一种具备控温功能的退火炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种具备控温功能的退火炉，包括退火炉，所述退火炉的左侧连通有进料口，所述退火炉的右侧连通有出料口，所述退火炉正面的两侧均固定安装有供气口，所述供气口的正面连通有燃气管，且燃气管的内部连通有第二电控阀，所述退火炉顶部的左侧连通有进气管，所述退火炉顶部的右侧连通有出气管。本实用新型专利技术通过设置第一电控阀用于将进气管和出气管打开，将外部的空气送至退火炉的内部和将退火炉内部的空气排出从而实现降温，通过设置第二电控阀用于控制进入退火炉内部的燃气量，通过燃气量的降低从而使得退火炉内部的温度降低实现控温，同时解决了现有退火炉无法控制温度影响产品质量的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种具备控温功能的退火炉
本技术涉及退火炉
，具体为一种具备控温功能的退火炉。
技术介绍
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。现有的退火炉在使用时不具备温度控制功能，不能够满足生产需要。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种具备控温功能的退火炉，具备能够调节退火炉内部温度的优点，解决了现有退火炉无法控制温度影响产品质量的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种具备控温功能的退火炉，包括退火炉，所述退火炉的左侧连通有进料口，所述退火炉的右侧连通有出料口，所述退火炉正面的两侧均固定安装有供气口，所述供气口的正面连通有燃气管，且燃气管的内部连通有第二电控阀，所述退火炉顶部的左侧连通有进气管，所述退火炉顶部的右侧连通有出气管，所述进气管和出气管的内部均连通有第一电控阀，所述退火炉正面的中部固定安装有触屏显示器，所述触屏显示器的顶部固定安装有处理器，所述退火炉的顶部固定安装有安装架，所述安装架的内部固定安装有电机，所述退火炉的顶部且位于安装架的两侧均固定安装有温度传感器；所述处理器的输出端分别与第一电控阀、电机、触屏显示器和第二电控阀的输入端电连接，所述处理器的输入端分别与温度传感器和触屏显示器的输出端电连接。优选的，所述进气管和出气管的内部均固定安装有安装杆，所述安装杆的内部通过第一轴承转动连接有主轴，所述主轴的顶部固定安装有扇叶。优选的，所述退火炉的顶部且位于安装架的两侧和安装杆的底部均固定安装有均匀分布的固定杆，所述固定杆的内部转动连接有传动杆。优选的，所述传动杆的两侧、安装架的顶部和主轴的底部均固定安装有锥形齿轮，所述电机与传动杆之间和传动杆与主轴之间均通过锥形齿轮啮合。优选的，所述传动杆与进气管和出气管之间均通过第二轴承转动连接。与现有技术相比，本技术的有益效果如下：1、本技术通过设置第一电控阀用于将进气管和出气管打开，将外部的空气送至退火炉的内部和将退火炉内部的空气排出从而实现降温，通过设置第二电控阀用于控制进入退火炉内部的燃气量，通过燃气量的降低从而使得退火炉内部的温度降低实现控温，通过设置触屏显示器用于将温度参数输送至处理器的内部，通过处理器用于控制第一电控阀、电机和第二电控阀，通过设置温度传感器用于采集退火炉内部的温度，同时解决了现有退火炉无法控制温度影响产品质量的问题。2、本技术通过设置主轴与扇叶之间的配合产生负压，从而将外部的空气送至退火炉的内部和将退火炉内部的空气排出，通过设置固定杆用于对传动杆进行固定，通过设置传动杆用于将电机的动能输送至进气管和出气管的内部，通过设置锥形齿轮实现传动杆与电机和主轴之间的连接，从而降低动能的损耗，通过设置第二轴承实现传动杆与出气管和进气管之间的稳定，从而减小传动杆在转动时对出气管和进气管产生的震动。附图说明图1为本技术结构示意图；图2为本技术出气管截面结构示意图；图3为本技术系统原理图。图中：1、退火炉；2、进料口；3、供气口；4、第一电控阀；5、进气管；6、温度传感器；7、固定杆；8、安装架；9、电机；10、传动杆；11、出气管；12、触屏显示器；13、第二电控阀；14、出料口；15、安装杆；16、锥形齿轮；17、扇叶；18、处理器；19、主轴。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本申请文件的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利的限制。在本申请文件的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利中的具体含义。请参阅图1-3，一种具备控温功能的退火炉，包括退火炉1，退火炉1的左侧连通有进料口2，退火炉1的右侧连通有出料口14，退火炉1正面的两侧均固定安装有供气口3，供气口3的正面连通有燃气管，且燃气管的内部连通有第二电控阀13，退火炉1顶部的左侧连通有进气管5，退火炉1顶部的右侧连通有出气管11，进气管5和出气管11的内部均连通有第一电控阀4，退火炉1正面的中部固定安装有触屏显示器12，触屏显示器12的顶部固定安装有处理器18，退火炉1的顶部固定安装有安装架8，安装架8的内部固定安装有电机9，退火炉1的顶部且位于安装架8的两侧均固定安装有温度传感器6，通过设置进料口2将待退火的物品送至退火炉1的内部，通过设置第一电控阀4用于将退火完成的物品取出，通过设置供气口3与燃气管之间的配合将气体送至退火炉1的内部燃烧，从而增加退火炉1内部的温度，通过设置第二电控阀13用于控制进入退火炉1内部的气体量，从而控制退火炉1内部的燃烧，实现控温，通过设置进气管5用于将外部的空气送至退火炉1的内部对退火炉1内部进行降温，通过设置出气管11用于将退火炉1内部的热量排出，从而实现对退火炉1内部的温度进行控制，处理器18的输出端分别与第一电控阀4、电机9、触屏显示器12和第二电控阀13的输入端电连接，处理器18的输入端分别与温度传感器6和触屏显示器12的输出端电连接，通过设置第一电控阀4用于将进气管5和出气管11打开，将外部的空气送至退火炉1的内部和将退火炉1内部的空气排出从而实现降温，通过设置第二电控阀13用于控制进入退火炉1内部的燃气量，通过燃气量的降低从而使得退火炉1内部的温度降低实现控温，通过设置触屏显示器12用于将温度参数输送至处理器18的内部，通过处理器18用于控制第一电控阀4、电机9和第二电控阀13，通过设置温度传感器6用于采集退火炉1内部的温度，进气管5和出气管11的内部均固定安装有安装杆15，安装杆15的内部通过第一轴承转动连接有主轴19，主轴19的顶部固定安装有扇叶17，通过设置主轴19与扇叶17之间的配合产生负压，从而将外部的空气送至退火炉1的内部和将退火炉1内部的空气排出，退火炉1的顶部且位于安装架8的两侧和安装杆15的底部均固定安装有均匀分布的固定杆7，固定杆7的内部本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具备控温功能的退火炉，包括退火炉(1)和传动杆(10)，其特征在于：所述退火炉(1)的左侧连通有进料口(2)，所述退火炉(1)的右侧连通有出料口(14)，所述退火炉(1)正面的两侧均固定安装有供气口(3)，所述供气口(3)的正面连通有燃气管，且燃气管的内部连通有第二电控阀(13)，所述退火炉(1)顶部的左侧连通有进气管(5)，所述退火炉(1)顶部的右侧连通有出气管(11)，所述进气管(5)和出气管(11)的内部均连通有第一电控阀(4)，所述退火炉(1)正面的中部固定安装有触屏显示器(12)，所述触屏显示器(12)的顶部固定安装有处理器(18)，所述退火炉(1)的顶部固定安装有安装架(8)，所述安装架(8)的内部固定安装有电机(9)，所述退火炉(1)的顶部且位于安装架(8)的两侧均固定安装有温度传感器(6)；/n所述处理器(18)的输出端分别与第一电控阀(4)、电机(9)、触屏显示器(12)和第二电控阀(13)的输入端电连接，所述处理器(18)的输入端分别与温度传感器(6)和触屏显示器(12)的输出端电连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种具备控温功能的退火炉，包括退火炉(1)和传动杆(10)，其特征在于：所述退火炉(1)的左侧连通有进料口(2)，所述退火炉(1)的右侧连通有出料口(14)，所述退火炉(1)正面的两侧均固定安装有供气口(3)，所述供气口(3)的正面连通有燃气管，且燃气管的内部连通有第二电控阀(13)，所述退火炉(1)顶部的左侧连通有进气管(5)，所述退火炉(1)顶部的右侧连通有出气管(11)，所述进气管(5)和出气管(11)的内部均连通有第一电控阀(4)，所述退火炉(1)正面的中部固定安装有触屏显示器(12)，所述触屏显示器(12)的顶部固定安装有处理器(18)，所述退火炉(1)的顶部固定安装有安装架(8)，所述安装架(8)的内部固定安装有电机(9)，所述退火炉(1)的顶部且位于安装架(8)的两侧均固定安装有温度传感器(6)；
所述处理器(18)的输出端分别与第一电控阀(4)、电机(9)、触屏显示器(12)和第二电控阀(13)的输入端电连接，所述处理器(18)的输入端分别与温度传感器(6)和触屏显示器(12)的输出端电连接。...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗银，
申请(专利权)人：沈阳航飞仓储设备工程有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁;21