【技术实现步骤摘要】
一种方便切换的离子源灯丝结构
本技术涉及离子源灯丝
,具体为一种方便切换的离子源灯丝结构。
技术介绍
气体放电、电子束对气体原子(或分子)的碰撞,带电粒子束使工作物质溅射以及表面电离过程都能产生离子,并被引出成束。根据不同的使用条件和用途,已研制出多种类型的离子源。使用较广泛的有弧放电离子源、PIG离子源、双等离子体离子源和双彭源,这些都是以气体放电过程为基础的,常被笼统地称为弧源。高频离子源则是由气体中的高频放电来产生离子的,也有广泛的用途。随着生产水平的提高与科技水平的发展,用户对高水平质量的方便切换的离子源灯丝结构的需求日益增加,而目前的离子源灯丝结构还存在离子源灯丝不方便切换,导致用户使用麻烦影响生产效率的问题,故而我们提出了一种方便切换的离子源灯丝结构来解决上述的问题。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足,本技术提供了一种方便切换的离子源灯丝结构,具备离子源灯丝方便切换,便于用户使用提高生产效率等优点,解决了离子源灯丝不方便切换,导致用户使用麻烦影响生产效率的 ...
【技术保护点】
1.一种方便切换的离子源灯丝结构,包括灯壳(1),其特征在于:所述灯壳(1)的顶端两侧均固定安装有接收板(3),所述接收板(3)的顶端开设有放置槽(31),所述接收板(3)的底端固定安装有第一电极(12),所述第一电极(12)的底端固定安装有灯丝(11),所述灯壳(1)的顶端固定安装有固定板(2),所述固定板(2)的底端两侧均固定安装有第二电极(13),所述固定板(2)的顶端开设有活动槽(21),所述活动槽(21)的内壁活动连接有旋转板(22),所述旋转板(22)的顶端固定安装有支撑架(33),所述支撑架(33)的内壁活动连接有连接杆(32)。/n
【技术特征摘要】
1.一种方便切换的离子源灯丝结构,包括灯壳(1),其特征在于:所述灯壳(1)的顶端两侧均固定安装有接收板(3),所述接收板(3)的顶端开设有放置槽(31),所述接收板(3)的底端固定安装有第一电极(12),所述第一电极(12)的底端固定安装有灯丝(11),所述灯壳(1)的顶端固定安装有固定板(2),所述固定板(2)的底端两侧均固定安装有第二电极(13),所述固定板(2)的顶端开设有活动槽(21),所述活动槽(21)的内壁活动连接有旋转板(22),所述旋转板(22)的顶端固定安装有支撑架(33),所述支撑架(33)的内壁活动连接有连接杆(32)。
2.根据权利要求1所述的一种方便切换的离子源灯丝结构,其特征在于:所述旋转板(22)的顶端开设有通孔(27),所述通孔(27)的内壁活动连接有卡柱(24),所述卡柱(24)的顶端固定安装有拉环(28),所述卡柱(24)的外壁固定安装有挡板(25),所述挡板(25)的顶端固定安装有第一弹簧(26),所述活动槽(21)的内壁底端开设有卡槽(23)。
3.根据权利要求1所述的一种方便切换的离子源灯丝结构,其特征在于:所述支撑架(33)的底端开设有滑槽(36),所述滑槽(36)的内壁左侧固定安装有第二弹簧(37),所述第二弹簧(37)的右侧固定安装有弯杆(35),所述连接杆(32)的左侧开设有限位槽(34)。
4.根据权利要求1所述的一...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘泉,
申请(专利权)人:深圳市实准科技有限公司,
类型:新型
国别省市:广东;44
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