本实用新型专利技术实施例公开一种显影液喷涂装置和显影设备，显影液喷涂装置包括储液容器、泵体、换向阀、第一过滤器、第二过滤器、喷头以及流量计，泵体的输入端与储液容器的出液端连接，泵体的输出端与换向阀的输入端连接；第一过滤器的输入端与换向阀的第一输出端连接，第二过滤器的输入端与换向阀的第二输出端连接，第一过滤器的输出端和第二过滤器的输出端均通过流量计与喷头的输入端连接；在流量计统计的流量小于预设的第一阈值时，换向阀的输入端切换为连接换向阀的第一输出端或第二输出端，实现了过滤器堵塞不可用导致流量下降时切换过滤器，显影设备无需停机来更换过滤器，保证了显影设备的作业时间。了显影设备的作业时间。了显影设备的作业时间。
【技术实现步骤摘要】
一种显影液喷涂装置和显影设备
[0001]本技术涉及液晶面板制造
，尤其涉及一种显影液喷涂装置和显影设备。
技术介绍
[0002]显影设备是液晶面板制造行业中必不可少的设备，涂布光阻的玻璃基板经过曝光后进入显影设备，显影设备通过显影液喷涂装置将显影液均匀的撒在玻璃基板上，进而将光罩定义出的图像显现出来。
[0003]如图1所示为现有技术中显影设备的显影液喷涂装置，在图1中，从储液容器1＇到喷头3＇的输液管道中设置有一个过滤器2＇，过滤器2＇能够过滤显影液中的杂质，当显影设备使用时间过长时，过滤器2＇处堆积有杂质，过滤器2＇发生堵塞，喷头3＇喷出来的显影液不足甚至无法喷出显影液，导致发生显影不良，因此需要显影设备停机来更换过滤器2＇，无疑减少了显影设备的作业时间。
技术实现思路
[0004]本技术实施例的目的在于：提供一种显影液喷涂装置和显影设备，以解决现有技术中显影设备需要停机来更换过滤器，减少了显影设备的作业时间的问题。
[0005]第一方面，本技术实施例提供一种显影液喷涂装置，所述显影液喷涂装置包括储存显影液的储液容器、泵体、换向阀、第一过滤器、第二过滤器、喷头以及统计所述显影液的流量的流量计；
[0006]所述储液容器设置有输出所述显影液的出液端；
[0007]所述泵体的输入端与所述储液容器的出液端连接，所述泵体的输出端与所述换向阀的输入端连接；
[0008]所述换向阀包括第一输出端和第二输出端，所述第一过滤器的输入端与所述换向阀的第一输出端连接，所述第二过滤器的输入端与所述换向阀的第二输出端连接，所述第一过滤器的输出端和所述第二过滤器的输出端均通过所述流量计与所述喷头的输入端连接；
[0009]在所述流量小于预设的第一阈值时，所述换向阀的输入端从连通至所述第一输出端切换为连通至所述第二输出端，或者所述换向阀的输入端从连通至所述第二输出端切换为连通至所述第一输出端。
[0010]可选地，所述显影液喷涂装置还包括控制器，所述控制器分别与所述流量计和所述换向阀电连接，在所述流量计采集到的流量小于预设的第一阈值时，所述控制器向所述换向阀输出换向信号，以驱动所述换向阀的输入端从连通至所述第一输出端切换为连通至所述第二输出端，或者驱动所述换向阀的输入端从连通至所述第二输出端切换为连通至所述第一输出端。
[0011]可选地，所述显影液喷涂装置还包括采集所述显影液的压力值的压力计，所述第
一过滤器的输出端和所述第二过滤器的输出端均通过所述压力计与所述流量计的输入端连接；
[0012]在所述压力值小于预设的压力阈值时，所述换向阀的输入端从连通至所述第一输出端切换为连通至所述第二输出端，或者所述换向阀的输入端从连通至所述第二输出端切换为连通至所述第一输出端。
[0013]可选地，所述流量计的输入端设置有流量阀，所述流量阀的输入端与所述第一过滤器的输出端和所述第二过滤器的输出端连接，所述流量阀的输出端与所述流量计的输入端连接，所述控制器与所述流量阀电连接；
[0014]在所述流量小于预设的第二阈值时，所述流量阀调节流入所述流量计的输入端的显影液的流量。
[0015]可选地，所述泵体的输入端和所述泵体的输出端均设置有第一阀门。
[0016]可选地，所述第一过滤器的输入端、所述第一过滤器的输出端、所述第二过滤器的输入端和所述第二过滤器的输出端均设置有第二阀门。
[0017]可选地，所述第一过滤器和所述第二过滤器均为可拆卸式过滤器。
[0018]可选地，所述换向阀为电磁换向阀。
[0019]可选地，所述显影液喷涂装置还包括显影液回收组件，所述显影液回收组件的输出端与所述储液容器的进液端连接。
[0020]第二方面，本技术实施例提供一种显影设备，包括显影平台和本技术第一方面所述的显影液喷涂装置；
[0021]所述显影平台用于承载待显影的基板；
[0022]所述显影液喷涂装置向所述基板喷涂显影液。
[0023]本技术的有益效果为：
[0024]本技术实施例的显影液喷涂装置包括储存显影液的储液容器、泵体、换向阀、第一过滤器、第二过滤器、喷头以及统计显影液的流量的流量计，其中，换向阀包括第一输出端和第二输出端，第一过滤器的输入端与换向阀的第一输出端连接，第二过滤器的输入端与换向阀的第二输出端连接，第一过滤器的输出端和第二过滤器的输出端均通过流量计与喷头的输入端连接，可以在第一过滤器或者第二过滤器堵塞导致流量小于预设的第一阈值时，驱动换向阀的输入端从连通至第一输出端切换为连通至第二输出端，或者驱动换向阀的输入端从连通至第二输出端切换为连通至第一输出端，实现了第一过滤器堵塞不可用时切换为使用第二过滤器，或者第二过滤器堵塞不可用时切换为使用第一过滤器，无需显影设备停机来更换第一过滤器或者第二过滤器，解决了显影设备停机更换过滤器导致显影设备的作业时间减少的问题，保证了显影设备的作业时间。
附图说明
[0025]下面根据附图和实施例对本技术作进一步详细说明。
[0026]图1为现有技术中显影液喷涂装置的示意图；
[0027]图2为本技术一个实施例中显影液喷涂装置的示意图；
[0028]图3为本技术另一个实施例中显影液喷涂装置的示意图；
[0029]图1中：1＇、储液容器；2＇、过滤器；3＇、喷头；
[0030]图2和图3中：
[0031]10、储液容器；20、泵体；30、换向阀；40、第一过滤器；50、第二过滤器；60、流量计；70、喷头；80、控制器；90、流量阀；100、压力计；110、第一阀门；120、第二阀门；130、显影液回收组件。
具体实施方式
[0032]参考下面结合附图详细描述的实施例，本技术的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而，本技术不限于以下公开的实施例，而是可以以各种不同的形式来实现，提供本实施例仅仅是为了完成本技术的公开并且使本领域技术人员充分地了解本技术的范围，并且本技术仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。
[0033]以下，参照附图来详细描述本技术。
[0034]图2为本技术实施例的显影液喷涂装置的示意图，如图2所示，本技术实施例的显影液喷涂装置包括储存显影液的储液容器10、泵体20、换向阀30、第一过滤器40、第二过滤器50、喷头70以及统计显影液的流量的流量计60。
[0035]其中，储液容器10设置有输出显影液的出液端，泵体20可以为吸入显影液和排出显影液的电泵，例如，可以是以电能为驱动力的叶片泵、容积泵等。泵体20的输入端与储液容器10的出液端连接，泵体20的输出端与换向阀30的输入端连接，从而可以通过泵体20将储液容器10储存的显影液输出到换向阀30的输入端。
[0036]换向阀30可以是具有两种以上流动形式和两个以上输本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种显影液喷涂装置，其特征在于，所述显影液喷涂装置包括储存显影液的储液容器、泵体、换向阀、第一过滤器、第二过滤器、喷头以及统计所述显影液的流量的流量计；所述储液容器设置有输出所述显影液的出液端；所述泵体的输入端与所述储液容器的出液端连接，所述泵体的输出端与所述换向阀的输入端连接；所述换向阀包括第一输出端和第二输出端，所述第一过滤器的输入端与所述换向阀的第一输出端连接，所述第二过滤器的输入端与所述换向阀的第二输出端连接，所述第一过滤器的输出端和所述第二过滤器的输出端均通过所述流量计与所述喷头的输入端连接；在所述流量小于预设的第一阈值时，所述换向阀的输入端从连通至所述第一输出端切换为连通至所述第二输出端，或者所述换向阀的输入端从连通至所述第二输出端切换为连通至所述第一输出端。2.根据权利要求1所述的显影液喷涂装置，其特征在于，所述显影液喷涂装置还包括控制器，所述控制器分别与所述流量计和所述换向阀电连接，在所述流量计采集到的流量小于预设的第一阈值时，所述控制器向所述换向阀输出换向信号，以驱动所述换向阀的输入端从连通至所述第一输出端切换为连通至所述第二输出端，或者驱动所述换向阀的输入端从连通至所述第二输出端切换为连通至所述第一输出端。3.根据权利要求1所述的显影液喷涂装置，其特征在于，所述显影液喷涂装置还包括采集所述显影液的压力值的压力计，所述第一过滤器的输出端和所述第二过滤器的输出端均通过所述压力计与所述流量计的输入端连接；在所述压力值小于预设的压力阈值时，所述换向阀的输入端从连通至所述第一输出端切换为连通至所述第二输出端，或者所述换向阀的输入...
【专利技术属性】
技术研发人员：南宫旭，
申请(专利权)人：乐金显示光电科技中国有限公司，
类型：新型
国别省市：
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