【技术实现步骤摘要】
一种大行程压电精密位移平台与控制方法
本专利技术涉及精密驱动领域，特别涉及一种大行程压电精密位移平台与驱动方法，该位移平台基于粘滑原理和压电驱动技术设计，具有结构简单、响应快、控制方便、定位精度高、行程大等特点，且采用动子与驱动机构一体结合的结构，克服了现有压电驱动器行程有限的问题，在较大行程范围内具备稳定的驱动能力。可用于精密测量、精密光学、微观力学性能测试、生物医学工程等领域。
技术介绍
压电驱动器作为一种具有精度高、体积小、响应快、不受电磁干扰等优点的驱动装置，成为了精密驱动领域的研究热点，在航空航天工程、光学工程、生物医学工程和超精密加工等领域得到了广泛应用。然而压电驱动器却普遍存在行程不足的问题，针对这一问题，基于不同步进原理的粘滑惯性式压电驱动器、冲击惯性式压电驱动器、超声电机和尺蠖式压电驱动器等压电驱动器应运而生。《IEEETransactionsonIndustrialElectronics》于2019年在第66卷第5374页(ANovelStick–SlipPiezoelectricActuatorBase...
【技术保护点】
1.一种大行程压电精密位移平台，其特征在于：由基座(1)、导轨a(2)、动子a(3)、导轨b(4)、动子b(5)和载物台(6)组成；所述的导轨a(2)和导轨b(4)固定连接在基座(1)上；所述的动子a(3)通过滑块a(3-1)安装在导轨a(2)上；所述的动子b(5)通过滑块b(3-1)安装在导轨b(4)上；所述的载物台(6)固定连接在动子a(3)的过渡板a(3-2)和动子b(5)的过渡板b(3-2)上。/n
【技术特征摘要】
1.一种大行程压电精密位移平台，其特征在于：由基座(1)、导轨a(2)、动子a(3)、导轨b(4)、动子b(5)和载物台(6)组成；所述的导轨a(2)和导轨b(4)固定连接在基座(1)上；所述的动子a(3)通过滑块a(3-1)安装在导轨a(2)上；所述的动子b(5)通过滑块b(3-1)安装在导轨b(4)上；所述的载物台(6)固定连接在动子a(3)的过渡板a(3-2)和动子b(5)的过渡板b(3-2)上。
2.根据权利要求1所述的一种大行程压电精密位移平台，其特征在于：所述的动子a(3)由滑块a(3-1)、过渡板a(3-2)、柔性铰链机构a(3-3)、压电叠堆a(3-4)、楔形块组a(3-5)、L型板a(3-6)、预紧螺钉a(3-7)和安装螺钉a(3-8)组成；所述的压电叠堆a(3-4)安装在柔性铰链机构a(3-3)的凹槽内，并且通过楔形块组a(3-5)进行预紧；所述的柔性铰链机构a(3-3)固定连接在过渡板a(3-2)上；所述的L型板a(3-6)通过安装螺钉a(3-8)安装在柔性铰链机构a(3-3)上；所述的柔性铰链机构a(3-3)和导轨a(2)弹性接触，通过预紧螺钉a(3-7)调节柔性铰链机构a(3-3)和导轨a(2)之间的接触力；所述的过渡板a(3-2)固定连接在滑块a(3-1)上。
3.根据权利要求1所述的一种大行程压电精密位移平台，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：王馗沣，李轩，孙强，陈炜威，吴浩翔，魏大禹，黄虎，
申请(专利权)人：王馗沣，
类型：发明
国别省市：吉林;22
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