一种控制板组件及曝光机制造技术

本实用新型专利技术揭示了一种控制板组件及曝光机，所述控制板组件包括控制板和一接地的屏蔽线，控制板与数字微镜器件相连，且控制板与屏蔽线相连。本实用新型专利技术提高了控制板控制信号的稳定性，避免出现投图漏光的现象，从而提高了曝光机的曝光效率和准确性。

【技术实现步骤摘要】
一种控制板组件及曝光机
本技术涉及一种曝光设备，尤其是涉及一种控制板组件及曝光机。
技术介绍
传统的投影式光刻中，曝光工艺所使用的光掩模的制作加工是一道比较繁琐复杂的工序，对掩模和光刻工艺也有较高的要求，加工成本相对昂贵。为解决这一问题，一种基于数字微镜器件(DMD)的数字无掩膜光刻技术逐渐得到了应用。现有的多数DMD光刻曝光控制系统中，通常由上位机控制软件(如DMD的控制板DPB)完成对曝光图像的处理，控制板DPB将曝光图像经过处理后，然后通过通信接口传输到DMD进行曝光，控制DMD的每个微镜元件。但是在曝光图像传输过程中，控制板DPB容易受到外部电磁场和静电对内部传输信号的干扰，导致图像传输信号不稳定，进而使得DMD光刻曝光控制系统在曝光运行时，出现投图漏光的现象，导致无法曝光出完整的图形，从而影响曝光效率和准确性。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种控制板组件及曝光机。为实现上述目的，本技术提出如下技术方案：一种控制板组件，所述控制板组件包括控制板，所述控制板与数字微镜器件相连，用于控制数字微镜器件的工作，所述控制板组件还包括与控制板连接的屏蔽线，所述屏蔽线接地。优选地，所述屏蔽线直接接地。优选地，所述屏蔽线间接接地。优选地，所述屏蔽线通过一中间结构接地。优选地，所述中间结构为曝光机台。优选地，所述控制板与数字微镜器件通过软性电路板相连接。优选地，所述控制板组件还包括主机，所述主机与控制板相连接。r>优选地，所述控制板通过网线与主机相连接。本技术提出如下技术方案：一种曝光机，包括数字微镜器件及上述控制板组件，所述控制板组件包括控制板和屏蔽线，所述控制板与数字微镜器件相连，所述控制板与屏蔽线相连，所述屏蔽线接地。本技术的有益效果是：本技术通过将控制板增加一接地的屏蔽线，可以有效防止外部电磁场和静电对控制板内部信号的干扰，保证控制板的控制信号的稳定，避免出现投图漏光的现象，从而提高了曝光机的曝光效率和准确性。附图说明图1是本技术实施例曝光机的结构示意图；附图标记：1、数字微镜器件，2、控制板组件，21、控制板，22、屏蔽线，23、主机，3、曝光机台。具体实施方式下面将结合本技术的附图，对本技术实施例的技术方案进行清楚、完整的描述。本技术所揭示的一种控制板组件及曝光机，通过将控制DMD工作的控制板增加一接地的屏蔽线，有效防止外部电磁场和静电对控制板内部信号的干扰，保证控制板的控制信号的稳定，避免出现投图漏光的现象，从而提高了曝光机的曝光效率和准确性。如图1所示，本技术实施例所揭示的一种曝光机，包括数字微镜器件1和控制板组件2，其中，控制板组件2与数字微镜器件(DMD)1相连，用于控制数字微镜器件1工作。控制板组件2包括控制板21、屏蔽线22和主机23，控制板(DPB板)21与数字微镜器件1相连，实施时，控制板21与数字微镜器件1之间可通过软性电路板(即数据排线)相连接，控制板21将经过处理后的曝光图像信号通过软性电路板传输到数字微镜器件1，控制数字微镜器件1进行曝光。优选地，控制板21与屏蔽线22相连，屏蔽线22接地，屏蔽线22用于将控制板21上的外部电磁场和静电等干扰信号导入大地，从而可以有效防止外部电磁场和静电对控制板21内部信号的干扰，保证控制板21的控制信号的稳定。实施时，屏蔽线22可以直接接地，即直接与地面接触，或者屏蔽线22通过一中间结构间接接地，即屏蔽线22连接中间结构，中间结构与地面接触。本实施例中，屏蔽线22通过一中间结构间接接地，中间结构为曝光机的曝光机台3，即屏蔽线22与曝光机台3连接，曝光机台3与地面接触。进一步地，控制板21与主机23相连接，主机23与控制板21通过网线(如GE网线)连接，主机23与曝光机台3相连接(如也通过GE网线相连接)，主机23用于控制整个曝光机的运行。本技术的
技术实现思路
及技术特征已揭示如上，然而熟悉本领域的技术人员仍可能基于本技术的教示及揭示而作种种不背离本技术精神的替换及修饰，因此，本技术保护范围应不限于实施例所揭示的内容，而应包括各种不背离本技术的替换及修饰，并为本专利申请权利要求所涵盖。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种控制板组件，其特征在于，所述控制板组件包括控制板，所述控制板与数字微镜器件相连，用于控制数字微镜器件的工作，所述控制板组件还包括与控制板连接的屏蔽线，所述屏蔽线接地。/n

【技术特征摘要】
1.一种控制板组件，其特征在于，所述控制板组件包括控制板，所述控制板与数字微镜器件相连，用于控制数字微镜器件的工作，所述控制板组件还包括与控制板连接的屏蔽线，所述屏蔽线接地。


2.根据权利要求1所述的一种控制板组件，其特征在于，所述屏蔽线直接接地。


3.根据权利要求1所述的一种控制板组件，其特征在于，所述屏蔽线间接接地。


4.根据权利要求3所述的一种控制板组件，其特征在于，所述屏蔽线通过一中间结构接地。


5.根据权利要求4所述的一种控制板组件，其特征在于，所述中间结构为曝光机台。


6.根据权利要求1所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：李青云，吴景舟，马迪，
申请(专利权)人：江苏友迪激光科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32