在线大气等离子处理系统技术方案

技术编号:28712837 阅读:25 留言:0更新日期:2021-06-06 00:48
本发明专利技术适用于等离子处理领域,提供了一种在线大气等离子处理系统,包括机体、自动送料平台、线性模组和电线收纳链,其中,所述机体为双层结构,包括储存仓和加工仓,所述储存仓位于下层,所述加工仓位于上层。本发明专利技术通过将现有产品中双头单向吹扫的等离子喷头改为四头双向吹扫,解决了在等离子处理工件时存在吹扫死角的问题。死角的问题。死角的问题。

【技术实现步骤摘要】
在线大气等离子处理系统


[0001]本专利技术属于等离子处理领域,尤其涉及一种在线大气等离子处理系统。

技术介绍

[0002]等离子处理是一种高科技技术,也叫等离子表面处理仪,利用等离子体对板材表面进行加工处理,等离子体也叫做物质的第四态,它是通过对气体施加足够的能量使之离子化而产生,等离子体的“活性”组分包括离子、电子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等,等离子处理就是通过利用这些活性组分的性质来处理基片表面,从而实现在板材表面镌刻、打印等目的。现有的等离子处理设备通常为一侧设置两个等离子喷头,单向吹扫,这种吹扫模式容易存在处理死角,使得待处理工件无法被完全处理,工件表面的达应值不均匀。另外,现有产品还存在达应值时效性过低的问题。

技术实现思路

[0003]本专利技术实施例提供了一种在线大气等离子处理系统,旨在解决现有产品中存在吹扫死角、处理后工件表面达应值低的问题。
[0004]本专利技术实施例是这样实现的,一种在线大气等离子处理系统,包括机体、自动送料平台、线性模组和电线收纳链,其中,所述机体为双层结构,包括本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种在线大气等离子处理系统,其特征在于,包括机体、自动送料平台、线性模组和电线收纳链,其中,所述机体为双层结构,包括储存仓和加工仓,所述储存仓位于下层,所述加工仓位于上层。2.如权利要求1所述的一种在线大气等离子处理系统,其特征在于,所述储存仓体积小于所述加工仓体积。3.如权利要求1所述的一种在线大气等离子处理系统,其特征在于,所述线性模组包括等离子喷头、滑轨、电机、安装垫片和支撑片,所述等离子喷头沿所述滑轨滑动。4.如权利要求3所述的一种在线大气等离子处理系统,其特征在于,所述滑轨平行水平并排布置。5.如权利要求3所述的一种在线大气等离子处理系统,其特征在于,每个所述线性模组包括两个所述等离子喷头,所述等离子喷头通过所述安装垫片安装于所述滑轨两侧。6.如权利要求3所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:谭健
申请(专利权)人:深圳市神州天柱科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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