本实用新型专利技术涉及废气处理技术领域，且公开了光刻胶生产用废气处理装置，包括外壳，所述外壳左端的下部固定安装有送气管，且外壳内部的中部固定安装有中间块，所述中间块的中部固定安装有第一风扇，所述外壳内部上端的两侧均固定安装有两个限位条，两个所述限位条的内部均活动卡接有填料板。该光刻胶生产用废气处理装置，通过设置有外壳、填料板与光触媒板等达到废气处理效果好的目的，注入到内部的废气预先会经过水体的清洗，随后再经由填料板的化学反应中和，最后进入的一些相对特殊的气体则是会被光触媒设备进行处理，整个处理过程按照一定的顺序进行，确保了各个环节工作的专一，保证其废气处理效果好。证其废气处理效果好。证其废气处理效果好。
【技术实现步骤摘要】
光刻胶生产用废气处理装置
[0001]本技术涉及废气处理
，具体为光刻胶生产用废气处理装置。
技术介绍
[0002]光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展，更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用，印刷工业是光刻胶应用的另一重要领域，1954年由明斯克等人首先研究成功的聚乙烯醇肉桂酸脂就是用于印刷工业的，以后才用于电子工业，光刻胶是一种有机化合物，它被紫外光曝光后，在显影溶液中的溶解度会发生变化，硅片制造中所用的光刻胶以液态涂在硅片表面，而后被干燥成胶膜。
[0003]整个光刻胶在生产过程中往往需要添加非常多的化学材料，伴随着材料的散热，生产过程中也会持续不断的产生废气，这些废弃大规模的排放到空气中会对环境造成严重的污染，因此需要将其收集进行集中处理，现有的光刻胶生产用废气处理装置往往只能够针对废气中灰尘杂质颗粒进行处理，废气中含有的部分化学气体则无法清除，最终都会进入到空气中。
技术实现思路
[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了光刻胶生产用废气处理装置，具备废气处理效果好与后续清洁容易的优点，解决了上述技术背景所提出的问题。
[0005]本技术提供如下技术方案：光刻胶生产用废气处理装置，包括外壳，所述外壳左端的下部固定安装有送气管，且外壳内部的中部固定安装有中间块，所述中间块的中部固定安装有第一风扇，所述外壳内部上端的两侧均固定安装有两个限位条，两个所述限位条的内部均活动卡接有填料板，所述外壳内部上端的左侧开设有气口，且外壳内部顶端的左端固定安装有隔板，所述隔板的两端均固定安装有第二风扇，所述外壳内部顶部的右端固定安装有两个光触媒板，且外壳内部的顶部固定安装有紫外线灯，所述外壳顶部的右端固定安装有出气管，且外壳正面的中部活动卡接有密封板。
[0006]精选的，所述外壳正面的下端固定安装有水管，所述水管的中部固定安装有水泵，且水管的后端固定安装有中转盒，所述中转盒的内部放置有金属网篓，所述水泵与中转盒的底部均固定安装有支撑柱。
[0007]精选的，所述填料板包括有漏网板，所述漏网板的底部固定安装有金属丝网，且漏网板的内部放置有填料块，所述漏网板的两端活动卡接在限位条的内部。
[0008]精选的，所述水管为三段式结构，中段所述水管的左侧固定安装在中转盒的上端，后段水管的右侧固定安装在水泵的底部，所述中转盒的高度值大于后段水管的高度值。
[0009]精选的，注气管是由总管与四个分管组成，四个所述分管的底部均开设有气孔，所述总管左侧的中部固定安装有送气管。
[0010]精选的，所述外壳为三段式结构，且外壳从下到上依次为空心圆柱、空心圆台与空
心矩形结构，所述空心圆柱为清洗室，所述空心圆台为连接室，所述空心矩形为处理室。
[0011]与现有技术对比，本技术具备以下有益效果：
[0012]1、该光刻胶生产用废气处理装置，通过设置有外壳、填料板与光触媒板等达到废气处理效果好的目的，注入到内部的废气预先会经过水体的清洗，随后再经由填料板的化学反应中和，最后进入的一些相对特殊的气体则是会被光触媒设备进行处理，整个处理过程按照一定的顺序进行，确保了各个环节工作的专一，保证其废气处理效果好。
[0013]2、该光刻胶生产用废气处理装置，通过设置有填料板、水泵与金属网篓等达到后续清洁方便的目的，该装置实现对内部废气清洁，其中填料板与中转盒区域留存的杂质颗粒最为多，现在通过在中转盒区域放置有金属网篓，并且水管设置在其侧面与地面，能够保证水体会将携带的颗粒杂质留置在金属网篓中，操作人员只需要定期将金属网篓提取出来清洁即可，另外填料板中的材料与废气中的化学成分反应，每隔一段时间其使用效果就会变差，此时操作人员只需要打开密封板，将其抽取出来，对内部填料进行适当处理即可，整个清洁过程简单方便易控制。
附图说明
[0014]图1为本技术结构剖面示意图；
[0015]图2为本技术结构正面外观示意图；
[0016]图3为本技术结构俯视示意图；
[0017]图4为本技术结构填料板示意图；
[0018]图5为本技术结构水管、水泵、中转盒与金属网篓位置示意图。
[0019]图中：1、外壳；2、注气管；3、送气管；4、水管；5、水泵；6、中转盒；7、金属网篓；8、支撑柱；9、中间块；10、第一风扇；11、限位条；12、填料板；121、漏网板；122、金属丝网；123、填料块；13、气口；14、隔板； 15、第二风扇；16、光触媒板；17、紫外线灯；18、出气管；19、密封板。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，均属于本技术保护的范围。
[0021]请参阅图1
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5，光刻胶生产用废气处理装置，包括外壳1，外壳1左端的下部固定安装有送气管3，且外壳1内部的中部固定安装有中间块9，中间块 9的中部固定安装有第一风扇10，外壳1内部上端的两侧均固定安装有两个限位条11，两个限位条11的内部均活动卡接有填料板12，外壳1内部上端的左侧开设有气口13，且外壳1内部顶端的左端固定安装有隔板14，隔板14 的两端均固定安装有第二风扇15，外壳1内部顶部的右端固定安装有两个光触媒板16，且外壳1内部的顶部固定安装有紫外线灯17，外壳1顶部的右端固定安装有出气管18，且外壳1正面的中部活动卡接有密封板19。
[0022]其中，外壳1正面的下端固定安装有水管4，水管4的中部固定安装有水泵5，且水管4的后端固定安装有中转盒6，中转盒6的内部放置有金属网篓 7，水泵5与中转盒6的底部均
固定安装有支撑柱8，水泵5配合上水管4与外壳1底部工作就是一个简单的水循环结构，因为外壳1内部的水体始终高于注气管2，因为废气中的灰尘杂质颗粒会被水体留置，随着水循环一起移动，长时间使用后水中就容易堆积杂质颗粒，此时配合上金属网篓7就能够很好的形成内部灰尘杂质的提取，保证水体的相对干净。
[0023]其中，填料板12包括有漏网板121，漏网板121的底部固定安装有金属丝网122，且漏网板121的内部放置有填料块123，漏网板121的两端活动卡接在限位条11的内部，光刻胶生产中的废气往往含有一定的化学成分，此时将与其中和的材料制成填料放置在填料板12中，随着气体的上升移动，此时化学气体就能够和填料充分反应，以此确保废气中有害气体的处理，使得废气处理效果好。
[0024]其中，水管4为三段式结构，中段水管4的左侧固定安装在中转盒6的上端，后段水管4的右侧固定安装在水泵5的底部，中转盒6的高度值大于后段水管4的高度值，将水管4设置成这样就能够使得水体的灰尘杂质颗粒伴随着本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.光刻胶生产用废气处理装置，包括外壳(1)，其特征在于：所述外壳(1)左端的下部固定安装有送气管(3)，且外壳(1)内部的中部固定安装有中间块(9)，所述中间块(9)的中部固定安装有第一风扇(10)，所述外壳(1)内部上端的两侧均固定安装有两个限位条(11)，两个所述限位条(11)的内部均活动卡接有填料板(12)，所述外壳(1)内部上端的左侧开设有气口(13)，且外壳(1)内部顶端的左端固定安装有隔板(14)，所述隔板(14)的两端均固定安装有第二风扇(15)，所述外壳(1)内部顶部的右端固定安装有两个光触媒板(16)，且外壳(1)内部的顶部固定安装有紫外线灯(17)，所述外壳(1)顶部的右端固定安装有出气管(18)，且外壳(1)正面的中部活动卡接有密封板(19)。2.根据权利要求1所述的光刻胶生产用废气处理装置，其特征在于：所述外壳(1)正面的下端固定安装有水管(4)，所述水管(4)的中部固定安装有水泵(5)，且水管(4)的后端固定安装有中转盒(6)，所述中转盒(6)的内部放置有金属网篓(7)，所述水泵(5)与中转盒(6)的...
【专利技术属性】
技术研发人员：俞灏洋，
申请(专利权)人：苏州瑞红电子化学品有限公司，
类型：新型
国别省市：
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