一种蒸镀机制造技术

本实用新型专利技术涉及OLED蒸镀设备技术领域，尤其涉及一种蒸镀机，包括坩埚和疏通装置；所述坩埚设有喷嘴；所述疏通装置包括伸缩机构和加热装置；所述伸缩机构的一端设有探针，所述加热装置为探针加热，所述伸缩机构驱动被加热后的探针由坩埚外部穿过所述喷嘴至坩埚内部。因为疏通装置设有伸缩机构和探针以及加热装置，并通过加热装置为探针加热，并通过伸缩机构控制被加热的探针由坩埚外部穿过所述喷嘴至坩埚内部从而对蒸镀口处聚集的蒸镀源材料进行疏通，且被加热后的探针还可以熔融清理蒸镀口边缘残留的蒸镀源材料，提高疏通效率。提高疏通效率。提高疏通效率。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀机


[0001]本技术涉及OLED蒸镀设备
，尤其涉及一种蒸镀机。

技术介绍

[0002]有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)，又称为有机电激光显示、有机发光半导体(Organic Electro luminescence Display，OLED)，是指有机半导体材料和发光材料在电场驱动下，通过载流子注入和复合导致发光的现象。OLED显示屏比LCD更轻薄、亮度高、功耗低、响应快、清晰度高、柔性好、发光效率高，能满足消费者对显示技术的新需求。OLED是一种利用多层有机薄膜结构产生电致发光的器件。蒸镀就是其中一道工序，即蒸镀源内装填材料，通过加热，使得材料升华逸出蒸镀源镀到基板上，不同有机材料蒸镀到基板上形成多层有机薄膜结构产生电致发光。然而现有的蒸镀机的在蒸镀过程中，蒸镀源内材料易在蒸镀口形成堵塞，影响镀率稳定，从而影响着结构的膜层厚度，进而影响器件的光电特性。

技术实现思路

[0003]本技术所要解决的技术问题是：提供一种蒸镀机能够将蒸镀口堵塞的蒸镀源材料进行疏通，解决蒸镀口堵塞的问题。
[0004]为了解决上述技术问题，本技术采用的技术方案为：一种蒸镀机，包括坩埚和疏通装置；
[0005]所述坩埚设有喷嘴；
[0006]所述疏通装置包括伸缩机构和加热装置；所述伸缩机构的一端设有探针，所述加热装置为探针加热，所述伸缩机构驱动被加热后的探针由坩埚外部穿过所述喷嘴至坩埚内部。
[0007]本技术的有益效果在于：提供一种蒸镀机，设置有疏通装置，疏通装置设有伸缩机构、加热装置以及与伸缩机构一端连接的探针，并通过加热装置为探针加热，并通过伸缩机构控制被加热的探针由坩埚外部穿过所述喷嘴至坩埚内部从而对蒸镀口处聚集的蒸镀源材料进行疏通，且被加热后的探针还可以熔融清理蒸镀口边缘残留的蒸镀源材料，整体上提升了疏通效率。
附图说明
[0008]图1为本技术一种蒸镀机的伸缩机构带动探针收缩时的示意图；
[0009]图2为本技术一种蒸镀机的伸缩机构带动探针伸出时的示意图；
[0010]图3为本技术一种蒸镀机置于腔体内时的俯视图；
[0011]标号说明：
[0012]1、蒸镀机；11、机体；12、坩埚；13、疏通装置；14、盖板；111、开口；121、喷嘴；131、伸缩机构；132、探针；133、电磁加热设备；
[0013]2、腔体；
[0014]3、基板。
具体实施方式
[0015]为详细说明本技术的
技术实现思路
、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。
[0016]请参照图1至图3，提供一种蒸镀机，包括坩埚和疏通装置；
[0017]所述坩埚设有喷嘴；
[0018]所述疏通装置包括伸缩机构和加热装置；所述伸缩机构的一端设有探针，所述加热装置为探针加热，所述伸缩机构驱动被加热后的探针由坩埚外部穿过所述喷嘴至坩埚内部。
[0019]从上述描述可知，本技术的有益效果在于：疏通装置设有伸缩机构、加热装置以及与伸缩机构一端连接的探针，所述加热装置用于为探针加热，并通过伸缩机构控制被加热的探针由坩埚外部穿过所述喷嘴至坩埚内部从而对蒸镀口处聚集的蒸镀源材料进行疏通，且被加热后的探针还可以熔融清理蒸镀口边缘残留的蒸镀源材料，提高疏通效率。
[0020]进一步的，所述疏通装置还包括壳体，所述伸缩机构和加热装置均设置在壳体内，所述加热装置为电磁加热设备，所述电磁加热设备位于壳体的内侧壁上且与伸缩机构上的探针相对设置。
[0021]从上述描述可知，伸缩机构和加热装置均设置在壳体内，加热装置为电磁加热设备，电磁加热设备位于壳体的内侧壁上与伸缩机构上的探针相对设置，布置在壳体内侧壁上的电磁加热设备相对探针的感应面积较大可以很好的对探针进行加热，且电磁加热设备加热速度快，可以极大的提升加热效率。
[0022]进一步的，所述伸缩机构和探针的材质均为具有导热效果的金属合金。
[0023]从上述描述可知，所述伸缩机构和探针的材质均为具有导热效果的金属合金，具体的，所述合金材料可以为导热效果较好的钛合金或钨合金。具有导热性能的探针在进入坩埚内部对蒸镀口处的蒸镀源材料进行捅破的同时可以对坩埚边缘侧壁上的残留蒸镀源材料进行导热从而熔融蒸镀源材料。
[0024]进一步的，还包括顶部具有开口的机体，所述坩埚设在机体内，所述喷嘴位于所述坩埚的顶部与所述开口相对，所述壳体设在机体的上方与所述喷嘴相对，所述探针与所述喷嘴同轴设置且所述伸缩机构带动喷嘴沿轴线上下运动。
[0025]从上述描述可知，探针与所述喷嘴同轴设置且所述伸缩机构带动喷嘴沿轴线上下运动可以保证探针沿喷嘴的中心位置进入到坩埚内部可以对堵塞在蒸镀口处的蒸镀源材料进行疏通。
[0026]进一步的，还包括盖板，所述盖板设在机体与壳体之间，且所述盖板与所述机体的顶部外表面活动连接用于封闭或打开所述开口；所述盖板朝向喷嘴的一侧为向中心凹陷的圆弧状，且所述盖板的底部中心位置与喷嘴口之间呈同轴设置。
[0027]从上述描述可知，盖板设在机体与壳体之间，且所述盖板与所述机体的顶部外表面之间为活动连接，所述盖板覆盖在机体顶部的开口位置上可以用于封闭机体的顶部开口防止坩埚内的蒸镀源材料在蒸镀工作结束后溢出蒸镀机。同时盖板朝向喷嘴的一侧为向中
心凹陷的圆弧状，且所述盖板的底部中心位置与喷嘴口之间呈同轴设置，圆弧状的盖板使得向上的蒸镀源蒸汽向弧度两边移动，减少了蒸镀源材料堆积于盖板中部的可能，造成材料堆积过多从而导致蒸镀口堵塞。
[0028]请参照图1至图3，本技术的实施例一为：提供一种蒸镀机1，所述蒸镀机设置在腔体2内与腔体内的基板3相对设置，通过加热，使得蒸镀源材料升华逸出蒸镀机镀到基板上。具体的，所述蒸镀机1包括蒸镀机的机体11、坩埚12和疏通装置13；
[0029]所述机体11为内部中空的矩形结构，且机体的顶部具有一个圆形的开口111，所述机体的顶部为防着板。所述坩埚设置在机体的内部，所述坩埚内部存放有蒸镀源材料，所述坩埚的顶部设置有喷嘴121，所述蒸镀口位于喷嘴与坩埚本体之间的内部，在蒸镀结束后一段时间内蒸镀源材料会在蒸镀口累积，容易造成蒸镀口堵塞。所述喷嘴121与机体的开口111相对并呈同轴设置，同时，所述喷嘴121的口径小于开口111的口径。
[0030]所述机体的开口111上还设置有一盖板14，所述盖板呈圆形并且盖板的直径大于开口的直径，所述盖板盖设在开口的上方用于将开口封闭从而可以阻挡蒸镀源的蒸汽从开口溢出。具体的，所述盖板通过连接杆与机体顶部的防着板固定，所述连接杆的一端设有活扣，所述盖板通过与活扣可拆卸连接使得盖板可以从防着板上取下，从而方便对盖板进行清洁或者更换。本实施例中，所述盖板朝向喷嘴的一侧为向中心凹陷的圆弧状，且所述盖板的底部中心位置与喷嘴口之间呈同轴设置，圆弧状的盖板使得向上的蒸本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀机，其特征在于，包括坩埚和疏通装置；所述坩埚设有喷嘴；所述疏通装置包括伸缩机构和加热装置；所述伸缩机构的一端设有探针，所述加热装置为探针加热，所述伸缩机构驱动被加热后的探针由坩埚外部穿过所述喷嘴至坩埚内部。2.根据权利要求1所述一种蒸镀机，其特征在于，所述疏通装置还包括壳体，所述伸缩机构和加热装置均设置在壳体内，所述加热装置为电磁加热设备，所述电磁加热设备位于壳体的内侧壁上且与伸缩机构上的探针相对设置。3.根据权利要求2所述一种蒸镀机，其特征在于，所述伸缩机构和探针的材质均为具有导热效果...

【专利技术属性】
技术研发人员：林志斌，郑沂，
申请(专利权)人：福建华佳彩有限公司，
类型：新型
国别省市：