被检测体的平坦度测量装置制造方法及图纸

提供一种被检测体的平坦度测量装置，包括：激光光源，配置在所述被检测体的上部并且产生具有从所述被检测体能够被反射的波长的激光；标准具干涉仪，配置在所述被检测体与所述激光光源之间，并且将所述激光变换成照射到所述被检测体的激光阵列；以及分析部，配置在所述被检测体的上部，并且利用从所述被检测体反射的激光阵列来测量所述被检测体的平坦度。因此，可精密地测量如玻璃基板这样的被检测体的平坦度，由此可通过玻璃基板的平坦度的补偿来降低显示装置的工序不良。来降低显示装置的工序不良。来降低显示装置的工序不良。

【技术实现步骤摘要】
被检测体的平坦度测量装置


[0001]本专利技术涉及被检测体的平坦度测量方法及用于执行平坦度测量方法的装置，更详细而言，涉及测量玻璃基板的表面平坦度的方法以及用于执行该方法的装置。

技术介绍

[0002]对于主要用于显示装置中的玻璃基板而言，要求其具有出色的平坦度。若玻璃基板具有低的平坦度，则待形成于玻璃基板的表面的各种膜也可能会具有不均匀的厚度。具有不均匀的厚度的各种膜可能会引起工序不良。
[0003]因此，要求精密地测量玻璃基板和形成于玻璃基板的表面的膜的平坦度的方法和装置。

技术实现思路

[0004]本专利技术提供能够精密地测量如玻璃基板这样的被检测体的平坦度的方法。
[0005]此外，本专利技术还提供用于执行所述的方法的装置。
[0006]根据本专利技术的一方面涉及的被检测体的平坦度测量方法，可将具有从被检测体能够被反射的波长的激光变换成激光阵列。可向所述被检测体照射所述激光阵列。可利用从所述被检测体反射的激光阵列来测量所述被检测体的平坦度。
[0007]在各示例性实施例中，所述被检测体的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种被检测体的平坦度测量装置，包括：激光光源，配置在所述被检测体的上部并且产生具有从所述被检测体能够被反射的波长的激光；标准具干涉仪，配置在所述被检测体与所述激光光源之间，并且将所述激光变换成照射到所述被检测体的激光阵列；以及分析部，配置在所述被检测体的上部，并且利用从所述被检测体反射的激光阵列来测量所述被检测体的平坦度。2.根据权利要求1所述的被检测体的平坦度测量装置，其中，所述激光光源配置在第一垂直方向以及第二垂直方向上并沿着所述第二垂直方向产生所述激光，其中，所述第一垂直方向垂直地经过所述被检测体，并且所述第二垂直方向在平面上的其他位置处与所述第一垂直方向平行。3.根据权利要求2所述的被检测体的平坦度测量装置，还包括：分束器，配置在所述标准具干涉仪与所述被检测体之间，并且将所述激光阵列从所述第二垂直方向引导到所述第一垂直方向。4.根据权利要求2所述的被检测体的平坦度测量装置，其中，所述分析部位于所述第一垂直方向上。5.根据权利要求2所述的被检测体的平坦度测量装置，还包括：滤波器，配置在所述激光光源与所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：林用賱，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：