一种基于氧化锆的陶瓷电容压力芯体制造技术

本发明专利技术公开了一种基于氧化锆的陶瓷电容压力芯体，包括：陶瓷基体，陶瓷基体包括第一氧化锆基体和第一氧化铝基层，第一氧化锆基体上开设有丝印电极腔，第一氧化铝基层印制于丝印电极腔中；基体电极，基体电极印制于第一氧化铝基层上；弹性膜片，弹性膜片设于陶瓷基体的顶部并与陶瓷基体拼合固定；以及膜片电极，膜片电极印制于弹性膜片上，膜片电极与基体电极对应设置且留有间隙。该基于氧化锆的陶瓷电容压力芯体对陶瓷基体的结构做出改进，将第一氧化铝基层嵌入至第一氧化锆基体中，在保证基体电极正常工作的前提下，提高了整个陶瓷基体的结构强度，使整个压力芯体测压范围扩大，灵敏度更高，实用性更强。

【技术实现步骤摘要】
一种基于氧化锆的陶瓷电容压力芯体
本专利技术涉及陶瓷电容压力传感器
，更具体的说是涉及一种基于氧化锆的陶瓷电容压力芯体。
技术介绍
目前，压力传感器是传感器中较大门类，广泛应用于汽车、工业、物联网等领域，陶瓷电容作为压力传感器中一种主要技术路线，具有耐腐蚀、抗冲击、介质兼容性好的优点，在汽车、工业、家电、消费电子等不同行业均有广泛的应用。现有的陶瓷电容以氧化铝基体作为压力芯体的材料，由于氧化铝材料韧性不足，所以陶瓷电容变形不能太大，这意味着对压力的灵敏度较低，不适合做低压力量程测试，测量的压力范围也比较窄，难以满足实际的测压需求。因此，如何提供一种测压范围更大、更加精准的陶瓷电容压力芯体是本领域技术人员亟需解决的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供了一种基于氧化锆的陶瓷电容压力芯体，该芯体通过对陶瓷基体和弹性膜片的结构进行合理改进，解决了现有的基于陶瓷电容的压力传感器灵敏度低、测压范围窄等技术问题。为了实现上述目的，本专利技术采用如下技术方案：一种基于氧化锆的陶瓷电容压力芯体，该芯体包本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于氧化锆的陶瓷电容压力芯体，其特征在于，包括：/n陶瓷基体，所述陶瓷基体包括第一氧化锆基体和第一氧化铝基层，所述第一氧化锆基体上开设有丝印电极腔，所述第一氧化铝基层印制于所述丝印电极腔中；/n基体电极，所述基体电极印制于所述第一氧化铝基层上；/n弹性膜片，所述弹性膜片设于所述陶瓷基体的顶部并与所述陶瓷基体拼合固定；以及/n膜片电极，所述膜片电极印制于所述弹性膜片上，所述膜片电极与所述基体电极对应设置且留有间隙。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于氧化锆的陶瓷电容压力芯体，其特征在于，包括：
陶瓷基体，所述陶瓷基体包括第一氧化锆基体和第一氧化铝基层，所述第一氧化锆基体上开设有丝印电极腔，所述第一氧化铝基层印制于所述丝印电极腔中；
基体电极，所述基体电极印制于所述第一氧化铝基层上；
弹性膜片，所述弹性膜片设于所述陶瓷基体的顶部并与所述陶瓷基体拼合固定；以及
膜片电极，所述膜片电极印制于所述弹性膜片上，所述膜片电极与所述基体电极对应设置且留有间隙。


2.根据权利要求1所述的一种基于氧化锆的陶瓷电容压力芯体，其特征在于，所述弹性膜...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘银纬，
申请(专利权)人：深圳聚德寿科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44