制作成像板的方法及成像板技术

技术编号:29876368 阅读:60 留言:0更新日期:2021-08-31 23:52
本申请公开了一种制作成像板的方法及成像板,涉及制造工艺技术领域,本申请的制作成像板的方法,包括在基板上进行旋涂光刻胶,形成光刻胶层;对光刻胶层进行曝光显影,形成光刻板的反向图案;在反向图案上镀膜,形成遮挡膜层;将镀有遮挡膜层的基板放入预设溶液中,对光刻胶进行溶解,得到与光刻板具备相同图案的成像板。故根据本申请的制作成像板的方法所制成的成像板,能够利用成像板上的遮挡膜层遮挡红外光,从而对红外相机进行标定。

【技术实现步骤摘要】
制作成像板的方法及成像板
本申请涉及制造工艺
,具体而言,涉及一种制作成像板的方法及成像板。
技术介绍
现如今红外相机的使用已经广泛地用于军事侦查、自动驾驶、野生动物保护等领域,且红外相机拍摄的图像信息能拓展视觉系统的使用场景。红外相机在使用前需要对相机进行标定,获得相应的内外参数,但是由于红外相机和普通可见光相机的感应光谱不同,常规的材料无法遮挡红外光,因此,现有技术中的黑白棋盘格标定板或者普通圆形阵列标定板在红外相机下并不能清晰成像,也就不能利用黑白棋盘格标定板对红外相机进行标定。
技术实现思路
本申请的目的在于提供一种制作成像板的方法及成像板,其能够对红外相机进行标定。本申请的实施例是这样实现的:一种制作成像板的方法,包括在基板上进行旋涂光刻胶,形成光刻胶层;对所述光刻胶层进行曝光显影,形成光刻板的反向图案;在所述反向图案上镀膜,形成遮挡膜层;将镀有所述遮挡膜层的所述基板放入预设溶液中,对所述光刻胶进行溶解,得到与所述光刻板具备相同图案的成像板。于一实施例中,所述在所述反向图案上镀膜,形成本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种制作成像板的方法,其特征在于,包括:/n在基板上进行旋涂光刻胶,形成光刻胶层;/n对所述光刻胶层进行曝光显影,形成光刻板的反向图案;/n在所述反向图案上镀膜,形成遮挡膜层;/n将镀有所述遮挡膜层的所述基板放入预设溶液中,对所述光刻胶进行溶解,得到与所述光刻板具备相同图案的成像板。/n

【技术特征摘要】
1.一种制作成像板的方法,其特征在于,包括:
在基板上进行旋涂光刻胶,形成光刻胶层;
对所述光刻胶层进行曝光显影,形成光刻板的反向图案;
在所述反向图案上镀膜,形成遮挡膜层;
将镀有所述遮挡膜层的所述基板放入预设溶液中,对所述光刻胶进行溶解,得到与所述光刻板具备相同图案的成像板。


2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述在所述反向图案上镀膜,形成遮挡膜层之前,还包括:
在所述反向图案的表面上进行镀膜,形成过渡膜层。


3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述在将镀有所述遮挡膜层膜后的所述基板放入预设溶液中,对所述光刻胶进行溶解,得到红外成像板之前,还包括:
在所述遮挡膜层上镀膜,形成保护膜层。


4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述预设溶液为去胶溶液或丙酮溶液。


5.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述过渡膜层的...

【专利技术属性】
技术研发人员:张云雪宋丹何玉国黄安琳
申请(专利权)人:宁波市知行光学科技有限公司
类型:发明
国别省市:浙江;33

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