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本发明公开了一种半导体刻蚀设备的电源柜，包括柜体和配电系统，所述配电系统包括设置在所述柜体内部腔室中的总进线断路器和其他功能模块；所述柜体上设置有柜门，所述柜门包括可双向打开的第一门体和第二门体，所述第一门体和第二门体上分别对应设置有第一门...
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