一种电池片扩散尾气排放处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种电池片扩散尾气排放处理装置，包括：保护箱；管道，固定连接于所述保护箱内腔；过滤网，设置于所述管道中央；刮板，固定连接所述过滤网左侧；限位槽，数量为两个，且分别开设于所述管道底端外壁左右两侧；滑块，数量为两个，且固定连接于所述管道底端前后两侧；存料箱，套接于所述管道底端外壁；锁紧机构，固定连接于所述存料箱外壁；滑槽，数量为两个，且分别开设于所述存料箱前后两端，所述滑块插接于滑槽内腔；转杆，固定连接于所述刮板和所述过滤网顶端，且延伸出所述管道外壁；转盘，固定连接于所述转杆顶端。该电池片扩散尾气排放处理装置，防止管道堵塞，可对废料进行收集，提高效率。

【技术实现步骤摘要】
一种电池片扩散尾气排放处理装置
本技术涉及电池片
，具体为一种电池片扩散尾气排放处理装置。
技术介绍
扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺；扩散炉在加工过程中会产生尾气，尾气经过处理后会产生废料，废料会与处理好尾气通管道进行排除，可是在排放时可能会对管道进行堵塞，并且不便于在管道中对废料进行收集，降低工作效率。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种电池片扩散尾气排放处理装置，以至少解决现有技术管道堵塞，不便于对废料收紧的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种电池片扩散尾气排放处理装置，包括：保护箱；管道，固定连接于所述保护箱内腔；过滤网，设置于所述管道中央；刮板，固定连接所述过滤网左侧；限位槽，数量为两个，且分别开设于所述管道底端外壁左右两侧；滑块，数量为两个，且固定连接于所述管道底端前后两侧；存料箱，套接于所述管道底端外壁；锁紧机构，固定连接于所述存料箱外壁；滑槽，数量为两个，且分别本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电池片扩散尾气排放处理装置，其特征在于，包括：/n保护箱(1)；/n管道(2)，固定连接于所述保护箱(1)内腔；/n过滤网(3)，设置于所述管道(2)中央；/n刮板(4)，固定连接所述过滤网(3)左侧；/n限位槽(5)，数量为两个，且分别开设于所述管道(2)底端外壁左右两侧；/n滑块(13)，数量为两个，且固定连接于所述管道(2)底端前后两侧；/n存料箱(7)，套接于所述管道(2)底端外壁；/n锁紧机构(6)，固定连接于所述存料箱(7)外壁；/n滑槽(14)，数量为两个，且分别开设于所述存料箱(7)前后两端，所述滑块(13)插接于滑槽(14)内腔；/n转杆(8)，固定连接于所述刮板(4...

【技术特征摘要】
1.一种电池片扩散尾气排放处理装置，其特征在于，包括：
保护箱(1)；
管道(2)，固定连接于所述保护箱(1)内腔；
过滤网(3)，设置于所述管道(2)中央；
刮板(4)，固定连接所述过滤网(3)左侧；
限位槽(5)，数量为两个，且分别开设于所述管道(2)底端外壁左右两侧；
滑块(13)，数量为两个，且固定连接于所述管道(2)底端前后两侧；
存料箱(7)，套接于所述管道(2)底端外壁；
锁紧机构(6)，固定连接于所述存料箱(7)外壁；
滑槽(14)，数量为两个，且分别开设于所述存料箱(7)前后两端，所述滑块(13)插接于滑槽(14)内腔；
转杆(8)，固定连接于所述刮板(4)和所述过滤网(3)顶端，且延伸出所述管道(2)外壁；
转盘(9)，固定连接于所述转杆(8)顶端；
电机(12)，通过螺钉连接于所述保护箱(1)顶端，且输出端贯穿于所述保护箱(1)内腔；
圆盘(11)，固定连接于所述电机(12)输出端；
圆杆(10)，固定连接于所述圆盘(11)底端，且插接于所述转盘(9)。


2.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：秦超，张巧华，岳丁杰，
申请(专利权)人：南京和洪智能设备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32