【技术实现步骤摘要】
一种真空高温烧结炉用活化剂加热系统
[0001]本专利技术涉及高温烧结炉
,尤其涉及一种真空高温烧结炉用活化剂加热系统。
技术介绍
[0002]烧结炉是指使粉末压坯通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的专用设备。烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结,为了保证粉末压坯在烧结过程中的脱蜡(润滑剂或成形剂)、还原、合金化、组织转变等顺利进行,烧结时需要对烧结温度、保护气氛、压坯传送方式、加热和冷却速度等进行精确的控制,烧结炉在工作时需要对炉内注入活化剂,现有的活化剂都是直接注入炉中,然后通过炉内的高度对活化剂进行加热,从而导致了烧结炉的烧结时间延长,因此,亟需设计一种真空高温烧结炉用活化剂加热系统来解决上述问题。
技术实现思路
[0003]本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种真空高温烧结炉用活化剂加热系统。
[0004]为了实现上述目的,本专利技术采用了如下技术方案:一种真空高温烧结炉用活化剂加热系统,包括底座,所述底座顶部外壁开设有圆 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空高温烧结炉用活化剂加热系统,包括底座(1),其特征在于,所述底座(1)顶部外壁开设有圆口,且圆口的内壁固定连接有炉体(4),所述底座(1)的一侧外壁开设有矩形口,且矩形口的内壁滑动连接有过滤箱(5),所述过滤箱(5)顶部外壁开设有安装口,且安装口的内壁固定连接有注入管(6),所述底座(1)底部内壁的一侧固定连接有加热箱(7),所述加热箱(7)顶部外壁固定连接有机箱(9),所述加热箱(7)顶部外壁开设有进料口,且进料口通过管道连接在过滤箱(5)上,所述底座(1)底部内壁固定连接有输送泵(8),且输送泵(8)分别通过管道连接在加热箱(7)和炉体(4)上,所述加热箱(7)顶部内壁和底部内壁通过轴承连接有同一个搅拌杆(10),所述搅拌杆(10)的外壁均固定连接有加热管(11)。2.根据权利要求1所述的一种真空高温烧结炉用活化剂加热系统,其特征在于,所述过滤箱(5)顶部内壁固定连接有锥形斗(12),且锥形斗(12)底部外壁固定连接有单向阀(16),所述单向阀(16)通过管道连接在加热箱(7)上。3.根据权利要求2所述的一种真空高温烧结炉用活化剂加热系统,其特征在于,所述锥形斗(12)的...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵成军,
申请(专利权)人:滁州华海中谊工业炉有限公司,
类型:发明
国别省市:
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