本发明专利技术公开了一种压力传感器泄露测试装置及操作方法，包括台架、氦质谱检测仪和氦气源；台架的安装台面上设置有若干传感器测试工位，安装台面下包括电控机柜和真空泵柜；传感器测试工位分别管路连接氦质谱检测仪、氦气源和真空泵柜；电控机柜电连接传感器测试工位、真空泵柜、氦质谱检测仪和氦气源。待检测压力传感器放置于传感器检测工位上，氦气源向传感器检测工位中注入氦气，真空泵柜对传感器检测工位进行抽真空，使得待检测压力传感器两侧形成压力差，并利用氦质谱仪检测待检测传感器抽真空一侧是否有氦气存在，如果存在，则说明待检测压力传感器存在泄漏情况。通过电控机柜同时控制若干个传感器检测工位进行检测，提高了工厂的检测效率。工厂的检测效率。工厂的检测效率。
【技术实现步骤摘要】
一种压力传感器泄露测试装置及操作方法
[0001]本专利技术涉及传感器
，更具体的说是涉及一种压力传感器泄露测试装置及操作方法。
技术介绍
[0002]压力传感器是工业实践中最为常用的一种传感器，广泛应用于汽车、交通运输、智能建筑、机械设备、生产自控等众多行业。在压力传感器的封装过程中，需要确认其封装的密封性，以免在应用过程中被测压力介质经由传感器本体发生泄露。泄露测试时将传感器的压力介质接口通过密封螺纹或密封圈安装到标准氦质谱检测仪的测量接口，从而在传感器的压力介质接口和氦质谱仪的测量接口之间形成一个对外界密封的空间。氦质谱仪内置的真空泵会通过测量接口制造负压，使对外界密封空间处于负压状态。在测试过程中，在传感器外部四周“喷淋”氦气。如果传感器本身不密封，由于负压状态，外部的氦气会被吸入到氦质谱仪中。如果氦质谱仪探测到氦元素，就证明传感器发生了泄露；反之，就证明传感器封装良好，并未发生泄露。
[0003]随着人力成本的逐步提高，越来越多的企业开始重视提升生产效率。目前的压力传感器泄露测试，通常利用标准氦质谱检测仪，通过手工装载被测产品，来实现单件产品的逐一测试。单件检测的做法，产品装载时间长，测试时间也长，故而效率低下，导致泄露测试工位成为整个压力传感器制造过程中的“瓶颈”工位。同时标准氦质谱检测仪厂家并没针对压力传感器泄露测试，开发出效率较高的专用批量自动化检测装置或设备，仅仅使用于单间检测。
[0004]因此，如何提高压力传感器泄露测试的效率，实现批量测试是本领域技术人员亟需解决的问题。<br/>
技术实现思路
[0005]有鉴于此，本专利技术提供了一种压力传感器泄露测试装置及操作方法，包括台架、氦质谱检测仪和氦气源；台架的安装台面上设置有若干传感器测试工位，安装台面下包括电控机柜和真空泵柜；传感器测试工位分别管路连接氦质谱检测仪、氦气源、和真空泵柜；电控机柜电连接传感器测试工位、真空泵柜、氦质谱检测仪和氦气源。待检测压力传感器放置于传感器检测工位上，氦气源向传感器检测工位中待检测压力传感器一侧注入氦气，另一侧利用真空泵柜进行抽真空操作，使得在待检测压力传感器两侧形成压力差，并氦质谱仪检测待检测传感器抽真空一侧是否有氦气存在，如果存在，则说明待检测压力传感器存在泄漏情况，如果不存在则说明待检测压力传感器产品性能良好。通过电控机柜同时控制若干个传感器检测工位检测多组待检测压力传感器，提高了工厂的检测效率，有益于压力传感器的批量生产。
[0006]为了实现上述目的，本专利技术采用如下技术方案：
[0007]一种压力传感器泄露测试装置，包括：台架、氦质谱检测仪和氦气源；所述台架的
安装台面上设置有若干传感器测试工位，所述安装台面下包括电控机柜和真空泵柜；所述传感器测试工位分别管路连接所述氦质谱检测仪、所述氦气源、和所述真空泵柜；所述电控机柜电连接所述传感器测试工位、所述真空泵柜、所述氦质谱检测仪和所述氦气源。
[0008]优选的，所述电控机柜包括控制模块，所述控制模块电连接所述传感器测试工位、所述真空泵柜和所述氦气源。
[0009]优选的，所述传感器测试工位包括气体注入室、气体检测室、气缸、气缸控制阀、检测室控制阀和密封垫圈；所述气体注入室依次通过所述气缸和所述气缸控制阀与所述控制模块电连接；所述气缸控制阀和所述检测室控制阀电连接所述控制模块；所述气体检测室通过所述检测室控制阀与所述真空泵柜、所述氦质谱检测仪管路连接；所述气体注入室在所述气缸带动下与所述气体检测室合模密封；待检测压力传感器放置于所述气体注入室与所述气体检测室合模连接处，放置所述待检测压力传感器的所述气体检测室接口处设置有所述密封垫圈。
[0010]优选的，所述氦气源包括氦气瓶、充气阀和数字压力表；所述氦气瓶通过所述充气阀管路连接所述气体注入室；所述充气阀电连接所述控制模块；所述数字压力表安装在所述氦气瓶与所述充气阀之间。
[0011]优选的，所述真空泵柜包括真空泵、预抽阀和数字真空表；所述真空泵通过所述预抽阀管路连接所述检测室控制阀；所述预抽阀电连接所述控制模块；所述数字真空表安装在所述真空泵与所述预抽阀之间。
[0012]优选的，所述氦质谱检测仪还设置有检漏阀；所述氦质谱检测仪通过所述检漏阀管路连接所述检测室控制阀；所述检漏阀电连接所述控制模块。
[0013]优选的，所述装置还包括压缩空气源，所述压缩空气源包括压缩空气瓶和压缩空气阀，所述压缩空气瓶通过所述压缩空气阀管路连接所述气体检测室；所述压缩空气阀电连接所述控制模块。测试完成后，关闭所有电磁阀，打开所述压缩空气阀，清除所述气体检测室中可能残留的氦气，完成后再关闭所述压缩空气阀，保证测试的准确性。
[0014]优选的，若干所述传感器测试工位分为测试一区和测试二区，所述测试一区和所述测试二区交替进行测试工作。所述测试一区完成一次测试后，对所述测试二区执行同上操作，进行二区的泄漏测试，在执行所述测试二区测试的同时，卸载及重新装载所述测试一区的被测压力传感器，重复循环轮流操作执行所述测试一区与所述测试二区的泄漏测试，减少了氦质谱检测仪待机时间，提升了检测效率。
[0015]优选的，所述气缸控制阀、所述检测室控制阀、所述预抽阀、所述检漏阀、所述充气阀和所述压缩空气阀均为电磁阀。
[0016]压力传感器泄露测试装置操作方法，具体过程如下：
[0017]步骤1：将测试台面上的传感器测试工位分为测试一区和测试二区，设备上电，所有电磁阀保持关闭；首先选取所述测试一区进行检测；
[0018]步骤2：每个所述传感器测试工位的气体检测室固定在测试台面上，测试时，将待检测压力传感器的压力接口朝下、电气接口朝上，放置在气体检测室的密封圈上，所述测试台面下部左边固定的电控机柜内置的控制模块通过气缸控制阀控制气缸并带动所述气体注入室下行，与所述气体检测室合模；
[0019]步骤3：所述控制模块控制充气阀打开，同时向所述气体注入室注入氦气，如果被
测压力传感器有泄露，氦气会通过泄漏点，扩散到气体检测室中；
[0020]步骤4：所述控制模块控制预抽阀打开，且控制检测室控制阀同时打开，通过所述测试台面下部右边固定的真空泵柜内置的真空泵将所述气体检测室中空气抽离，从而使其处于接近真空的负压状态；
[0021]步骤5：所述控制模块控制所述预抽阀关闭，再控制检漏阀打开，然后通过氦质谱检漏仪，检测是否有氦元素；如果检测到氦元素，说明所述气体检测室中有氦气，进而说明所述待检测测压力传感器内部封装存在泄露点；反之，说明封装良好、无泄漏；
[0022]步骤6：测试完成后，关闭所有所述电磁阀，打开压缩空气阀，清除所述气体检测室中可能残留的氦气，完成后再关闭所述压缩空气阀；
[0023]步骤7：选取所述测试二区重复循环执行所述步骤2至所述步骤6的操作，所述测试一区与所述测试二区轮流操作。
[0024]优选的，当所述待检测压力传感器的批次泄露率较高时，也可调整测试程序，首先依次对所述传感器测试工位气体本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种压力传感器泄露测试装置，其特征在于，包括：台架、氦质谱检测仪(1)和氦气源；所述台架的安装台面上设置有若干传感器测试工位，所述安装台面下包括电控机柜和真空泵柜；所述传感器测试工位分别管路连接所述氦质谱检测仪(1)、所述氦气源、和所述真空泵柜；所述电控机柜电连接所述传感器测试工位、所述真空泵柜、所述氦质谱检测仪(1)和所述氦气源。2.根据权利要求1所述的一种压力传感器泄露测试装置，其特征在于，所述电控机柜包括控制模块，所述控制模块电连接所述传感器测试工位、所述真空泵柜和所述氦气源。3.根据权利要求2所述的一种压力传感器泄露测试装置，其特征在于，所述传感器测试工位包括气体注入室(311)、气体检测室(312)、气缸(314)、气缸控制阀、检测室控制阀和密封垫圈(313)；所述气体注入室(311)依次通过所述气缸(314)和所述气缸控制阀与所述控制模块电连接；所述气缸控制阀和所述检测室控制阀电连接所述控制模块；所述气体检测室(312)通过所述检测室控制阀与所述真空泵柜、所述氦质谱检测仪(1)管路连接；所述气体注入室(311)在所述气缸(314)带动下与所述气体检测室(312)合模密封；待检测压力传感器(6)放置于所述气体注入室(311)与所述气体检测室(312)合模连接处，放置所述待检测压力传感器(6)的所述气体检测室(312)接口处设置有所述密封垫圈(313)。4.根据权利要求3所述的一种压力传感器泄露测试装置，其特征在于，所述氦气源包括氦气瓶(2)、充气阀和数字压力表(8)；所述氦气瓶(2)通过所述充气阀管路连接所述气体注入室(311)；所述充气阀电连接所述控制模块；所述数字压力表(8)安装在所述氦气瓶(2)与所述充气阀之间。5.根据权利要求3所述的一种压力传感器泄露测试装置，其特征在于，所述真空泵柜包括真空泵(4)、预抽阀和数字真空表(7)；所述真空泵(4)通过所述预抽阀管路连接所述检测室控制阀；所述预抽阀电连接所述控制模块；所述数字真空表(7)安装在所述真空泵(4)与所述预抽阀之间。6.根据权利要求3所述的一种压力传感器泄露测试装置，其特征在于，所述氦质谱检测仪(1)还设置有检漏阀；所述氦质谱检测仪(1)通过所述检漏阀管路连接所述检测室控制阀；所述检漏阀电连接所述控制模块。7.根据权利要求3所述的一种压力传感器泄露测试装置，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈石煤，
申请(专利权)人：深圳聚德寿科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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