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本发明提供一种旋转靶材的清洗包装方法，所述清洗包装方法包括：采用净化布清洗旋转靶材的内壁；依次采用纳米海绵和净化布清洗旋转靶材的表面；采用膜贴附于旋转靶材的表面，并放置于包装袋中；采用惰性气体置换包装袋中的空气，所述清洗方法成本低，对人体和...
该专利属于广东江丰电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东江丰电子材料有限公司授权不得商用。

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