下载一种大行程压电精密位移平台与控制方法的技术资料

文档序号:29763922

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本发明涉及一种大行程压电精密位移平台与控制方法,属于精密机械领域。该位移平台由基座、导轨a、动子a、导轨b、动子b和载物台组成。导轨a和导轨b固定连接在基座上;动子a通过滑块a安装在导轨a上;动子b通过滑块b安装在导轨b上;载物台固定连接在...
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