一种旋转靶材的清洗包装方法技术

本发明专利技术提供一种旋转靶材的清洗包装方法，所述清洗包装方法包括：采用净化布清洗旋转靶材的内壁；依次采用纳米海绵和净化布清洗旋转靶材的表面；采用膜贴附于旋转靶材的表面，并放置于包装袋中；采用惰性气体置换包装袋中的空气，所述清洗方法成本低，对人体和环境的危害小，清洗包装后旋转靶材洁净度合格，延长了旋转靶材的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种旋转靶材的清洗包装方法
本专利技术涉及旋转靶材清洗
，尤其涉及一种旋转靶材的清洗包装方法。
技术介绍
旋转靶材是圆筒型的磁控靶材，在旋转靶材里面装有静止不动的磁体，以慢速转动。磁控溅射是一种利用带电粒子轰击靶材，使靶材原子从表面逸出并均匀沉积在衬底上的基片镀膜工艺。钛旋转靶材经过粗加工，镗孔，抛光，喷砂，表面会留下油渍，切削液，粉尘，由于高纯铜旋转靶材需要在超净间环境使用，对此有着较高的洁净度要求。现有的靶材清洗包装方法多是清洗机(超声波振动)，清洗机清洗靶材洁净度达标，但是对成本浪费，而且使用的清洗液也不相同，现多数使用二甲苯作为清洗液。现有技术成本高，需要大量清洗液，且使用的清洗液对空气和人有危害。CN112192327A公开了一种旋转靶材的清洗装置及方法，其包括机架、安装机构、打磨喷涂机构以及控制装置；安装机构包括旋转驱动装置和用于定位衬管的位置的定位组件，旋转驱动装置和定位组件均安装在机架上，旋转驱动装置能够驱动定位组件转动，以带动衬管在机架上转动；打磨喷涂机构包括行走驱动装置、第一移动块、压力装置、喷液装置、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种旋转靶材的清洗包装方法，其特征在于，所述清洗包装方法包括以下步骤：/n(1)采用净化布清洗旋转靶材的内壁；/n(2)依次采用纳米海绵和净化布清洗旋转靶材的表面；/n(3)采用膜贴附于旋转靶材的表面，并放置于包装袋中；/n(4)采用惰性气体置换包装袋中的空气，得到清洗包装好的旋转靶材。/n

【技术特征摘要】
1.一种旋转靶材的清洗包装方法，其特征在于，所述清洗包装方法包括以下步骤：
(1)采用净化布清洗旋转靶材的内壁；
(2)依次采用纳米海绵和净化布清洗旋转靶材的表面；
(3)采用膜贴附于旋转靶材的表面，并放置于包装袋中；
(4)采用惰性气体置换包装袋中的空气，得到清洗包装好的旋转靶材。


2.根据权利要求1所述的清洗包装方法，其特征在于，所述旋转靶材的形状包括圆筒状。


3.根据权利要求1或2所述的清洗包装方法，其特征在于，所述旋转靶材的材质包括钛；
优选地，所述旋转靶材中钛的纯度≥99.9wt％。


4.根据权利要求1～3任一项所述的清洗包装方法，其特征在于，步骤(1)所述净化布浸渍有异丙醇。


5.根据权利要求1～4任一项所述的清洗包装方法，其特征在于，步骤(2)所述纳米海绵的材质包括三聚氰胺。


6.根据权利要求1～5任一项所述的清洗包装方法，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，王学泽，赵丽，张光辉，
申请(专利权)人：广东江丰电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44