下载一种振镜重复定位精度检测装置和方法的技术资料

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本发明涉及一种振镜重复定位精度检测装置及方法,其包括:激光器组件、准直扩束镜、分光镜、振镜、第一聚焦镜头、第一图像传感器、第二聚焦镜头、第二图像传感器、振镜控制组件、控制单元以及计算单元;所述第一传感器用于获取所述参考光束的光斑图像;所述第...
该专利属于武汉华工激光工程有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉华工激光工程有限责任公司授权不得商用。

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