【技术实现步骤摘要】
一种离子源灯丝安装装置
[0001]本技术涉及灯丝安装
,尤其涉及一种离子源灯丝安装装置。
技术介绍
[0002]离子源灯丝是各种类型的离子加速器、质谱仪、电磁同位素分离器、离子注入机、离子束刻蚀装置、离子束分析装置以及受控热何聚变装置的中性束注入器等设备的不可缺少的部件,而且离子源对离子源灯丝设备的整体结构及其性能起着决定性作用,离子源灯丝主要由钨丝组成,具有较高的熔点和极强的耐腐蚀性,主要被广泛运用于真空金属化,例如镀铝,铬,离子源灯丝的电流源一般是由三相380V交流电供电的,除此之外,离子源灯丝还具有很强的灵活型,使用周期也相对长久,离子源灯丝耐高温的程度是其主要的特点,人们可以通过对离子源内的绝缘子结构的合理设计来提高其防止沉积物污染的能力,避免离子源灯丝受到污染,并且大大改善离子源灯丝电源的工作效率,增加离子源灯丝的稳定性,维修的次数也会明显减少;
[0003]传统的离子源灯丝安装装置,大多数都是利用螺纹连接的方式对灯丝进行固定,这种方式虽然也能对灯丝充分固定,但是会出现灯丝固定处腐蚀和螺纹固定处卡死 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种离子源灯丝安装装置,包括壳体(1),其特征在于,所述壳体(1)的顶部固定连接有固定板(2),所述固定板(2)的顶部固定连接有接头(3),所述壳体(1)的内侧壁顶部固定连接有柱状电极(4),所述壳体(1)的内侧壁滑动连接有连接板(5),所述壳体(1)的底部螺纹连接有固定盖(6),所述连接板(5)的侧壁贯穿滑动连接有灯丝(7),所述连接板(5)的顶部固定连接有固定块(8),所述连接板(5)的顶部固定连接有限位板(9),所述限位板(9)的顶部开设有定位槽(10),所述限位板(9)的顶部转动连接有转动固定机构,所述限位板(9)的顶部滑动连接有滑杆(12),所述壳体(1)的侧壁开设有方形槽(18),所述方形槽(18)的内侧壁固定连接有弹簧(19),所述弹簧(19)的内侧壁套设有固定杆(20),所述连接板(5)的外侧壁开设有固定槽(17),所述固定槽(17)的内侧壁与固定杆(20)的端部紧密贴合,所述柱状电极(4)的外侧壁与连接板(5)的侧壁贯穿密封滑动连接。2.根据权利要求1所述的一种离子源灯丝安装装置,其特征在于,所述转动固定机构包括与限位板(9)顶部转动连接的异型齿轮(11),所述异型齿轮(11)的顶部固定连接有握把(13),所述握把...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘泉,
申请(专利权)人:深圳市实准科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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