本实用新型专利技术涉及CVD设备技术领域，具体公开了一种进气及冷却装置及气相沉积装置，该进气及冷却装置包括用于对进气进行冷却的水冷件，水冷件包括若干冷却区，冷却区内设有冷却管道，冷却管道呈蛇形排布，冷却管道包括沿设定方向间隔设置的多个冷却通道，及若干连接通道，相邻的两个冷却通道通过连接通道连通；进气及冷却装置还包括若干进水管道和若干出水管道，若干进水管道和若干出水管道均与若干冷却管道一一对应设置，冷却管道的多个冷却通道沿设定方向依次增长，最短的冷却通道和最长的冷却通道分别与出水管道和进水管道连通。以解决冷却管道路径的影响，冷却管道的流阻大，流速不同，进而导致不同部分的表面温度存在差异性的问题。
【技术实现步骤摘要】
一种进气及冷却装置及气相沉积装置
本技术涉及CVD系统
，尤其涉及一种进气及冷却装置及气相沉积装置。
技术介绍
气体喷淋头用于向多种制造工艺如化学气相沉积(CVD)或金属有机气相沉积(MOCVD)提供所需的一种或多种气体。通常情况下，为了避免气体喷淋头内部气体可能发生的化学反应，必须对气体喷淋头进行冷却。专利CN201410838723.9的在先申请中公布了气体喷淋头和沉积装置，该专利公布了喷淋头上设置有冷却板，冷却板上设置若干冷却管道区，每一冷却管道区内具有一组冷却管道，一组所述冷却管道包括自冷却板中心至边缘平行排列的多个弧型管道段，每个弧形管道段均位于不同半径的同心圆上，且每个弧形管道段两端均与相邻的弧形管道段相连通，使得冷却液能够在各个弧形管道段内流通。该气体喷淋头的冷却液通过唯一的输入管道流入冷却管道后由唯一的输出管道流出，受该冷却管道路径的影响，整个冷却管道的流阻较大，冷却液的流速在冷却管道的不同位置并不一致，从而导致喷淋头不同部分的表面温度存在一定的差异性，例如使得靠近进水口温度较低，靠近出水口温度较高。而喷淋头表面温度的不一致，将会影响后续生长晶体结构时的一致性。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种进气及冷却装置，以解决相关技术中受冷却管道路径长的影响，整个冷却管道的流阻较大，冷却液的流速在冷却管道的不同位置并不一致，从而导致喷淋头不同部分的表面温度存在一定的差异性的问题。本技术提供一种进气及冷却装置，该进气及冷却装置包括用于对进气进行冷却的水冷件，所述水冷件包括若干冷却区，所述冷却区内设有冷却管道，所述冷却管道呈蛇形排布，所述冷却管道包括沿设定方向间隔设置的多个冷却通道，及若干连接通道，相邻的两个所述冷却通道通过所述连接通道连通；所述进气及冷却装置还包括若干进水管道和若干出水管道，所述进水管道和所述出水管道均与所述冷却管道的数量相同，所述冷却管道的多个所述冷却通道沿所述设定方向依次增长，最短的所述冷却通道和最长的所述冷却通道分别与所述出水管道和所述进水管道连通。作为进气及冷却装置的优选技术方案，所述进气及冷却装置还包括位于所述水冷件上方且用于冷却所述进气的气冷件。作为进气及冷却装置的优选技术方案，所述进气及冷却装置还包括用于输送所述进气的进气管，相邻的两个所述冷却通道间设置若干所述进气管。作为进气及冷却装置的优选技术方案，所述冷却区设置为两个，所述水冷件还包括框体、水冷件底板以及设置于所述水冷件底板的冷却区分隔板，所述框体与所述水冷件底板围设成具有开口的容纳腔，所述气冷件封闭所述容纳腔的开口，所述冷却区分隔板将所述容纳腔分割成两个对称的所述冷却区。作为进气及冷却装置的优选技术方案，所述冷却区还包括若干冷却液分隔板，所述冷却液分隔板沿所述设定方向间隔设置于所述水冷件底板，相邻的两个所述冷却液分隔板围设成所述冷却通道。作为进气及冷却装置的优选技术方案，所述冷却液分隔板沿设定方向交错排布，所述冷却液分隔板一端与所述框体内周壁抵接，另一端与所述框体内周壁间隔设置，与所述框体内周壁间隔的所述冷却液分隔板和所述框体内周壁围设成所述连接通道。作为进气及冷却装置的优选技术方案，所述水冷件还包括支撑板，相邻的两个所述冷却液分隔板之间设置有所述支撑板。作为进气及冷却装置的优选技术方案，所述进水管道和所述出水管道设置于所述框体。作为进气及冷却装置的优选技术方案，所述进气及冷却装置还包括连接管，所述连接管与所述框体插接，所述连接管集成设置进液管和出液管，所述进液管与所述进水管道连通，所述出液管与所述出水管道连通。一种气相沉积装置，包括上述任一项所述的进气及冷却装置。本技术的有益效果为：本技术提供一种进气及冷却装置，该进气及冷却装置包括用于对进气进行冷却的水冷件，水冷件包括若干冷却区，冷却区内设有冷却管道，冷却管道呈蛇形排布，冷却管道包括沿设定方向间隔设置的多个冷却通道，及若干连接通道，相邻的两个冷却通道通过连接通道连通；进气及冷却装置还包括若干进水管道和若干出水管道，进水管道和出水管道均与冷却管道的数量相同，冷却管道的多个冷却通道沿设定方向依次增长，最短的冷却通道和最长的冷却通道分别与出水管道和进水管道连通。由于冷却管道太长会导致整个冷却管道的流阻较大，冷却液的流速在冷却管道的不同位置并不一致，从而导致进气及冷却装置不同部分的表面温度存在一定的差异性。该进气及冷却装置的水冷件上设置若干个冷却区，各冷却区设置有独立的进水管和排水管可以减短冷却管道的长度，进而减小冷却管道内的流阻，减小不同部位表面温度的差异，可以进一步提高冷却件的冷却效果。附图说明图1为本技术实施例中进气及冷却装置的结构示意图；图2为本技术实施例中进气及冷却装置的结构爆炸图；图3为本技术实施例中进气及冷却装置的水冷件结构示意图；图4为本技术实施例中进气及冷却装置的进水管道和出水管道结构示意图。图中：1、气冷件；11、进气管；2、水冷件；21、水冷件底板；22、冷却区分隔板；23、冷却液分隔板；24、连接通道；25、冷却通道；26、进液腔；27、出液腔；3、框体；31、进水管道；311、进液槽；312、进液密封板；313、进液孔；32、出水管道；321、出液槽；322、出液密封板；323、出液孔；4、连接管；41、进液管；42、出液管。具体实施方式下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中，术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置，而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种进气及冷却装置，其特征在于，包括用于对进气进行冷却的水冷件(2)，所述水冷件(2)包括若干冷却区，所述冷却区内设有冷却管道，所述冷却管道呈蛇形排布，所述冷却管道包括沿设定方向间隔设置的多个冷却通道(25)，及若干连接通道(24)，相邻的两个所述冷却通道(25)通过所述连接通道(24)连通；/n所述进气及冷却装置还包括若干进水管道(31)和若干出水管道(32)，所述进水管道(31)和所述出水管道(32)均与所述冷却管道的数量相同，所述冷却管道的多个所述冷却通道(25)沿所述设定方向依次增长，最短的所述冷却通道(25)和最长的所述冷却通道(25)分别与所述出水管道(32)和所述进水管道(31)连通。/n
【技术特征摘要】
1.一种进气及冷却装置，其特征在于，包括用于对进气进行冷却的水冷件(2)，所述水冷件(2)包括若干冷却区，所述冷却区内设有冷却管道，所述冷却管道呈蛇形排布，所述冷却管道包括沿设定方向间隔设置的多个冷却通道(25)，及若干连接通道(24)，相邻的两个所述冷却通道(25)通过所述连接通道(24)连通；
所述进气及冷却装置还包括若干进水管道(31)和若干出水管道(32)，所述进水管道(31)和所述出水管道(32)均与所述冷却管道的数量相同，所述冷却管道的多个所述冷却通道(25)沿所述设定方向依次增长，最短的所述冷却通道(25)和最长的所述冷却通道(25)分别与所述出水管道(32)和所述进水管道(31)连通。
2.根据权利要求1所述的进气及冷却装置，其特征在于，所述进气及冷却装置还包括位于所述水冷件(2)上方且用于冷却所述进气的气冷件(1)。
3.根据权利要求2所述的进气及冷却装置，其特征在于，所述进气及冷却装置还包括用于输送所述进气的进气管(11)，相邻的两个所述冷却通道(25)间设置若干所述进气管(11)。
4.根据权利要求2所述的进气及冷却装置，其特征在于，所述冷却区设置为两个，所述水冷件(2)还包括框体(3)、水冷件底板(21)以及设置于所述水冷件底板(21)的冷却区分隔板(22)，所述框体(3)与所述水冷件底板(21)围设成具有开口的容纳腔，所述气冷件(1)封闭所述容纳腔的开口，所述冷却区分隔板(22)将所...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈爱华，施广涛，吕青，
申请(专利权)人：中晟光电设备上海股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31
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