一种自加热的PBN坩埚制造技术

本实用新型专利技术涉及一种自加热的PBN坩埚，属于坩埚生产加工技术领域，坩埚包括PBN材质的坩埚基体，坩埚基体外表面设置PG导电层，PG导电层上涂覆一层PBN涂层。本实用新型专利技术通过坩埚自身的PG导电层直接进行加热，有效减少热量在辐射传递过程中的损失，提高能量利用率及加热效率。效率。效率。

【技术实现步骤摘要】
一种自加热的PBN坩埚


[0001]本技术涉及一种自加热的PBN坩埚，属于坩埚生产加工


技术介绍

[0002]现有的坩埚蒸镀所需热量均来自外部加热器的热辐射，坩埚蒸镀时，将坩埚置于加热器内部，加热器产生的热量在辐射传递过程中损失较多，能量利用率及加热效率较低，能耗高。有鉴于此，设计一种自加热的PBN坩埚，通过坩埚自身的导电层直接进行加热，有效减少热量在辐射传递过程中的损失，提高能量利用率及加热效率。

技术实现思路

[0003]针对现有技术的不足，本技术提供一种自加热的PBN坩埚，通过坩埚自身的导电层直接进行加热，有效减少热量在辐射传递过程中的损失，提高能量利用率及加热效率。
[0004]本技术的技术方案如下：
[0005]一种自加热的PBN坩埚，包括PBN材质的坩埚基体，坩埚基体外表面设置PG导电层，PG 导电层上涂覆一层PBN涂层。
[0006]优选的，PG导电层电路形状为条形折线，PG导电层的电极设置于坩埚基体下端，PG导电层电路从电极处向上对称弯折，覆盖整个坩埚基体。
[0007]优选的，电极通过导电片和夹子连接电源。
[0008]进一步优选的，夹子为卡箍状，导电片设置于电极外侧，夹子将导电片卡箍于坩埚基体上，保证电极与导电片的相对位置固定。
[0009]优选的，夹子的材质为耐高温陶瓷，导电片的材质为石墨或难熔金属。
[0010]优选的，PG导电层厚度为20微米
‑
300微米。
[0011]本技术的有益效果在于：
[0012]1、本技术通过坩埚自身的PG导电层直接进行加热，有效减少热量在辐射传递过程中的损失，提高能量利用率及加热效率。
[0013]2、本技术结构简单，可快速应用于生产。
附图说明
[0014]图1为本技术的结构示意图；
[0015]图2为本技术的导电安装结构示意图；
[0016]其中：1、坩埚基体；2、PG导电层；3、电极；4、导电片；5、夹子。
具体实施方式
[0017]下面通过实施例并结合附图对本技术做进一步说明，但不限于此。
[0018]实施例1：
[0019]如图1
‑
2所示，本实施例提供一种自加热的PBN坩埚，包括PBN材质的坩埚基体1，坩
埚基体1外表面设置PG导电层2，PG导电层2厚度为20微米，PG导电层2上涂覆一层PBN涂层。
[0020]PG导电层2电路形状为条形折线，PG导电层2的电极3设置于坩埚基体1下端，PG导电层2电路从电极3处向上对称弯折，覆盖整个坩埚基体。
[0021]实施例2：
[0022]一种自加热的PBN坩埚，结构如实施例1所述，不同之处在于，电极3通过导电片4和夹子5连接电源，夹子5为卡箍状，导电片4设置于电极3外侧，夹子5将导电片4卡箍于坩埚基体1上，保证电极3与导电片4的相对位置固定，夹子5的材质为耐高温陶瓷，导电片4的材质为石墨。
[0023]实施例3：
[0024]一种自加热的PBN坩埚，结构如实施例2所述，不同之处在于，导电片4的材质为难熔金属，PG导电层2厚度为300微米。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自加热的PBN坩埚，其特征在于，包括PBN材质的坩埚基体，坩埚基体外表面设置PG导电层，PG导电层上涂覆一层PBN涂层。2.如权利要求1所述的自加热的PBN坩埚，其特征在于，PG导电层电路形状为条形折线，PG导电层的电极设置于坩埚基体下端，PG导电层从电极处向上对称弯折，覆盖整个坩埚基体。3.如权利要求2所述的自加热的PBN坩埚，其特征在于，电极通过导电片和夹子...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘汝强，王殿春，赵旭荣，
申请(专利权)人：山东国晶新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：