本实用新型专利技术涉及硅片加工领域，具体为一种用于硅片的表面清洗装置，包括清洗槽，所述清洗槽的上侧安装有顶板，所述顶板的底部四角处均通过连杆和清洗槽的外壁固定连接。本实用新型专利技术通过放置框连通硅片在清洗槽内移动，同时通过超声波发生器产生超声波带动水分子跳动，达到对硅片表面清洗的效果，提升了清洗的效率，使得清洗的更加彻底，较为实用，适合广泛推广与使用。
【技术实现步骤摘要】
一种用于硅片的表面清洗装置
本技术涉及硅片加工领域，具体为一种用于硅片的表面清洗装置。
技术介绍
现有的硅片在生产加工的过程中，需要进行清洗，现有的清洗装置，是简单的清洗池，然后将硅片至于放置框内，然后沉入清洗池内进行浸泡，达到清洗的效果，清洗后通过风机进行风干，但是清洗的过程中清洗不彻底，而且风干不彻底，放置框底部任然存在液滴，容易出现滴淋污染的情况，而且清洗液存在一定的腐蚀性，容易对手持放置框的工作人员造成一定的伤害。因此，我们提出一种用于硅片的表面清洗装置。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于硅片的表面清洗装置，解决了
技术介绍
中所提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于硅片的表面清洗装置，包括清洗槽，所述清洗槽的上侧安装有顶板，所述顶板的底部四角处均通过连杆和清洗槽的外壁固定连接；所述顶板的底部左侧安装有液压缸，所述液压缸的尾端固定连接有放置框，所述顶板的底部右侧固定安装有固定杆，所述固定杆的尾端固定连接有干燥箱，所述顶板的顶部插接有风机。作为本技术的一种优选实施方式，所述顶板的底部后侧开设有限位滑槽，所述限位滑槽的内腔左侧壁固定安装有丝杆电机，所述丝杆电机的传动轴外端固定连接有丝杆，所述丝杆的外端通过轴承和限位滑槽的内壁连接，所述丝杆的外壁套装有丝杆滑块，所述丝杆滑块插接于限位滑槽的内腔，所述丝杆滑块的底部和液压缸的顶部固定连接。作为本技术的一种优选实施方式，所述顶板的顶部开设有通孔，所述风机插接于通孔内且和通孔内壁固定连接。作为本技术的一种优选实施方式，所述干燥箱的内壁固定安装有海绵垫。作为本技术的一种优选实施方式，所述清洗槽的外壁固定安装有超声波发生器且超声波发生器的发生端插接于清洗槽内腔。与现有技术相比，本技术的有益效果如下：1.本技术的用于硅片的表面清洗装置，通过放置框连通硅片在清洗槽内移动，同时通过超声波发生器产生超声波带动水分子跳动，达到对硅片表面清洗的效果，提升了清洗的效率，使得清洗的更加彻底。2.本技术的用于硅片的表面清洗装置，通过风机对放置框以及硅片风干过后，放置框进入干燥箱内，通过海绵垫对表面的液滴进行吸收，从而避免出现滴淋污染以及对工作人员造成伤害的情况。附图说明通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1为本技术用于硅片的表面清洗装置的整体结构示意图；图2为本技术用于硅片的表面清洗装置的顶板底部结构示意图；图3为本技术用于硅片的表面清洗装置的干燥箱结构示意图。图中：1、清洗槽；2、连杆；3、顶板；4、超声波发生器；5、液压缸；6、放置框；7、风机；8、固定杆；9、干燥箱；10、限位滑槽；11、丝杆电机；12、丝杆；13、丝杆滑块；14、通孔；15、海绵垫。具体实施方式为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置；本技术中提供的用电器的型号仅供参考。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据实际使用情况更换功能相同的不同型号用电器，对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。请参阅图1-3，本技术提供一种技术方案：一种用于硅片的表面清洗装置，包括清洗槽1，所述清洗槽1的上侧安装有顶板3，所述顶板3的底部四角处均通过连杆2和清洗槽1的外壁固定连接；所述顶板3的底部左侧安装有液压缸5，所述液压缸5的尾端固定连接有放置框6，所述顶板3的底部右侧固定安装有固定杆8，所述固定杆8的尾端固定连接有干燥箱9，所述顶板3的顶部插接有风机7，本实施例中请参阅图1，具体的，通过风机7和干燥箱9进行双重干燥，从而使得干燥效果更佳，避免出现滴淋的情况。本实施例中请参阅图2，所述顶板3的底部后侧开设有限位滑槽10，所述限位滑槽10的内腔左侧壁固定安装有丝杆电机11，所述丝杆电机11的传动轴外端固定连接有丝杆12，所述丝杆12的外端通过轴承和限位滑槽10的内壁连接，所述丝杆12的外壁套装有丝杆滑块13，所述丝杆滑块13插接于限位滑槽10的内腔，所述丝杆滑块13的底部和液压缸5的顶部固定连接，具体的，通过丝杆电机11带动丝杠滑块13横移，从而使得放置框6横移，进而使得能够移动至风机7下方进行干燥。本实施例中请参阅图2，所述顶板3的顶部开设有通孔14，所述风机7插接于通孔14内且和通孔14内壁固定连接，具体的，风机7固定，使得运行稳固。本实施例中请参阅图3，所述干燥箱9的内壁固定安装有海绵垫15，具体的，海绵垫15能够吸潮，使得干燥箱9表面的液滴被吸收。本实施例中请参阅图1，所述清洗槽1的外壁固定安装有超声波发生器4且超声波发生器4的发生端插接于清洗槽1内腔。需要说明的是，本技术一种用于硅片的表面清洗装置包括的部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知，在本装置空闲处，将上述中所有电器件，其指代动力元件、电器件以及适配的监控电脑和电源通过导线进行连接，具体连接手段，应参考下述工作原理中，各电器件之间先后工作顺序完成电性连接，其详细连接手段，为本领域公知技术，下述主要介绍工作原理以及过程，不在对电气控制做说明，工作时，首先放置框6在液压缸5的作用下抬升，然后将硅片至于放置框6内，然后下沉放置框6进入清洗槽1内的清洗液内，然后通过超声波发生器4产生超声波，使得带动水分子跳动，从而对硅片进行清洗，使得清洗的更加彻底，同时丝杆电机11带动丝杆12转动，从而使得丝杆滑块13移动，进而使得放置框6右移，当移动至风机7下方时，液压缸5带动放置框6抬升，然后风机7鼓风进行风干，当风干一定时间后，再次移动放置框6，当至于干燥箱9正上方时，启动液压缸5使得带动和放置框6进入干燥箱9内，通过海绵垫15能够吸收放置框6表面以及底部的液滴，从而避免出现滴淋的情况，同时避免对工作人员造成伤害，该装置结构简单，便于操作，实用性强。以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点，对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种用于硅片的表面清洗装置，包括清洗槽(1)，其特征在于：所述清洗槽(1)的上侧安装有顶板(3)，所述顶板(3)的底部四角处均通过连杆(2)和清洗槽(1)的外壁固定连接；/n所述顶板(3)的底部左侧安装有液压缸(5)，所述液压缸(5)的尾端固定连接有放置框(6)，所述顶板(3)的底部右侧固定安装有固定杆(8)，所述固定杆(8)的尾端固定连接有干燥箱(9)，所述顶板(3)的顶部插接有风机(7)。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于硅片的表面清洗装置，包括清洗槽(1)，其特征在于：所述清洗槽(1)的上侧安装有顶板(3)，所述顶板(3)的底部四角处均通过连杆(2)和清洗槽(1)的外壁固定连接；
所述顶板(3)的底部左侧安装有液压缸(5)，所述液压缸(5)的尾端固定连接有放置框(6)，所述顶板(3)的底部右侧固定安装有固定杆(8)，所述固定杆(8)的尾端固定连接有干燥箱(9)，所述顶板(3)的顶部插接有风机(7)。
2.根据权利要求1所述的一种用于硅片的表面清洗装置，其特征在于：所述顶板(3)的底部后侧开设有限位滑槽(10)，所述限位滑槽(10)的内腔左侧壁固定安装有丝杆电机(11)，所述丝杆电机(11)的传动轴外端固定连接有丝杆(12)，所述丝杆(12)的外端通过轴承和限位...
【专利技术属性】
技术研发人员：雷杰，周炜，王庆钱，杨大谊，周璁，
申请(专利权)人：江西钛创新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江西;36
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