一种真空镀膜机用蒸发电极制造技术

本实用新型专利技术涉及镀膜技术领域，具体是一种真空镀膜机用蒸发电极，包括一对支撑杆和一对电极杆，支撑杆和电极杆连接处设有固定块，电极杆上设有多个可移动的夹块，夹块设置有固定孔，相应的电极杆表面开设有多个螺孔用于固定，支撑杆下部从上之下依次设有接线座、绝缘块、绝缘垫圈和电极板，本实用新型专利技术结构简单，可根据需要调节高度，方便更换配件，可靠性高。可靠性高。可靠性高。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机用蒸发电极


[0001]本技术属于镀膜
，尤其涉及一种真空镀膜机用蒸散电极。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，包括真空离子蒸发、磁控溅射、MBE(MolecularBeamEpitaxy，分子束外延)分子束外延，PLD(PulsedLaserDeposition，脉冲)激光溅射沉积等。
[0003]在工作过程中，真空镀膜机在真空条件下，将蒸发舟与电极杆连接之后，将蒸镀材料放置在蒸发舟上，通过变压器产生的电压使电极杆加热，进而使蒸发舟上的蒸镀材料受热后挥发，实现待镀膜产品表面蒸镀元素的蒸镀。

技术实现思路

[0004]为了解决上述问题，本技术公开的一种真空镀膜机用蒸发电极，结构简单，可根据需要调节高度，方便更换配件，可靠性高。
[0005]为了达到上述目的，本技术采用以下技术方案：
[0006]一种真空镀膜机用蒸发电极，其特征在于，包括一对支撑杆和一对电极杆，支撑杆和电极杆成L型结构连接，支撑杆和电极杆均为导电金属杆，两个电极杆分别为正电极和负电极，支撑杆和电极杆连接处设有固定块，电极杆上滑动连接有多个用于夹持蒸发舟的夹块，支撑杆下部从上之下依次设有接线环、绝缘环、绝缘垫圈和电极板。
[0007]进一步的，所述夹块包括上夹块和下夹块，上夹块和下夹块成对设置。
[0008]进一步的，所述支撑杆下部设有电极板，用于连接导线。
[0009]进一步的，所述电极杆上开设有贯穿的连接孔，螺钉穿过连接孔将上夹块和下夹块固定连接。
[0010]进一步的，所述上夹块和下夹块开设有固定孔，上夹块和下夹块通过螺钉穿过连接孔连接。
[0011]进一步的，所述固定块内侧开设有第一凹槽，对应的电极杆上的位置开设有第二凹槽，第一凹槽与第二凹槽构成支撑杆连接孔，固定块两侧开设有螺孔，通过螺钉与电极杆连接。
[0012]进一步的，所述下夹块横截面呈U型，下夹块滑动连接于电极杆底面。
[0013]进一步的，所述电极板上设有接线孔，接线孔两侧设有螺孔。
[0014]本技术有益效果
[0015]本技术公开的一种真空镀膜机用蒸发电极，结构简单，支撑杆和电极杆为滑动连接，可根据需要调节高度，方便更换配件，可靠性高。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例
或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1本技术立体结构示意图；
[0018]图2本技术侧视图；
[0019]图3本技术正视图；
[0020]附图标记说明：支撑杆1、电极杆2、连接孔21、固定块3、上夹块41、下夹块42、接线换5、绝缘环6、绝缘垫圈7、电极板8。
具体实施方式
[0021]下面详细描述本技术的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件，下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制，因此，说明书的阐述仅仅是为了说明的目的，因此，本文中技术构思的实践并不唯一限于本文描述的示例实施例和附图中的举例说明，此外附图并不是限制。
[0022]如图1
‑
3所示：
[0023]实施例1
[0024]一种真空镀膜机用蒸发电极，其特征在于，包括一对支撑杆和一对电极杆，支撑杆和电极杆成L型结构连接，支撑杆和电极杆均为导电金属杆，两个电极杆分别为正电极和负电极，支撑杆和电极杆连接处设有固定块，电极杆上滑动连接有多个用于夹持放置蒸发药品用蒸发舟的夹块，支撑杆下部从上之下依次设有接线环、绝缘环、绝缘垫圈和电极板。
[0025]所述夹块包括上夹块和下夹块，上夹块和下夹块成对设置，一个上夹块配置一个下夹块。
[0026]所述支撑杆下部设有电极板，用于连接导线。
[0027]所述电极杆上开设有贯穿的连接孔，螺钉穿过连接孔将上夹块和下夹块固定连接。
[0028]所述上夹块和下夹块开设有固定孔，上夹块和下夹块通过螺钉穿过连接孔连接。
[0029]所述固定块内侧开设有第一凹槽，对应的电极杆上的位置开设有第二凹槽，第一凹槽与第二凹槽构成支撑杆连接孔，固定块两侧开设有螺孔，通过螺钉与电极杆连接。
[0030]所述下导电夹块横截面呈U型，下导电夹块滑动连接于电极杆底面。
[0031]所述电极板上设有接线孔，接线孔两侧设有螺孔。
[0032]实施例2
[0033]一种真空镀膜机用蒸发电极，其特征在于，包括一对支撑杆和一对电极杆，支撑杆和电极杆成L型结构连接，支撑杆和电极杆均为导电金属杆，两个电极杆分别为正电极和负电极，支撑杆和电极杆连接处设有固定块，电极杆上滑动连接有多个用于夹持放置蒸发材料的蒸发舟的夹块，支撑杆下部从上之下依次设有接线环、绝缘环、绝缘垫圈和电极板。
[0034]在本实施例中，电极杆表面开设有设有凹槽与连接孔呈垂直关系。
[0035]所述导电夹块包括上夹块和下夹块，在本实施例中，上夹块和下夹块成J型结构连接。
[0036]所述支撑杆下部设有电极板，用于连接导线。
[0037]所述电极杆上开设有贯穿的连接孔，螺钉穿过连接孔将上夹块和下夹块固定连接。
[0038]所述上夹块和下夹块开设有固定孔，上夹块和下夹块通过螺钉穿过连接孔连接。
[0039]所述固定块内侧开设有第一凹槽，对应的电极杆上的位置开设有第二凹槽，第一凹槽与第二凹槽构成支撑杆连接孔，固定块两侧开设有螺孔，通过螺钉与电极杆连接。
[0040]所述下夹块横截面呈U型，下夹块滑动连接于电极杆底面。
[0041]所述电极板上设有接线孔，接线孔两侧设有螺孔。
[0042]对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
[0043]此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。需注意的是，本技术中所未详细描述的技术特征，均可以通过任一现有技术实现。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机用蒸发电极，其特征在于，包括一对支撑杆和一对电极杆，两个电极杆分别为正电极和负电极，支撑杆和电极杆连接处设有固定块，电极杆上滑动连接有多个用于夹持蒸发镀膜材料的夹块，支撑杆下部从上之下依次设有接线环、绝缘环、绝缘垫圈和电极板。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用蒸发电极，其特征在于，所述夹块包括上夹块和下夹块，上夹块和下夹块成对设置。3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用蒸发电极，其特征在于，所述支撑杆下部设有电极板。4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用蒸发电极，其特征在于，所述电极杆上开设有贯穿的连接孔。5.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔福顺，林城来，南相尽，
申请(专利权)人：东莞法克泰光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：