流支管的三组输出端上，输送头(12)分别位于支座(10)左侧和打磨块(5)左右两侧处，所述四组减震座(13)均固定在底座(1)顶端左侧，且四组减震座(13)顶端分别与处理箱(8)底端四角处连接。2.根据权利要求1所述的一种半导体器件边角打磨辅助设备，其特征在于：所述旋转机构(7)包括第一支撑架、伺服电机(101)、第一固定板(102)和第一橡胶板，第一支撑架固定在底座(1)顶端，所述伺服电机(101)固定在第一支撑架顶端，伺服电机(101)的右部输出端上设置有传动...

【专利技术属性】
技术研发人员：马克军，
申请(专利权)人：致胜精工机电天津有限公司，
类型：新型
国别省市：