本实用新型专利技术公开了一种手动式调节探针台，包括操作台及设置于操作台上的显微镜及探针馈电单元，其特征在于：所述操作台上设有X向板及设置于X向板上的Y向板，所述X向板与操作台间设有调节X向板在操作台上移动的X向齿轮调节机构，所述Y向板与X向板间设有调节Y向板在X向板上移动的Y向齿轮调节机构，所述Y向板上设有快速升降台，且Y向板与快速升降台间设有使快速升降台快速升降的凸轮升降机构，所述快速升降台上设有载物板，所述载物板与快速升降台间设有能够调节载物板角度的旋转机构。
【技术实现步骤摘要】
一种手动式调节探针台
本技术涉及一种探针台，特别是一种手动式调节探针台。
技术介绍
现如今，探针台主要是对半导体行业以及光电行业的电子元件(如芯片、晶元等)进行测试分析的精密机台，探针台被广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。随着半导体技术的发展，芯片的集成度越来越高，因而对探针台的要求也越来越高，本申请人设计了一款操作方便、可靠性好且成本低的手动式调节探针台。
技术实现思路
为了克服现有技术的不足，本技术提供一种手动式调节探针台。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种手动式调节探针台，包括操作台及设置于操作台上的显微镜及探针馈电单元，其特征在于：所述操作台上设有X向板及设置于X向板上的Y向板，所述X向板与操作台间设有调节X向板在操作台上移动的X向齿轮调节机构，所述Y向板与X向板间设有调节Y向板在X向板上移动的Y向齿轮调节机构，所述Y向板上设有快速升降台，且Y向板与快速升降台间设有使快速升降台快速升降的凸轮升降机构，所述快速升降台上设有载物板，所述载物板与快速升降台间设有能够调节载物板角度的旋转机构。所述X向齿轮调节机构包括设置于操作台上的X向齿条及设置于X向板上与X向齿条啮合的X向齿轮，X向齿轮设置于X向转轴上且X向转轴与X向旋钮连接，所述X向转轴与X向板转动连接；所述Y向齿轮调节机构包括设置于Y向板上的Y向齿条及设置于X向板上与Y向齿条啮合的Y向齿轮，Y向齿轮设置于Y向转轴上且Y向转轴与Y向旋钮连接，所述Y向转轴与X向板转动连接。还包括中间螺母、与X向板固定的齿轮座、与齿轮座固定的中间轴套，所述Y向齿轮、Y向转轴与Y向旋钮同轴一体设置，且设有贯通Y向齿轮、Y向转轴与Y向旋钮的Y向内孔，所述X向转轴穿过中间轴套，所述中间轴套穿过Y向内孔，且Y向旋钮通过齿轮座支撑，所述中间螺母与中间轴套螺纹连接且中间螺母的下端能够与Y向旋钮接触而限制其上移，所述X向旋钮通过中间螺母支撑，且X向转轴的顶端设有能够与X向旋钮接触的X轴限制件。所述Y向旋钮与齿轮座间设有Y阻尼环；所述X向旋钮与中间螺母间设有X阻尼环，X阻尼环及Y阻尼环均通过调节钮锁紧。所述Y向板上设有轮座，轮座上设有能够转动的轮轴，轮轴的一端设有手柄，且轮轴的另一端偏心设有升顶轮，所述快速升降台包括设置于Y向板上的升降主轴及升降座，升降座中设有升降孔，升降主轴与升降孔滑动配合，且升顶轮能够与升降座接触而将升降座顶起。所述升降孔中设有导向套，且升降主轴上设有滚珠套，所述导向套套在滚珠套上。所述旋转机构为设置于升降座上的旋转盘，该旋转盘的下盘与升降座连接，且该旋转盘的上盘与载物板连接。所述升降座上设有调节支撑板，该调节支撑板上设有调节螺孔及与调节螺孔配合的调节旋钮。所述升顶轮能够与调节旋钮接触而将升降座顶起。所述操作台上设有立柱，所所述立柱上设有直线轴承及轴承滑杆，轴承滑杆上设有连接座及与连接座转动连接的旋座，所述旋座上设有与旋座配合的锁紧调节杆，所述显微镜设置于旋座上。本技术的有益效果是：本技术采用了齿轮调节机构来调节X向板及Y向板的移动，从而带动载物板的移动；在Y向板上设置了凸轮升降机构，通过凸轮升降机构能够实现快速升降台及载物板的快速升降到最高点或最低点，齿轮调节机构及凸轮升降机构均具有操作方便、可靠性好且成本低的优点，因而提高了产品的市场竞争力。附图说明下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。图1是本技术的整体视图；图2是载物板及调节载物板移动部分的立体视图；图3是载物板及调节载物板移动部分的剖面视图；图4是调节载物板升降部分的立体视图；图5是齿轮调节机构的整体视图；图6是齿轮调节机构的剖面视图。具体实施方式参照图1至图6，本技术公开了一种手动式调节探针台，包括操作台1及设置于操作台1上的显微镜2及探针馈电单元3，所述操作台1上设有X向板4及设置于X向板4上的Y向板5，所述X向板4与操作台1间设有调节X向板4在操作台1上移动的X向齿轮调节机构，所述Y向板5与X向板4间设有调节Y向板5在X向板4上移动的Y向齿轮调节机构，所述Y向板5上设有快速升降台，且Y向板5与快速升降台间设有使快速升降台快速升降的凸轮升降机构，所述快速升降台上设有载物板6，所述载物板6与快速升降台间设有能够调节载物板6角度的旋转机构。如图所示，所述X向齿轮调节机构包括设置于操作台1上的X向齿条7及设置于X向板4上与X向齿条7啮合的X向齿轮8，X向齿轮8设置于X向转轴9上且X向转轴9与X向旋钮10连接，X向齿轮8通过螺钉锁在X向转轴9上，X向旋钮10与X向转轴9是螺纹配合连接固定，所述X向转轴9与X向板4转动连接；所述Y向齿轮调节机构包括设置于Y向板5上的Y向齿条11及设置于X向板4上与Y向齿条11啮合的Y向齿轮12，Y向齿轮12设置于Y向转轴13上且Y向转轴13与Y向旋钮14连接固定，所述Y向转轴13与X向板4转动连接，通过上述结构我们能够通过Y向旋钮14带动Y向齿轮12转动，通过Y向齿轮12带动Y向齿条11使Y向板5移动，上述X向转轴9与Y向转轴13可以分别设置，从而分别调节X向板4与Y向板5的移动，但是为了尽量节省空间，以及调节更加方便，我们将X向旋钮10与Y向旋钮14做到同轴，具体结构如下：还包括中间螺母15、与X向板4固定的齿轮座16、与齿轮座16固定的中间轴套17，所述Y向齿轮12、Y向转轴13与Y向旋钮14同轴一体设置，且设有贯通Y向齿轮12、Y向转轴13与Y向旋钮14的Y向内孔，所述X向转轴9穿过中间轴套17，所述中间轴套17穿过Y向内孔且中间轴套17与Y向内孔为转动配合，且Y向旋钮14通过齿轮座16支撑，当然Y向旋钮14与齿轮座16间设有减小转动摩擦的润滑垫片18，所述中间螺母15与中间轴套17螺纹连接且中间螺母15的下端能够与Y向旋钮14接触而限制其上移，所述X向旋钮10通过中间螺母15支撑，当然X向旋钮10与中间螺母15间设有减小转动摩擦的润滑垫片18，且X向转轴9的顶端设有能够与X向旋钮10接触的X轴限制件，X轴限制件为六方螺母，通过上述结构我们能够通过X向旋钮10带动X向齿轮8转动，通过X向齿轮8带动X向齿条7使X向板4移动。如图所示，所述Y向旋钮14与齿轮座16间设有Y阻尼环19；Y阻尼环19与中间螺母15螺纹连接，所述X向旋钮10与中间螺母15间设有X阻尼环20，X阻尼环20与齿轮座16上的套筒螺纹连接，X向转轴9及Y向转轴13均穿过套筒，X阻尼环20及Y阻尼环19均通过调节钮锁紧，通过X阻尼环20及Y阻尼环19能够调节X向旋钮10及Y向旋钮14的旋转阻力，从而提高了使用者的手感，易于提高调节精度。所述Y向板5上设有轮座21，轮座21上设有能够转动的轮轴22，轮轴22的一端设有手柄23，且轮轴22的另一端偏心设有升顶轮24，所述快速升降台包括设置于Y向板5上的升降主轴本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种手动式调节探针台，包括操作台及设置于操作台上的显微镜及探针馈电单元，其特征在于：所述操作台上设有X向板及设置于X向板上的Y向板，所述X向板与操作台间设有调节X向板在操作台上移动的X向齿轮调节机构，所述Y向板与X向板间设有调节Y向板在X向板上移动的Y向齿轮调节机构，所述Y向板上设有快速升降台，且Y向板与快速升降台间设有使快速升降台快速升降的凸轮升降机构，所述快速升降台上设有载物板，所述载物板与快速升降台间设有能够调节载物板角度的旋转机构。/n
【技术特征摘要】
1.一种手动式调节探针台，包括操作台及设置于操作台上的显微镜及探针馈电单元，其特征在于：所述操作台上设有X向板及设置于X向板上的Y向板，所述X向板与操作台间设有调节X向板在操作台上移动的X向齿轮调节机构，所述Y向板与X向板间设有调节Y向板在X向板上移动的Y向齿轮调节机构，所述Y向板上设有快速升降台，且Y向板与快速升降台间设有使快速升降台快速升降的凸轮升降机构，所述快速升降台上设有载物板，所述载物板与快速升降台间设有能够调节载物板角度的旋转机构。
2.根据权利要求1所述的一种手动式调节探针台，其特征在于：所述X向齿轮调节机构包括设置于操作台上的X向齿条及设置于X向板上与X向齿条啮合的X向齿轮，X向齿轮设置于X向转轴上且X向转轴与X向旋钮连接，所述X向转轴与X向板转动连接；所述Y向齿轮调节机构包括设置于Y向板上的Y向齿条及设置于X向板上与Y向齿条啮合的Y向齿轮，Y向齿轮设置于Y向转轴上且Y向转轴与Y向旋钮连接，所述Y向转轴与X向板转动连接。
3.根据权利要求2所述的一种手动式调节探针台，其特征在于：还包括中间螺母、与X向板固定的齿轮座、与齿轮座固定的中间轴套，所述Y向齿轮、Y向转轴与Y向旋钮同轴一体设置，且设有贯通Y向齿轮、Y向转轴与Y向旋钮的Y向内孔，所述X向转轴穿过中间轴套，所述中间轴套穿过Y向内孔，且Y向旋钮通过齿轮座支撑，所述中间螺母与中间轴套螺纹连接且中间螺母的下端能够与Y向旋钮接触而限制其上移，所述X向旋钮通过中间螺母支撑，且X向转轴的顶端设有能够与X向旋钮接触的X轴限制件。
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【专利技术属性】
技术研发人员：胡呈祥，陈晓锋，
申请(专利权)人：广东柏兹电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44
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