一种聚焦离子束显微镜离子源制造技术

本申请涉及一种聚焦离子束显微镜离子源，通过设置多个加热丝与所述离子源储层器通过钨焊接于一个焊接固定点，而钨的熔点为3410摄氏度±20摄氏度，这样可以使得焊接固定点在30摄氏度常温环境下由不会融化变为液态，从而不会导致焊接固定点在30摄氏度常温环境下开焊，从而防止离子源储层器从焊接固定点上脱落。

【技术实现步骤摘要】
一种聚焦离子束显微镜离子源
本申请涉及离子源
，特别是涉及一种聚焦离子束显微镜离子源。
技术介绍
聚焦离子束显微镜使用的离子源(LMIS)一般采用的元素为镓69，它的熔点是29.76摄氏度。具体使用时，将镓69放置于离子源储层器内，再将离子源储层器焊接在加热丝上，最常用的两种离子源的型号为PN11638(储层容量500小时)，PN17135(储层容量1500小时)。然而，传统的聚焦离子束显微镜离子源结构脆弱。传统的聚焦离子束显微镜离子源结构中，离子源储层器和加热丝之间的交叉点采用镓69作为焊接材料焊接。这会导致离子源在存储或者运输的过程中，离子源储层器与加热丝交差点容易开焊导致离子源损坏。由于镓69熔点是29.76摄氏度，因此，只要在环境温度高于30摄氏度下做任何操作都可能会导致镓69熔化由固态变为液态导致交差点开焊，从而使得离子源储层器坠入扫描电镜镜筒，造成聚焦离子束显微镜的离子枪的损坏。
技术实现思路
基于此，有必要针对传统聚焦离子束显微镜离子源在存储或者运输的过程中，离子源储层器与加热丝交叉点容易本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种聚焦离子束显微镜离子源，其特征在于，包括：/n离子源储层器，包括筒状框架，所述筒状框架具有一个容纳腔；所述离子源储层器还包括镓源，所述镓源盛放于所述筒状框架的容纳腔内，与所述筒状框架的内表面固定连接；/n支撑座；/n多个加热丝，所述加热丝的一端与所述支撑座焊接，另一端与所述离子源储层器焊接；所述多个加热丝与所述离子源储层器通过钨焊接于一个焊接固定点。/n

【技术特征摘要】
1.一种聚焦离子束显微镜离子源，其特征在于，包括：
离子源储层器，包括筒状框架，所述筒状框架具有一个容纳腔；所述离子源储层器还包括镓源，所述镓源盛放于所述筒状框架的容纳腔内，与所述筒状框架的内表面固定连接；
支撑座；
多个加热丝，所述加热丝的一端与所述支撑座焊接，另一端与所述离子源储层器焊接；所述多个加热丝与所述离子源储层器通过钨焊接于一个焊接固定点。


2.根据权利要求1所述的聚焦离子束显微镜离子源，其特征在于，所述支撑座包括：
支撑盘，所述支撑盘上设置有多个通孔；
多个离子源接脚，所述离子源接脚的数量等于所述通孔的数量；
所述离子源接脚设置为圆柱体状，每一个离子源接脚穿过一个通孔与所述支撑盘固定连接。


3.根据权利要求2所述的聚焦离子束显微镜离子源，其特征在于，所述离子源接脚的数量等于所述加热丝的数量；每一个加热丝焊接于一个离子源接脚上。


4.根据权利要求3所述的聚焦离子束显微镜离子源，其特征在于，所述筒状框架由一条钨丝构成，所述筒状框架包括：
平直段，设置为直线形状；所述平直段的延长方向垂直于所述支撑盘的表面；
弯曲段，具有一个容纳腔，与所述平直段固...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱进军，
申请(专利权)人：宿迁怡熹电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32