一种硅片取放机械臂移动机构制造技术

本实用新型专利技术涉及硅片传输技术领域，涉及一种硅片取放机械臂移动机构。本实用新型专利技术具有结构简单、合理，自动化程度高，运行速度更快等优点，其通过移动组件带动两升降组件做直线运动，两升降组件分别带动左吸盘部件、右吸盘部件做往复升降运动，实现取片吸盘在三维空间内直取斜插或斜取直插等动作，硅片传输更加稳定，同时移动组件带动两升降组件，可以更快捷的对左吸盘部件、右吸盘部件做组合动作或者分开动作，避免原机械固定角度带来合片时容易划伤硅片的缺陷，有效提高硅片传输效率。有效提高硅片传输效率。有效提高硅片传输效率。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片取放机械臂移动机构


[0001]本技术涉及硅片传输
，涉及一种硅片取放机械臂移动机构。

技术介绍

[0002]硅片传输定位设备是硅片加工设备的重要组成部分，其功能是实现硅片在不同工位之间快速、高效、可靠的转移，它直接体现出整机的自动化程度，可靠性。
[0003]传统的扩散与氧化退火工艺中硅片从花篮到石英舟，由石英舟到花篮间的硅片取放一般由人工装夹进行传输，人工传输效率低，且人工进行合片时容易划伤硅片表面，影响硅片质量，无法满足现有的硅片传输要求。

技术实现思路

[0004]本技术要解决的技术问题是提供一种实现取片吸盘在三维空间内直取斜插或斜取直插等动作，避免原机械固定角度带来合片时容易划伤硅片的缺陷，有效提高硅片传输效率的硅片取放机械臂移动机构。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
[0006]一种硅片取放机械臂移动机构，包括龙门架、移动组件、左吸盘部件、右吸盘部件以及两升降组件，所述移动组件设置在所述龙门架上，两升降组件设置在所述移动组件上，所述左吸盘部件、右吸盘部件分别设置在两升降组件上，所述移动组件带动两升降组件做直线运动，两升降组件分别带动所述左吸盘部件、右吸盘部件做往复升降运动。
[0007]进一步地，所述升降组件包括升降移动模组，所述升降移动模组设置在升降板上，升降移动模组上设置有升降支架，所述左吸盘部件、右吸盘部件设置在所述升降支架上。
[0008]进一步地，所述左吸盘部件和右吸盘部件对称设置在两升降组件上，所述左吸盘部件和右吸盘部件上均设置有用于装夹取片吸盘的装夹部。
[0009]进一步地，所述左吸盘部件和右吸盘部件结构相同，所述右吸盘部件包括横移单元以及旋转单元，所述旋转单元设置在所述横移单元上，所述旋转单元上设置用于装夹取片吸盘的装夹部。
[0010]进一步地，所述横移单元包括横移座、横移电机以及横移丝杆，所述横移丝杆两端通过轴座与横移座连接，所述横移电机与所述横移丝杆驱动连接，所述横移丝杆上设置有横移螺母，所述横移螺母与旋转单元驱动连接，所述横移座上设置有横移导轨，所述横移导轨上设置有横移滑块，所述横移滑块与所述旋转单元驱动连接。
[0011]进一步地，所述旋转单元包括旋转座、旋转电机以及旋转板，所述旋转电机输出端与旋转杆驱动连接，所述旋转杆通过转动座与旋转板连接，所述旋转杆穿设在所述旋转座上，所述旋转电机通过驱动所述旋转杆转动来带动旋转座沿着所述旋转杆的轴向旋转。
[0012]进一步地，所述旋转轴穿设过所述转动座与旋转挡片连接，所述转动座上设置有与与所述旋转挡片相匹配的多个第三槽型光电开关，多个第三槽型光电开关围设在同一圆周上，所述旋转杆位于所述圆周的圆心上。
[0013]进一步地，所述横移滑块上设置有横移挡片，所述横移座上设置有多个与所述横移挡片相匹配的第二槽型光电开关。
[0014]进一步地，所述装夹部包括装夹板，所述装夹板上开设有多个用于装夹取片吸盘的安装槽。
[0015]进一步地，所述移动组件包括横向移动模组，两升降组件上均设置有移动挡片，所述横向移动模组上设置有与所述移动挡片相匹配的位置槽型光电开关，所述横向移动模组带动两升降组件做相对运动。
[0016]本技术的有益效果：
[0017]本技术具有结构简单、合理，自动化程度高，运行速度更快等优点，其通过移动组件带动两升降组件做直线运动，两升降组件分别带动左吸盘部件、右吸盘部件做往复升降运动，实现取片吸盘在三维空间内直取斜插或斜取直插等动作，硅片传输更加稳定，同时移动组件带动两升降组件，可以更快捷的对左吸盘部件、右吸盘部件做组合动作或者分开动作，避免原机械固定角度带来合片时容易划伤硅片的缺陷，有效提高硅片传输效率。
附图说明
[0018]图1是本技术的一种硅片取放机械臂移动机构结构示意图。
[0019]图2是本技术的左吸盘部件示意图。
[0020]图3是本技术的右吸盘部件立体图。
[0021]图4是本技术的右吸盘部件侧视图。
[0022]图中标号说明：1、龙门架；2、移动组件；21、位置槽型光电开关；22、升降板；3、升降移动模组；31、升降支架；4、左吸盘部件；41、横移座；42、横移电机；43、横移丝杆；44、横移螺母；45、横移导轨；451、第二槽型光电开关；452、横移挡片；46、旋转板；461、旋转电机；462、旋转杆；463、旋转座；464、第三槽型光电开关；465、装夹板；5、右吸盘部件；6、取片吸盘；7、硅片；
具体实施方式
[0023]下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本技术并能予以实施，但所举实施例不作为对本技术的限定。
[0024]参照图1
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4所示，一种硅片取放机械臂移动机构，包括龙门架1、移动组件2、左吸盘部件4、右吸盘部件5以及两升降组件，所述移动组件2设置在所述龙门架1上，两升降组件设置在所述移动组件2上，所述左吸盘部件4、右吸盘部件5分别设置在两升降组件上，所述移动组件2带动两升降组件做直线运动，两升降组件分别带动所述左吸盘部件4、右吸盘部件5做往复升降运动。
[0025]本技术具有结构简单、合理，自动化程度高，运行速度更快等优点，其通过移动组件2带动两升降组件做直线运动，两升降组件分别带动左吸盘部件4、右吸盘部件5做往复升降运动，实现取片吸盘6在三维空间内直取斜插或斜取直插等动作，硅片7传输更加稳定，同时移动组件2带动两升降组件，可以更快捷的对左吸盘部件4、右吸盘部件5做组合动作或者分开动作，避免原机械固定角度带来合片时容易划伤硅片7的缺陷，有效提高硅片7传输效率。
[0026]所述升降组件包括升降移动模组3，所述升降移动模组3设置在升降板22上，升降移动模组3上设置有升降支架31，所述左吸盘部件4、右吸盘部件5设置在所述升降支架31上。
[0027]所述左吸盘部件4和右吸盘部件5对称设置在两升降组件上，所述左吸盘部件4和右吸盘部件5上均设置有用于装夹取片吸盘6的装夹部。
[0028]所述左吸盘部件4和右吸盘部件5结构相同，所述右吸盘部件5包括横移单元以及旋转单元，所述旋转单元设置在所述横移单元上，所述旋转单元上设置用于装夹取片吸盘6的装夹部。
[0029]所述横移单元包括横移座41、横移电机42以及横移丝杆43，所述横移丝杆43两端通过轴座与横移座41连接，所述横移电机42与所述横移丝杆43驱动连接，所述横移丝杆43上设置有横移螺母44，所述横移螺母44与旋转单元驱动连接，所述横移座41上设置有横移导轨45，所述横移导轨45上设置有横移滑块，所述横移滑块与所述旋转单元驱动连接。
[0030]所述旋转单元包括旋转座463、旋转电机461以及旋转板46，所述旋转电机461输出端与旋转杆462驱动连接，所述旋转杆462通过转本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片取放机械臂移动机构，其特征在于，包括龙门架、移动组件、左吸盘部件、右吸盘部件以及两升降组件，所述移动组件设置在所述龙门架上，两升降组件设置在所述移动组件上，所述左吸盘部件、右吸盘部件分别设置在两升降组件上，所述移动组件带动两升降组件做直线运动，两升降组件分别带动所述左吸盘部件、右吸盘部件做往复升降运动。2.如权利要求1所述的硅片取放机械臂移动机构，其特征在于，所述升降组件包括升降移动模组，所述升降移动模组设置在升降板上，升降移动模组上设置有升降支架，所述左吸盘部件、右吸盘部件设置在所述升降支架上。3.如权利要求1所述的硅片取放机械臂移动机构，其特征在于，所述左吸盘部件和右吸盘部件对称设置在两升降组件上，所述左吸盘部件和右吸盘部件上均设置有用于装夹取片吸盘的装夹部。4.如权利要求1所述的硅片取放机械臂移动机构，其特征在于，所述左吸盘部件和右吸盘部件结构相同，所述右吸盘部件包括横移单元以及旋转单元，所述旋转单元设置在所述横移单元上，所述旋转单元上设置用于装夹取片吸盘的装夹部。5.如权利要求4所述的硅片取放机械臂移动机构，其特征在于，所述横移单元包括横移座、横移电机以及横移丝杆，所述横移丝杆两端通过轴座与横移座连接，所述横移电机与所述横移丝杆驱动连接，所述横移丝杆上设置有横移螺母，所述横移螺母与旋转单元驱动连接，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴廷斌，张学强，张建伟，罗银兵，梁齐辉，
申请(专利权)人：罗博特科智能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：