压力控制系统与反应炉技术方案

本实用新型专利技术公开了一种压力控制系统与反应炉，压力控制系统包括反应室、冷却装置、抽气装置、第一控制阀与第二控制阀，反应室具有第一开口；冷却装置与第一开口连通，用于对从第一开口流出的气体进行冷却，冷却装置具有供冷却后的气体流出的第二开口与第三开口；抽气装置与第二开口连通，用于调节反应室内的气压；第一控制阀连接于第二开口，用于控制第二开口的开闭；第二控制阀连接于第三开口，用于控制第三开口的开闭。上述压力控制系统的结构简单，易于实现。

【技术实现步骤摘要】
压力控制系统与反应炉
本技术涉及太阳能电池片制造领域，尤其是涉及压力控制系统与反应炉。
技术介绍
目前太阳能电池片制造用的反应炉包括反应室，在生产过程中，需要维持反应室内的压力平衡，此外，当发生异常情况时还需要排出反应室内的废气，相关技术中的相关控制系统结构复杂，难以满足实际生产的需求。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种压力控制系统，能够简化结构，降低成本。本技术还公开了应用上述压力控制系统的反应炉。根据本技术第一实施例的压力控制系统，包括：反应室，具有第一开口；冷却装置，与所述第一开口连通，用于对从所述第一开口流出的气体进行冷却，所述冷却装置具有供冷却后的气体流出的第二开口与第三开口；抽气装置，与所述第二开口连通，用于调节所述反应室内的气压；第一控制阀，连接于所述第二开口，用于控制所述第二开口的开闭；第二控制阀，连接于所述第三开口，用于控制所述第三开口的开闭。根据本技术实施例的压力控制系统，至少具有如下有益效果：冷却装置可以对反应室排出的高温气体进行冷却，避免对抽气装置造成损伤。正常工作时，第一控制阀开启，第二控制阀关闭，抽气装置能够维持反应室内的低压环境。当反应室内出现异常时，第一控制阀关闭，第二控制阀开启，废气能够直接从冷却装置的第三开口排出，结构简单，易于实现。根据本技术的一些实施例，所述压力控制系统还包括：排气管；第一连接管，两端分别与所述抽气装置以及所述排气管连通；第二连接管，两端分别与所述第二控制阀以及所述排气管连通。根据本技术的一些实施例，所述压力控制系统还包括第三连接管，所述第三连接管的两端分别与所述第一控制阀以及所述抽气装置连通。根据本技术的一些实施例，所述冷却装置还具有第四开口，所述压力控制系统还包括压力检测装置，所述压力检测装置连接于所述第四开口。根据本技术的一些实施例，所述第二开口与所述第三开口位于所述冷却装置的相对两侧，所述第四开口位于所述第二开口与所述第三开口之间。根据本技术的一些实施例，所述抽气装置包括定速真空泵与变频器，所述变频器与所述定速真空泵电连接，能够基于所述压力检测装置检测获得的压力值调节所述定速真空泵的转速。根据本技术的一些实施例，所述冷却装置包括：第一壳体，具有第一腔体、冷却介质入口与冷却介质出口，所述冷却介质入口与所述冷却介质出口均与所述第一腔体连通；第二壳体，与所述第一壳体连接，具有与所述第一开口连通的第二腔体；第三壳体，与所述第一壳体连接，具有与所述抽气装置连通的第三腔体；过气管，穿设在所述第一腔体内，两端分别与所述第二腔体以及所述第三腔体连通。根据本技术的一些实施例，包括多个平行设置的所述过气管。根据本技术的一些实施例，还包括截止阀，所述截止阀连接于所述冷却装置与所述抽气装置之间，用于控制所述冷却装置与所述抽气装置的通断。根据本技术第二实施例的反应炉，包括所述的压力控制系统。本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。附图说明下面结合附图和实施例对本技术做进一步的说明，其中：图1为本技术实施例的压力控制系统一个方向的立体示意图；图2为图1中压力控制系统另一个方向的立体示意图；图3为图1中压力控制系统的正视图；图4为图1中冷却装置的立体示意图；图5为图4中冷却装置的的剖视图；图6为本技术实施例中多个压力控制系统组合后的立体示意图。具体实施方式下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中，若干的含义是一个以上，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。本技术的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属
技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本技术中的具体含义。本技术的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本技术的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。参照图1至图3，本技术实施例的压力控制系统包括反应室100、冷却装置200、抽气装置300、第一控制阀400与第二控制阀500，其中，反应室100具有供太阳能电池片参与反应的内腔，以及与内腔连通的第一开口110，反应室100具备升温及真空保压功能。冷却装置200与反应室100的第一开口110连通，具有气道、第二开口210与第三开口220，第二开口210与第三开口220均与气道连通。反应室100内的高温气体从第一开口110流出后进入冷却装置200的气道，并在气道内流动的过程中进行冷却，冷却后的气体选择性的从第二开口210或者第三开口220流出。抽气装置300与第二开口210连通，能够抽吸反应室100内的气体，从而调节反应室100内的气压。第一控制阀400连接于冷却装置200的第二开口210处，用于控制第二开口210的开闭。第二控制阀500连接于冷却装置200的第三开口220处，用于控制第三开口220的开闭。第一控制阀400与第二控制阀500能够选择性的开启，实现气路的切换。反应室100可以是图中的圆柱形反应室，其一端(例如图示的前端)伸出有管道120，管道120的前端具有上述的第一开口110。冷却装置200的进气口与第一开口110之间通过第四连接管650进行连接，以使冷却装置200与反应室100间隔一定的距离，便于在二者之间安装反应室门等其他构件。抽气装置300可以是真空泵，能够持续的抽气以在反应室100内维持低压环境。当第一控制阀400开启，第二控制阀500关闭时，抽本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.压力控制系统，其特征在于，包括：/n反应室，具有第一开口；/n冷却装置，与所述第一开口连通，用于对从所述第一开口流出的气体进行冷却，所述冷却装置具有供冷却后的气体流出的第二开口与第三开口；/n抽气装置，与所述第二开口连通，用于调节所述反应室内的气压；/n第一控制阀，连接于所述第二开口，用于控制所述第二开口的开闭；/n第二控制阀，连接于所述第三开口，用于控制所述第三开口的开闭。/n

【技术特征摘要】
1.压力控制系统，其特征在于，包括：
反应室，具有第一开口；
冷却装置，与所述第一开口连通，用于对从所述第一开口流出的气体进行冷却，所述冷却装置具有供冷却后的气体流出的第二开口与第三开口；
抽气装置，与所述第二开口连通，用于调节所述反应室内的气压；
第一控制阀，连接于所述第二开口，用于控制所述第二开口的开闭；
第二控制阀，连接于所述第三开口，用于控制所述第三开口的开闭。


2.根据权利要求1所述的压力控制系统，其特征在于，所述压力控制系统还包括：
排气管；
第一连接管，两端分别与所述抽气装置以及所述排气管连通；
第二连接管，两端分别与所述第二控制阀以及所述排气管连通。


3.根据权利要求2所述的压力控制系统，其特征在于，所述压力控制系统还包括第三连接管，所述第三连接管的两端分别与所述第一控制阀以及所述抽气装置连通。


4.根据权利要求1所述的压力控制系统，其特征在于，所述冷却装置还具有第四开口，所述压力控制系统还包括压力检测装置，所述压力检测装置连接于所述第四开口。


5.根据权利要求4所述的压力控制系统，其特征在于，所述第二开口与所述第三开口位于所...

【专利技术属性】
技术研发人员：张勇，罗伟斌，欧阳泉，罗之华，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44