一种高效抗振的离子源灯丝组件制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高效抗振的离子源灯丝组件，灯丝的两端与两个电极的第一端连接，固定基座为陶瓷基座，固定基座上设有两个焊接通孔，焊接通孔两端的孔壁上设有经过金属化处理的金属化层，两个电极的第二端分别穿过两个焊接通孔并与对应的金属化层焊接连接。本实用新型专利技术通过采用质地坚硬的陶瓷固定基座，在固定基座上与电极连接的位置设置金属化层，通过焊接方式实现固定基座与电极之间的高稳定性连接，从而确保电极与固定基座之间具有足够的抗振性能，在振动、冲击过程中结构稳定，不会出现滑移、抖动等相对位移现象，保证离子源灯丝组件能够在较高振动量级下保持正常工作而不会被振动损坏。不会被振动损坏。不会被振动损坏。

【技术实现步骤摘要】
一种高效抗振的离子源灯丝组件


[0001]本技术涉及一种离子源灯丝组件，尤其涉及一种高效抗振的离子源灯丝组件。

技术介绍

[0002]离子源(英文名称：Ion source)是使中性分子电离并从中引出离子束流的装置，它是各种类型离子加速器、质谱仪、电磁同位素分离器、离子注入机、离子束刻蚀装置、离子推进器以及受控聚变装置中的中性束注入器等设备中不可缺少的部件。离子源属于精密仪器的核心部件，对于使用环境要求较高。但是，一些离子源具有特殊应用场合，比如电子轰击型离子源，需要在相对较高的振动量级下保持正常稳定工作而不损坏，如何提高离子源的抗振性能就成为首要需要解决的技术难题。
[0003]离子源的抗振性能主要在于灯丝组件本身的稳定性，灯丝组件是离子源中发生电子的装置，其基本原理是：灯丝组件发射电子，与中性分子碰撞，形成离子。离子源灯丝组件的基本结构包括固定基座、两个电极和灯丝，两个电极安装在固定基座上，灯丝的两端分别与两个电极连接，在两个电极之间接通电源后，灯丝就能发生电子。
[0004]传统的离子源灯丝组件，其固定基座一般采用多段连接本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高效抗振的离子源灯丝组件，包括灯丝、电极和固定基座，所述灯丝的两端与两个所述电极的第一端连接，两个所述电极靠近第二端的位置分别与所述固定基座连接，其特征在于：所述固定基座为陶瓷基座，所述固定基座上设有两个焊接通孔，所述焊接通孔两端的孔壁上设有经过金属化处理的金属化层，两个所述电极的第二端分别穿过两个所述焊接通孔并与对应的所述金属化层焊接连接。2.根据权利要求1所述的高效抗振的离子源灯丝组件，其特征在于：所述焊接通孔两端的孔壁呈外大内小的锥形或喇叭形。3.根据权利要求1所述的高效抗振的离子源灯丝组件，其特征在于：所述电极与对应...

【专利技术属性】
技术研发人员：巨钧栋，徐波，向艳，蔡红华，韦春菊，赵玲，辜丽欢，王栋，魏淑慧，
申请(专利权)人：成都宏明电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：