一种用于硅片泡酸分割的恒温系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种用于硅片泡酸分割的恒温系统，涉及硅片加工技术领域，包括酸槽、恒温水箱、热水泵和热水套，热水套围绕酸槽一周，热水套的一端与进水管道连通，另一端与出水管道连通，出水管道的另一端与恒温水箱连通，进水管道的另一端与热水泵的出水口连通，恒温水箱通过管道与热水泵的进水口连通，恒温水箱内设有电加热装置和温度传感器。本实用新型专利技术通过在酸槽外面设置热水套，热水套内循环流通有热水，恒温水箱内的热水由控制器控制，低于某温度值时开启加热装置进行加热，达到该温度值后，自动断电，节约了能源，减少了人工，大大降低了成本，同时，酸液一直保持恒定的温度，大大的提高了硅片分割的良率，提高了硅片分割的效率。的效率。的效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于硅片泡酸分割的恒温系统
[0001]

[0002]本技术涉及硅片加工
，具体是一种用于硅片泡酸分割的恒温系统。

技术介绍

[0003]在硅片的加工过程中，硅片的分割是一个很重要的步骤，在这一个步骤中，需要酸液保持一个恒定的温度才可以达到预设的泡酸分割效果，但是酸液在使用中温度下降很快，大大的影响了分割的效果，同时降低了硅片分割的加工效率，现有技术中，是用电加热棒直接加热酸液，但是这种保温方式缺陷很多，一是酸液会腐蚀加热管，需要及时更换加热管，但是增加了成本；二是酸槽为塑料制品，电加热很容易导致酸槽因为温度原因坏掉，危险系数太高。

技术实现思路

[0004]鉴于现有技术中存在的不足和缺陷，本技术提供了一种用于硅片泡酸分割的恒温系统，用以解决电直接加热酸液而导致的成本增加，分割效果差的问题。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案：一种用于硅片泡酸分割的恒温系统，包括酸槽、恒温水箱、热水泵和热水套，所述热水套围绕所述酸槽一周，热水套的一端与进水管道连通，另一端与出水管道连通，出水管道的另一端与所述恒本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于硅片泡酸分割的恒温系统，其特征在于：包括酸槽、恒温水箱、热水泵和热水套，所述热水套围绕所述酸槽一周，热水套的一端与进水管道连通，另一端与出水管道连通，出水管道的另一端与所述恒温水箱连通，进水管道的另一端与所述热水泵的出水口连通，恒温水箱通过管道与热水泵的进水口连通，水在恒温水箱和热水套之间循环流通，所述恒温水箱内设有电加热装置和温度传感器，所述温度传感器、热水泵、电加热装置均连通到控制器。2.根据权利要求1所述的一种用于硅片泡酸...

【专利技术属性】
技术研发人员：许玉雷，
申请(专利权)人：济南晶博电子有限公司，
类型：新型
国别省市：