一种立式移动阴极镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种立式移动阴极镀膜机，包括：电镀箱，所述电镀箱的内壁设置有镀膜工件安装面；导轨，所述导轨与所述电镀箱固定连接，并且所述导轨的长度方向与所述电镀箱的长度方向一致；第一阴极座，所述第一阴极座与所述导轨滑动连接；第一驱动源，所述第一驱动源与所述第一阴极座驱动连接，并驱动所述第一阴极座沿着所述导轨滑动；第二阴极座，所述第二阴极座与所述导轨滑动连接；第二驱动源，所述第二驱动源与所述第二阴极座驱动连接，并驱动所述第二阴极座沿着所述导轨滑动，第一阴极座与第二阴极座上可安装不同靶材，从而在一个单腔体镀膜机内实现平板基材上沉积复合膜层的镀膜工艺。的镀膜工艺。的镀膜工艺。

【技术实现步骤摘要】
一种立式移动阴极镀膜机


[0001]本技术涉及阴极镀膜机
，具体涉及一种立式移动阴极镀膜机。

技术介绍

[0002]传统的真空镀膜机，其对小型面板进行金属镀膜时，小型面板一般都是固定在真空镀膜机之中，在电极丝的放电作用下，充满于真空镀膜机的金属蒸汽会被镀到小型面板之上，从而完成镀膜处理。
[0003]现有的镀膜机镀膜样式较为单一，当需要工件进行多层不同材质的镀膜时，需要依次在多台镀膜机完成。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于克服上述技术不足，提供一种立式移动阴极镀膜机，解决现有技术中当需要工件进行多层不同材质的镀膜时，需要依次在多台镀膜机完成，单台镀膜机无法完成复合镀膜的技术问题。
[0005]为达到上述技术目的，本技术的技术方案提供一种立式移动阴极镀膜机，包括：
[0006]电镀箱，所述电镀箱内设置有镀膜工件安装面；
[0007]导轨，所述导轨与所述电镀箱固定连接，并且所述导轨的长度方向与所述电镀箱的长度方向一致；
[0008]第一阴极座，所述第一阴极座与所述导轨滑动连接；
[0009]第一驱动源，所述第一驱动源与所述第一阴极座驱动连接，并驱动所述第一阴极座沿着所述导轨滑动；
[0010]第二阴极座，所述第二阴极座与所述导轨滑动连接；
[0011]第二驱动源，所述第二驱动源与所述第二阴极座驱动连接，并驱动所述第二阴极座沿着所述导轨滑动；
[0012]其中，所述第一阴极座、第二阴极座均内置于所述电镀箱，所述第一阴极座与所述第二阴极座的运动相互独立，并且所述第一阴极座、第二阴极座的靶材安装面均相对所述镀膜工件安装面布置。
[0013]进一步的，所述第一阴极座上设置有至少两个第一靶材安装区，两个所述第一靶材安装区沿所述第一阴极座的滑动方向依次布置。
[0014]进一步的，所述第二阴极座上设置有至少两个第二靶材安装区，两个所述第二靶材安装区沿所述第二阴极座的滑动方向依次布置。
[0015]进一步的，所述的立式移动阴极镀膜机还包括抽气装置，所述抽气装置的抽气端与所述电镀箱的内腔连通。
[0016]进一步的，所述第一阴极座与所述第二阴极座内均设置有液冷装置。
[0017]与现有技术相比，本技术的有益效果包括：该立式移动阴极镀膜机在使用时，
第一阴极座与第二阴极座上可安装不同靶材，所述第一驱动源驱动可驱动第一阴极座在所述电镀箱内左右往复运动，将第一种靶材镀于工件上，所述第二驱动源可驱动第二阴极座在所述电镀箱内左右往复运动，将第二种靶材镀于工件上，从而在一个单腔体镀膜机内实现平板基材上沉积复合膜层的镀膜工艺，提高了镀膜机的通用性。
附图说明
[0018]图1是本技术提供的立式移动阴极镀膜机一种实施方式的立体结构示意图；
[0019]图2是本技术提供的立式移动阴极镀膜机的正面结构示意图；
[0020]图3是图2中A
‑
A面剖视结构示意图；
[0021]图4是图3中B处的局部放大结构示意图；
[0022]图5是本技术中电镀箱的内部立体结构示意图。
具体实施方式
[0023]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0024]需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
[0025]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本专利技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本专利技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本专利技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0026]请参阅图1～图5，本实施例提供了一种立式移动阴极镀膜机，包括：电镀箱1、导轨2、第一阴极座3、第一驱动源、第二阴极座4、第二驱动源。
[0027]所述电镀箱1内设置有镀膜工件安装面1a，所述电镀箱1的内腔为方形腔体，对应的加工工件为板状，板状工件立式固定于所述镀膜工件安装面1a，从而便于第一阴极座3、第二阴极座4上的靶材对工件进行镀膜，靶材通电后可溅射于工件的单侧表面(工件相对靶材的一面)，此处的溅射镀膜方式可根据工艺需求配置直流溅射、中频溅射、脉冲溅射等阴极镀膜方式，阴极镀膜原理属于本领域公知常识，此处不做赘述，根据实际工艺需求本领域技术人员可以自行选择溅射方式。
[0028]所述导轨2与所述电镀箱1固定连接，并且所述导轨2的长度方向与所述电镀箱1的长度方向一致，所述第一阴极座3与所述导轨2滑动连接，所述第一驱动源与所述第一阴极座3驱动连接，并驱动所述第一阴极座3沿着所述导轨2滑动，所述第二阴极座4与所述导轨2滑动连接，所述第二驱动源与所述第二阴极座4驱动连接，并驱动所述第二阴极座4沿着所述导轨2滑动，其中，所述第一阴极座3、第二阴极座4均内置于所述电镀箱1，所述第一阴极座3与所述第二阴极座4的运动相互独立，并且所述第一阴极座3、第二阴极座4的靶材安装面均相对所述镀膜工件安装面1a布置。
[0029]该立式移动阴极镀膜机在使用时，第一阴极座3与第二阴极座4上可安装不同靶材a，所述第一驱动源驱动可驱动第一阴极座3在所述电镀箱1内左右往复运动，将第一种靶材镀于工件上，所述第二驱动源可驱动第二阴极座4在所述电镀箱1内左右往复运动，将第二种靶材镀于工件上，从而在一个单腔体镀膜机内实现平板基材上沉积复合膜层的镀膜工艺，提高了镀膜机的通用性。
[0030]本实施例中，所述第一阴极座3上设置有至少两个第一靶材安装区，两个所述第一靶材安装区沿所述第一阴极座3的滑动方向依次布置，即所述第一阴极座3上可至少安装两组不同的靶材a。
[0031]同理，所述第二阴极座4上设置有至少两个第二靶材安装区，两个所述第二靶材安装区沿所述第二阴极座4的滑动方向依次布置，即所述第二阴极座4上也可至少安装两组不同的靶材a，从而可实现至少四种靶材的进行多种排列组合的电镀方式。
[0032]本实施例中，所述第一驱动源/第二驱动源可采用电机或者气缸、油缸，只要能够实现驱动所述第一阴极座3、第二阴极座4相对滑轨2往复运动即可，所述电镀箱1的长度方向的两端均设置有侧门1b，侧门1b用于放置/取出第一阴极座3及第二阴极座4,所述电镀箱的中部还设置有正门1c，所述正门1c用于取放工件,并且正门1c的内侧正对镀膜工件安装面1a，正门1c设置有观察窗(观察窗上设置有透明密封件，例如：透明玻璃等)。
[0033]本实施例中，所述第一阴本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种立式移动阴极镀膜机，其特征在于，包括：电镀箱，所述电镀箱内设置有镀膜工件安装面；导轨，所述导轨与所述电镀箱固定连接，并且所述导轨的长度方向与所述电镀箱的长度方向一致；第一阴极座，所述第一阴极座与所述导轨滑动连接；第一驱动源，所述第一驱动源与所述第一阴极座驱动连接，并驱动所述第一阴极座沿着所述导轨滑动；第二阴极座，所述第二阴极座与所述导轨滑动连接；第二驱动源，所述第二驱动源与所述第二阴极座驱动连接，并驱动所述第二阴极座沿着所述导轨滑动；其中，所述第一阴极座、第二阴极座均内置于所述电镀箱，所述第一阴极座与所述第二阴极座的运动相互独立，并且所述第一阴极座、第二阴极座的靶材安装面均相对所述镀...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭爱云，朱选敏，
申请(专利权)人：武汉科瑞达真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：