半导体刻蚀设备的电源柜制造技术

本发明专利技术公开了一种半导体刻蚀设备的电源柜，包括柜体和配电系统，所述配电系统包括设置在所述柜体内部腔室中的总进线断路器和其他功能模块；所述柜体上设置有柜门，所述柜门包括可双向打开的第一门体和第二门体，所述第一门体和第二门体上分别对应设置有第一门锁和第二门锁，所述第一门体上还设置有总进线断路器操作机构，所述总进线断路器操作机构与所述总进线断路器连接,并至少用于闭合或断开所述总进线断路器,所述第一门锁还分别经总进线断路器操作机构的金属连杆、第一门体的折边与总进线断路器、第二门锁机械连锁。本发明专利技术电源柜内部的功能模块布局合理，实现了对柜体内部线缆的隐藏式布局，使得内部结构更加整齐，便于后期维护和维修。于后期维护和维修。于后期维护和维修。

【技术实现步骤摘要】
半导体刻蚀设备的电源柜


[0001]本专利技术涉及一种电源柜，特别涉及一种半导体刻蚀设备的电源柜，属于电气设备


技术介绍

[0002]电源柜是重要的电力设备，其作用有很多，比如便于分片(或分类)配置电源；当线路出现故障时，有利于控制故障范围也便于快速找出故障点并及时加以排除；便于分片安排线路检修，而无须大面积的停电；配电柜内方便放置各种保护设备如防止短路的熔断器(保险丝)，防止过载的空气开关等，近年来，随着工业的发展，电源柜也广泛应用在各工厂中，为电力供应和工业生产带来了很大的便利。

技术实现思路

[0003]本专利技术的主要目的在于提供一种半导体刻蚀设备的电源柜，以克服现有技术中的不足。
[0004]为实现前述专利技术目的，本专利技术采用的技术方案包括：
[0005]本专利技术实施例提供的一种半导体刻蚀设备的电源柜，包括柜体和配电系统，所述配电系统包括设置在所述柜体内部腔室中的总进线断路器和其他功能模块；
[0006]所述柜体上设置有可打开关闭所述腔室的柜门，所述柜门包括可双向打开的第一门体和第二门体，所述第一门体和第二门体上分别对应设置有第一门锁和第二门锁，以及，所述第一门体上还设置有总进线断路器操作机构，所述总进线断路器操作机构与所述总进线断路器连接,并至少用于闭合或断开所述总进线断路器,并且，所述第一门锁还分别经所述总进线断路器操作机构的金属连杆、第一门体的折边与所述总进线断路器、第二门锁机械连锁，当所述总进线断路器被断开及所述第二门锁处于被解锁的状态时，所述第一门锁处于能够被解锁的状态。
[0007]与现有技术相比，本专利技术的优点包括：
[0008]1)本专利技术实施例提供的一种半导体刻蚀设备的电源柜，结构简单，使用和维护方便
[0009]2)本专利技术实施例提供的一种半导体刻蚀设备的电源柜内部的功能模块布局合理，通过在柜体内部设置多个穿线孔，实现了对柜体内部线缆的隐藏式布局，使得内部结构更加整齐，便于后期维护和维修；
[0010]3)本专利技术实施例提供的一种半导体刻蚀设备的电源柜内部的功能模块同时存在横向和纵向布局，使得连接各个功能模块的线路更短，更加方便。
[0011]4)本专利技术实施例提供的一种半导体刻蚀设备的电源柜，设置有背对设置的两个柜门，配电系统所包含的多个功能模块分别被对应设置在两个腔室内，通过两个背对的柜门可以分别对对应的功能模块实现维护和检修；
[0012]5)本专利技术实施例提供的一种半导体刻蚀设备的电源柜的柜门上还设置有操控总
进线断路器的总进线断路器操作机构，当通过所述总进线断路器操作机构断开所述总进线断路器，使电源柜断电同时所述第二门锁处于被解锁的状态时才能开启第一柜门左门，从而保障了检修电源柜工作人员的安全；
[0013]6)本专利技术实施例提供的一种半导体刻蚀设备的电源柜的第一腔室、第二腔室内均设置有防护板，该防护板能够实现在带电状态下正常打开第一柜门，从而在保证操作人员安全的前提下灵活分断任何一路输出电源。
附图说明
[0014]图1是本专利技术实施例1中提供的一种半导体刻蚀设备的电源柜的结构示意图；
[0015]图2是本专利技术实施例1中提供的一种半导体刻蚀设备的电源柜的正面结构示意图；
[0016]图3是本专利技术实施例1中提供的一种半导体刻蚀设备的电源柜的背面结构示意图；
[0017]图4是本专利技术实施例1中提供的一种半导体刻蚀设备的电源柜的侧面结构示意图；
[0018]图5是本专利技术实施例1中提供的一种半导体刻蚀设备的电源柜的顶部结构示意图；
[0019]图6是本专利技术实施例1中提供的一种半导体刻蚀设备的电源柜的内部结构示意图；
[0020]图7是本专利技术实施例1中提供的一种半导体刻蚀设备的电源柜的内部结构示意图；
[0021]图8是本专利技术实施例1中提供的一种半导体刻蚀设备的电源柜的内部结构示意图。
具体实施方式
[0022]鉴于现有技术中的不足，本案专利技术人经长期研究和大量实践，得以提出本专利技术的技术方案。如下将对该技术方案、其实施过程及原理等作进一步的解释说明。
[0023]本专利技术实施例提供的一种半导体刻蚀设备的电源柜，包括柜体和配电系统，所述配电系统包括设置在所述柜体内部腔室中的总进线断路器和其他功能模块；
[0024]所述柜体上设置有可打开关闭所述腔室的柜门，所述柜门包括可双向打开的第一门体和第二门体，所述第一门体和第二门体上分别对应设置有第一门锁和第二门锁，以及，所述第一门体上还设置有总进线断路器操作机构，所述总进线断路器操作机构与所述总进线断路器连接,并至少用于闭合或断开所述总进线断路器,并且，所述第一门锁还分别经所述总进线断路器操作机构的金属连杆、第一门体的折边与所述总进线断路器、第二门锁机械连锁，当所述总进线断路器被断开及所述第二门锁处于被解锁的状态时，所述第一门锁处于能够被解锁的状态。
[0025]进一步的，所述柜体内部的腔室中还设置有防护板，所述配电系统所包含的多个功能模块设置在所述防护板与柜体之间，其中，与所述功能模块连接的操控按钮设置在所述防护板背对功能模块的一侧，或者，与所述功能模块连接的操控按钮暴露于所述防护板背对功能模块的一侧。
[0026]进一步的，所述腔室被分隔为背对设置的第一腔室和第二腔室，所述柜体上设置有分别可打开关闭所述第一腔室、第二腔室的第一柜门和第二柜门，其中，所述总进线断路器设置在所述第一腔室内，所述总进线断路器操作机构设置在所述第一柜门的第一门体上。
[0027]进一步的，所述第二柜门为双开门结构。
[0028]进一步的，所述防护板为符合阻燃要求的透明的防护板。
[0029]进一步的，所述第一腔室内还设置有第一安装板，所述第一安装板分为上安装板和下安装板，所述第二腔室内还设置有第二安装板，所述多个功能模块分别对应安装在所述第一安装板和第二安装板上，其中，安装在所述第一安装板上的功能模块均为强电模块，设置在所述第二安装板上的功能模块包括强电模块和弱电模块。
[0030]进一步的，所述功能模块被限定在所述第一安装板、第二安装板与防护板之间。
[0031]进一步的，所述功能模块包括断路器、零序互感器、接触器、三相铜排、零排、PE排、铜排绝缘子、漏电保护模块、电源回路端子排、控制回路端子排、时间继电器、直流电源、烟雾传感器、安全继电器、变压器。
[0032]进一步的，所述柜体包括相对设置的顶板、底板以及相对设置的两个侧板，所述顶板、底板以及两个侧板连接并围合形成所述的腔室，其中，所述第一柜门和第二柜门与所述侧板活动连接。
[0033]进一步的，所述第一柜门和第二柜门背对设置。
[0034]进一步的，所述第一柜门上还设置有与柜体内部功能模块连接的多个指示灯。
[0035]更进一步的，所述顶板的外部还设置有多个电缆进出线接头，所述多个电缆进出线接头分别与所述配电系统所包含的多个功能模块电连接。
[0036]更进一步的，所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体刻蚀设备的电源柜，其特征在于包括柜体和配电系统，所述配电系统包括设置在所述柜体内部腔室中的总进线断路器和其他功能模块；所述柜体上设置有可打开关闭所述腔室的柜门，所述柜门包括可双向打开的第一门体和第二门体，所述第一门体和第二门体上分别对应设置有第一门锁和第二门锁，以及，所述第一门体上还设置有总进线断路器操作机构，所述总进线断路器操作机构与所述总进线断路器连接,并至少用于闭合或断开所述总进线断路器,并且，所述第一门锁还分别经所述总进线断路器操作机构的金属连杆、第一门体的折边与所述总进线断路器、第二门锁机械连锁，当所述总进线断路器被断开及所述第二门锁处于被解锁的状态时，所述第一门锁处于能够被解锁的状态。2.根据权利要求1所述半导体刻蚀设备的电源柜，其特征在于：所述柜体内部的腔室中还设置有防护板，所述配电系统所包含的多个功能模块设置在所述防护板与柜体之间，其中，与所述功能模块连接的操控按钮设置在所述防护板背对功能模块的一侧，或者，与所述功能模块连接的操控按钮暴露于所述防护板背对功能模块的一侧。3.根据权利要求2所述半导体刻蚀设备的电源柜，其特征在于：所述腔室被分隔为背对设置的第一腔室和第二腔室，所述柜体上设置有分别可打开关闭所述第一腔室、第二腔室的第一柜门和第二柜门，其中，所述总进线断路器设置在所述第一腔室内，所述总进线断路器操作机构设置在所述第一柜门的第一门体上；和/或，所述第二柜门为双开门结构；优选的，所述防护板为透明的防护板。4.根据权利要求2所述半导体刻蚀设备的电源柜，其特征在于：所述第一腔室内还设置有第一安装板，所述第一安装板分为上安装板和下安装板，所述第二腔室内还设置有第二安装板，所述多个功能模块分别对应安装在所述第一安装板和第二安装板上，其中，安...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱宗男，
申请(专利权)人：苏州冠韵威电子技术有限公司，
类型：发明
国别省市：