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本实用新型涉及半导体器件加工辅助设备的技术领域，具体为一种半导体器件边角打磨辅助设备，其能提高对打磨产生的粉尘的输送效果，同时可根据半导体晶圆的尺寸对支座高度进行相对调整，提高支撑效果和适应能力，且减小半导体晶圆与支座间的摩擦力，提高其转动...
该专利属于致胜精工机电（天津）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过致胜精工机电（天津）有限公司授权不得商用。

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