一种管式镀膜石墨舟制造技术

本实用新型专利技术实施例涉及光伏设备技术领域，公开了一种管式镀膜石墨舟。包括沿第一方向间隔设置的若干石墨舟片，至少一对相邻的所述石墨舟片间和/或至少一个所述石墨舟片内设有加热载体。通过设置加热载体，可以主动精准控制石墨舟片的温度，使石墨舟片上的温度分布均匀，解决了现有的石墨舟片由于受外部热场影响，导致温度分布不均匀，外侧温度高于内侧温度，石墨舟片的舟尾侧温度高于石墨舟片的舟头侧温度的问题，使硅片沉积氮化硅速率均匀，氮化硅减反射膜膜色差异性小。

【技术实现步骤摘要】
一种管式镀膜石墨舟
本技术实施例涉及光伏设备
，特别涉及一种管式镀膜石墨舟。
技术介绍
太阳能硅片的生产加工中有一道工序叫做等离子增强化学气相沉积(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition，PECVD)镀膜，其作用是提高硅片的太阳能转化率。这个工序就用到石墨舟。把硅片放到石墨舟中，通过等离子化学气相沉积，在硅片表面沉积一层深蓝色氮化硅膜。管式PECVD系统加热靠炉外壁加热丝加热，炉腔内的温度场分布不均匀，这样导致硅片沉积氮化硅时沉积速率不一样，靠近炉壁的沉积速率快，靠近炉管中心的沉积速率慢，氮化硅减反射膜膜色差异性大，色差、返工片偏多，特别是对小管径管式PECVD的影响更加明显。
技术实现思路
本技术实施例的目的在于提供一种管式镀膜石墨舟，解决了现有技术中靠炉外壁加热丝加热，炉腔内的温度场分布不均匀，这样导致硅片沉积氮化硅时沉积速率不一样的问题。为解决上述技术问题，本技术的实施例提供了一种管式镀膜石墨舟，包括沿第一方向间隔设置的若干石墨舟片，至少一对相邻的所述石墨舟片间和/或至少一个所述石墨舟片内设有加热载体。本技术实施例相对于现有技术而言，本技术通过设置加热载体，可以主动精准控制石墨舟片的温度，使石墨舟片上的温度分布均匀，解决了现有的石墨舟片由于受外部热场影响，导致温度分布不均匀，外侧温度高于内侧温度，石墨舟片的舟尾侧温度高于石墨舟片的舟头侧温度的问题，使硅片沉积氮化硅速率均匀，氮化硅减反射膜膜色差异性小。另外，所述加热载体为电热丝或电热片。另外，所述石墨舟片具有沿舟头侧指向舟尾侧的第二方向，所述第二方向垂直于所述第一方向，所述加热载体沿所述第二方向设置。加热载体沿着石墨舟片舟头侧指向舟尾侧设置，使得加热过程能够兼顾舟头和舟尾，解决了现有外部热场加热导致舟尾温度高于舟头温度的问题。另外，所述加热载体在所述石墨舟片的第二方向上形成有多个加热区域。可以通过对不同区域同时或者选择性加热，进而调整石墨舟片整体的温度的精准控制。另外，至少一个所述石墨舟片包括相互贴合的第一子石墨舟片和第二子石墨舟片，所述加热载体设于所述第一子石墨舟片和所述第二子石墨舟片间。本实施将石墨舟片设置为第一子石墨舟片、加热载体、第二子石墨舟片层叠的复合结构，使石墨舟片本身就具备加热功能，且加热性能更佳。另外，所述加热载体设于一对相邻的所述石墨舟片间时，所述加热载体与相邻的两个所述石墨舟片间的距离相等。本实施例通过将加热载体设于相邻的两个所述石墨舟片正中间，可以使两个石墨舟片的加热效果相同，避免了在不同石墨舟片之间产生温差。另外，沿第二方向的首个所述加热区域的功率最高，各所述加热区域的功率沿所述第二方向呈线性或非线性递减。现有技术中石墨舟片的舟尾侧温度高于石墨舟片的舟头侧温度，本实施例中，有沿舟头侧指向舟尾侧方向加热区域功率递减，使得在加热过程中，舟尾侧接收的热量低，舟头侧接收的热量相对较高，相互抵消之下，使得舟头侧与舟尾侧的温度分布均匀。另外，所述加热载体包括多个时，多个所述加热载体并联。另外，所述加热区域的数量为2～10个。另外，所述加热载体为1个时，所述加热载体位于中间位置的一对相邻的所述石墨舟片间或一个石墨舟片内；所述加热载体包括多个时，多个所述加热载体在所述第一方向上均匀分布。本实施例中，将多个加热载体在第一方向上均匀分布，保证每片石墨舟片均能得到相同的加热效果。附图说明一个或多个实施例通过与之对应的附图中的图片进行示例性说明，这些示例性说明并不构成对实施例的限定，附图中具有相同参考数字标号的元件表示为类似的元件，除非有特别申明，附图中的图不构成比例限制。图1是根据本技术实施例的一种管式镀膜石墨舟截立体图；图2是根据本技术实施例的一种管式镀膜石墨舟截面图；图3是根据本技术实施例的石墨舟片结构示意图；图4是根据本技术第一实施例的加热载体安装位置示意图；图5是根据本技术第二实施例的加热载体安装位置示意图。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本技术的各实施例进行详细的阐述。然而，本领域的普通技术人员可以理解，在本技术各实施例中，为了使读者更好地理解本申请而提出了许多技术细节。但是，即使没有这些技术细节和基于以下各实施例的种种变化和修改，也可以实现本申请所要求保护的技术方案。以下各个实施例的划分是为了描述方便，不应对本技术的具体实现方式构成任何限定，各个实施例在不矛盾的前提下可以相互结合相互引用。下面对本实施例的管式镀膜石墨舟的实现细节进行具体的说明，以下内容仅为方便理解提供的实现细节，并非实施本方案的必须。本技术的第一实施例涉及一种管式镀膜石墨舟。如图1和图2中所示，该管式镀膜石墨舟包括沿第一方向(图1、图2中X轴方向)间隔设置的若干石墨舟片10，若干所述石墨舟片10等间距或不等间距设置，如图3中所示，石墨舟片10上设有若干用于装载硅片的凹槽101，其中，如图4中所示，至少一个所述石墨舟片10内设有加热载体20。其中，加热载体20的温度可控范围为25～600℃。本实施例中，通过设置加热载体20可以主动精准控制石墨舟片10的温度，使石墨舟片10上的温度分布均匀，解决了现有的石墨舟片10由于受外部热场影响，导致温度分布不均匀，外侧温度高于内侧温度，石墨舟片10的舟尾侧温度高于石墨舟片10的舟头侧温度的问题，使硅片沉积氮化硅速率均匀，氮化硅减反射膜膜色差异性小。具体地，本实施例中，作为一种优选的实施方式，如图4中所示，所述石墨舟片10包括相互贴合的第一子石墨舟片102和第二子石墨舟片103，所述加热载体20设于所述第一子石墨舟片102和所述第二子石墨舟片间103。将石墨舟片10设置为第一子石墨舟片102、加热载体20、第二子石墨舟片103层叠的复合结构，使石墨舟片10本身就具备加热功能，且加热性能更佳。具体地，本实施例中，作为一种优选的实施方式，所述加热载体20包括多个时，多个所述加热载体20并联。具体地，本实施例中，作为一种优选的实施方式，所述石墨舟片10具有沿舟头侧指向舟尾侧的第二方向(即图1、图2中Y轴方向)，所述第二方向垂直于所述第一方向，所述加热载体20沿所述第二方向设置。加热载体20沿着石墨舟片10舟头侧指向舟尾侧设置，使得加热过程能够兼顾舟头和舟尾，解决了现有外部热场加热导致舟尾温度高于舟头温度的问题。具体地，本实施例中，作为一种优选的实施方式，所述加热载体20在所述石墨舟片10的第二方向上形成有多个加热区域，所述加热区域的数量为2～10个；沿第二方向的首个所述加热区域的功率最高，各所述加热区域的功率沿所述第二方向呈线性或非线性递减。现有技术中石墨舟片10的舟尾侧温度高于石墨舟片10的舟头侧温度，本实施例中，有沿舟头侧指向舟尾侧方向加热区域功率递减，使得在加热过程中，舟尾侧接本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种管式镀膜石墨舟，包括沿第一方向间隔设置的若干石墨舟片，其特征在于，至少一对相邻的所述石墨舟片间和/或至少一个所述石墨舟片内设有加热载体。/n

【技术特征摘要】
1.一种管式镀膜石墨舟，包括沿第一方向间隔设置的若干石墨舟片，其特征在于，至少一对相邻的所述石墨舟片间和/或至少一个所述石墨舟片内设有加热载体。


2.根据权利要求1所述的管式镀膜石墨舟，其特征在于，所述加热载体为电热丝或电热片。


3.根据权利要求1所述的管式镀膜石墨舟，其特征在于，所述石墨舟片具有沿舟头侧指向舟尾侧的第二方向，所述第二方向垂直于所述第一方向，所述加热载体沿所述第二方向设置。


4.根据权利要求3所述的管式镀膜石墨舟，其特征在于，所述加热载体在所述石墨舟片的第二方向上形成有多个加热区域。


5.根据权利要求1所述的管式镀膜石墨舟，其特征在于，至少一个所述石墨舟片包括相互贴合的第一子石墨舟片和第二子石墨舟片，所述加热载体设于所述第一子石墨舟片和所述第二子石墨舟片间。

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【专利技术属性】
技术研发人员：黄纪德，刘长明，张昕宇，金浩，
申请(专利权)人：浙江晶科能源有限公司，晶科能源有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33