【技术实现步骤摘要】
一种振镜重复定位精度检测装置和方法
本专利技术涉及光学组件领域，尤其涉及一种振镜重复定位精度检测装置和方法。
技术介绍
激光加工已经广泛应用于现代制造中，特别是在精密加工、微加工领域，其可以用于完成切割、标记、打孔、雕刻等多种加工工艺。而激光振镜作为一种优良的矢量扫描器件，已被广泛应用于激光加工中。振镜的重复定位精度是振镜性能的重要指标之一，振镜重复定位精度高低，直接影响激光加工设备的重复定位精度。因此，对振镜重复定位精度的检测显得尤为重要。目前，对振镜重复定位精度的检测多只关注检测指标本身，并未考虑检测环境对振镜重复定位精度的影响，使得最终获得的重复定位精度数据精确度不高。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种振镜重复定位精度检测装置和方法，其通过将激光光束分为参考光束和测试光束，并获取两路光束的光斑图像抵消掉误差，从而使振镜的位置检测结果更为精确，且可以大幅提高检测效率。为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：一方面，提供了一种振镜重复定位精度检测装置，其包...
【技术保护点】
1.一种振镜重复定位精度检测装置，其特征在于，包括：激光器组件、准直扩束镜、分光镜、振镜、第一聚焦镜头、第一图像传感器、第二聚焦镜头、第二图像传感器、振镜控制组件、控制单元以及计算单元；/n其中，所述激光器组件、准直扩束镜、分光镜、振镜顺次间隔设置；所述第一聚焦镜头设置于所述分光镜下方，所述第一图像传感器设置于所述第一聚焦镜头下方，且连接所述控制单元；所述第二聚焦镜头设置于所述振镜下方，所述第二图像传感器设置于所述第二聚焦镜头下方，且连接所述控制单元；所述振镜控制组件分别对应与振镜、控制单元连接；/n所述激光器组件用于产生激光光束，所述激光光束经过准直扩束镜后被所述分光镜分...
【技术特征摘要】
1.一种振镜重复定位精度检测装置，其特征在于，包括：激光器组件、准直扩束镜、分光镜、振镜、第一聚焦镜头、第一图像传感器、第二聚焦镜头、第二图像传感器、振镜控制组件、控制单元以及计算单元；
其中，所述激光器组件、准直扩束镜、分光镜、振镜顺次间隔设置；所述第一聚焦镜头设置于所述分光镜下方，所述第一图像传感器设置于所述第一聚焦镜头下方，且连接所述控制单元；所述第二聚焦镜头设置于所述振镜下方，所述第二图像传感器设置于所述第二聚焦镜头下方，且连接所述控制单元；所述振镜控制组件分别对应与振镜、控制单元连接；
所述激光器组件用于产生激光光束，所述激光光束经过准直扩束镜后被所述分光镜分成参考光束和测试光束；其中，所述第一传感器用于获取所述参考光束的光斑图像；所述第二图像传感器用于获取所述测试光束的光斑图像；
所述控制单元用于通过振镜控制组件控制所述振镜进行若干次扫描；
所述计算单元用于获取振镜完成若干次扫描后，振镜在X方向的真实角度误差△φx以及在Y方向的真实角度误差△φy。
2.如权利要求1所述的振镜重复定位精度检测装置，其特征在于，所述扫描包括：从零点开始扫描至最大偏转角，并再次返回零点。
3.如权利要求2所述的振镜重复定位精度检测装置，其特征在于，所述振镜每次返回零点时，所述计算单元分别记录参考光束光斑图像在X向的峰值位置x1、在Y向的峰值位置y1，以及分别记录测试光束光斑图像在X向的峰值位置x2、在Y向的峰值位置y2；
且再按照公式（1）获取本次扫描结束后振镜在X方向的真实角度误差△φx以及在Y方向的真实角度误差△φy；
其中，f1为所述第一聚焦头的焦距，f2为第二聚焦头的焦距，由此在振镜完成若干次扫描后，获取若干个振镜在X方向的真实角度误差△φx以及在Y方向的真实角度误差△φy。
4.如权利要求1所述的振镜重复定位精度检测装置，其特征在于，所述第
一聚焦镜头、分光镜、第一图像传感器的中心处于同一垂直轴心线上，所述第二聚焦镜头、振镜、第二图像传感器的中心处于同一垂直轴心线上。
5.如权利要求1所述的振镜重复定位精度检测装置，其特征在于，所述第
一图像传感器和/或第二图像传感器为二维面子CCD或者CMOS图像传感器或者PSD位置传感器。
6.如权利要求1所述的振镜重复定位精度检测装置，其特征在于，所述振镜重复定位精度检测装置还包括：
标准图像获取单元，其用于当振镜处于标准位置时，获取所述参考光束在第一图像传感器上形成的参考光束的光斑图像，以作为参考光束的标准光斑图像，以及所述测试光束在第二图像传感器上形成的测试光束的光斑图像，以作为测试光束的标准光斑图像；
以及比对单元，其用于当振镜处于当前位置时，将当前参考光束的光斑图像与所述参考光束的标准光斑图像进行对比，...
【专利技术属性】
技术研发人员：王雪辉，戚云飞，许维，雷桂明，
申请(专利权)人：武汉华工激光工程有限责任公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42
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