一种贴片机防飘片检测装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种贴片机防飘片检测装置及方法，包括陶瓷盘、贴片机和图像采集单元，陶瓷盘上表面形成用于放置硅片的放置区，贴片机设置在陶瓷盘的上方，用于向陶瓷盘上放置硅片；图像采集单元包括摄像头和图像处理系统，摄像头设置在陶瓷盘上方，摄像头与图像处理系统连接。本发明专利技术有益效果：一种贴片机防飘片检测装置及方法增加了贴片机防飘片的检测功能，改系统易于制造、故障率低、安全可靠、便于操作；经过车间现场实际使用效果得知，该系统能有效避免因贴片机飘片而造成硅片碎裂，抛光垫、陶瓷盘、中心导轮、边导轮、抛光机大盘等部件的损坏，规避了巨大的经济损失和减少了维修工时。

【技术实现步骤摘要】
一种贴片机防飘片检测装置及方法
本专利技术属于硅片加工
，尤其是涉及一种贴片机防飘片检测装置及方法。
技术介绍
目前现有的对硅片进行抛光作业时，需要将多个硅片按照一定规则贴在陶瓷盘上，如果贴的位置出现位置偏差，甚至两个硅片重叠或者重合地贴在一起，会在抛光的过程中，造成硅片碎裂，损坏抛光垫、陶瓷盘、中心导轮、边导轮、抛光机大盘等部件，造成巨大的经济损失。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术旨在提出一种贴片机防飘片检测装置及方法，为防止贴片过程中，将硅片贴偏或叠片，进而导致抛光时跑片和翻车事故的发生为达到上述目的，本专利技术的技术方案是这样实现的：第一方面本方案公开了一种贴片机防飘片检测装置，包括陶瓷盘、贴片机和图像采集单元，陶瓷盘上表面形成用于放置硅片的放置区，贴片机设置在陶瓷盘的上方，用于向陶瓷盘上放置硅片；图像采集单元包括摄像头和图像处理系统，摄像头设置在陶瓷盘上方，摄像头与图像处理系统连接。进一步的，还包括底座，陶瓷盘放置在底座上表面，陶瓷盘与底座可拆卸连接，底座上设置有用于夹紧陶瓷盘的夹紧单元，夹紧单元包括夹紧头和夹紧气缸；底座下方还设有导向单元，导向单元用于带动底座移动。进一步的，导向单元包括滚珠丝杆和滑台，滑台与滚珠丝杆配合连接，滑台固定连接在底座下表面。进一步的，贴片机包括吸盘以及驱动单元，吸盘通过连接杆与驱动单元连接，所述驱动单元用于带动吸盘沿X方向和Y方向水平运动；驱动单元包括第一驱动单元和第二驱动单元，第一驱动单元用于带动吸盘沿X方向水平运动，第二驱动单元用于带动吸盘沿Y方向水平运动；还包括支撑架，第一驱动单元和第二驱动单元设置在支撑架内，吸盘位于支撑架下方；第一驱动单元包括第一滑台和第一滚珠丝杆，支撑架内壁设置有用于对第一滑台导向的第一导向槽，第一滚珠丝杆一端连接有第一驱动电机；还包括滑槽，第二驱动单元设置在滑槽内，第二驱动单元包括第二滑台和第二滚珠丝杆，滑槽内壁设置有用于对第二滑台导向的第二导向槽，第二滚珠丝杆一端连接有第二驱动电机；连接杆为伸缩杆。进一步的，摄像头还连接有调节单元，调节单元用于调节摄像头与陶瓷盘的相对位置。进一步的，调节单元安装座、第一调节单元、第二调节单元；安装座与贴片机的柜体固定连接，第一调节单元包括第一伸缩调节杆和第二伸缩调节杆，第一伸缩调节杆内设置有用于放置第二伸缩调节杆的空腔，第二伸缩调节杆设置在第一伸缩调节杆内，第一伸缩调节杆与第二伸缩调节杆上设置有对应的第一固定孔；第二伸缩调节杆顶部设置有第一调节件，第二伸缩调节杆通过第一调节件与第二调节单元连接；第二调节单元包括第三伸缩调节杆和第四伸缩调节杆，第三伸缩调节杆内设置有用于放置第四伸缩调节杆的空腔，第四伸缩调节杆设置在第三伸缩调节杆内，第三伸缩调节杆与第四伸缩调节杆上设置有对应的第二固定孔；第四伸缩调节杆远离第三伸缩调节杆一端的端部连接有第一安装件，第一安装件与第四伸缩调节杆转动连接，第一安装件上设置有用于安装摄像机的安装孔。进一步的，第一伸缩调节杆底部与安装座转动连接。进一步的，第一调节件设置有第一锁定螺栓，第三伸缩调节杆与第二伸缩调节杆之间通过第一调节件转动连接，第一锁定螺栓用于固定第二伸缩调节杆和第三伸缩调节杆的相对位置。进一步的，图像处理系统通过摄像头采集陶瓷盘上表面的图像信息，再经控制器和交换机将图像信息传至PLC进行图像对比检测。进一步的，底座下方还连接有转动单元，转动单元用于带动底座转动。第二方面本方案公开了一种贴片机防飘片检测装置的检测方法，将摄像机设置在陶瓷盘上相邻两个硅片原点的中心位置上方；通过图像处理系统对摄像头采集的画面进行分析，设定相邻两个硅片的放置距离上下限，当检测到相邻两个硅片之间的距离不位于设定的覆盖比例上下限区间内时报警；通过图像处理系统对摄像头采集的画面进行分析，在画面上设定连个圆形区域，圆形区域为不可覆盖区，当检测到硅片与圆形区域的覆盖比例不位于设定的覆盖比例上下限区间内时报警；当触发报警时，通过PLC控制贴片机停机。相对于现有技术，本专利技术所述的一种贴片机防飘片检测装置及方法具有以下有益效果：本专利技术所述的一种贴片机防飘片检测装置及方法增加了贴片机防飘片的检测功能，改系统易于制造、故障率低、安全可靠、便于操作；经过车间现场实际使用效果得知，该系统能有效避免因贴片机飘片而造成硅片碎裂，抛光垫、陶瓷盘、中心导轮、边导轮、抛光机大盘等部件的损坏，规避了巨大的经济损失和减少了维修工时。附图说明构成本专利技术的一部分的附图用来提供对本专利技术的进一步理解，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定。在附图中：图1为本专利技术实施例所述的一种贴片机防飘片检测装置整体示意图；图2为本专利技术实施例所述的一种贴片机防飘片检测装置示意图；图3为本专利技术实施例所述的一种贴片机防飘片检测装置检测画面示意图；图4为本专利技术实施例所述的一种贴片机防飘片检测装置局部示意图；图5为本专利技术实施例所述的一种贴片机防飘片检测装置驱动单元第一局部示意图；图6为本专利技术实施例所述的一种贴片机防飘片检测装置驱动单元第二局部示意图；图7为本专利技术实施例所述的一种贴片机防飘片检测装置驱动单元第三局部示意图。附图标记说明：1-底座；2-陶瓷盘；21-夹紧头；22-夹紧气缸；3-贴片机；31-吸盘；32-支撑架；33-第一滑台；34-第一滚珠丝杆；35-第一驱动电机；36-第一导向槽；37-滑槽；38-第二滑台；39-第二滚珠丝杆；391-第二驱动电机；392-第二导向槽；393-连接杆；4-硅片；5-安装座；6-第一伸缩调节杆；7-第二伸缩调节杆；71-第一固定孔；8-第一调节件；81-第一锁定螺栓；9-第三伸缩调节杆；10-第四伸缩调节杆；101-第二固定孔；11-第一安装件；1101-安装孔。具体实施方式需要说明的是，在不冲突的情况下，本专利技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本专利技术。如图1至图7所示，一种贴片机3防飘片检测装置，包括陶瓷盘2、贴片机3和图像采集单元，陶瓷盘2上表面形成用于放置硅片4的放置区，贴片机3设置在陶瓷盘2的上方，用于向陶瓷盘2上放置硅片4；图像采集单元包括摄像头和图像处理系统，摄像头设置在陶瓷盘2上方，摄像头与图像处理系统连接。还包括底座1，陶瓷盘2放置在底座1上表面，陶瓷盘2与底座1可拆卸连接，底座上设置有用于夹紧陶瓷盘的夹紧单元，夹紧单元包括夹紧头21和夹紧气缸22；底座1下方还设有导向单元，导向单元用于带动底座1移动。导向单元包括滚珠丝杆和滑台，滑台与滚珠丝杆配合连接，滑台固定连接在底座1下表面。摄像头还连接有调节单元，调节单元用于调节摄像头与陶瓷盘2的相对位置。调节本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种贴片机防飘片检测装置，其特征在于：包括陶瓷盘(2)、贴片机(3)和图像采集单元，陶瓷盘(2)上表面形成用于放置硅片(4)的放置区，贴片机(3)设置在陶瓷盘(2)的上方，用于向陶瓷盘(2)上放置硅片(4)；/n图像采集单元包括摄像头和图像处理系统，摄像头设置在陶瓷盘(2)上方，摄像头与图像处理系统连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种贴片机防飘片检测装置，其特征在于：包括陶瓷盘(2)、贴片机(3)和图像采集单元，陶瓷盘(2)上表面形成用于放置硅片(4)的放置区，贴片机(3)设置在陶瓷盘(2)的上方，用于向陶瓷盘(2)上放置硅片(4)；
图像采集单元包括摄像头和图像处理系统，摄像头设置在陶瓷盘(2)上方，摄像头与图像处理系统连接。


2.根据权利要求1所述的一种贴片机防飘片检测装置，其特征在于：还包括底座(1)，陶瓷盘(2)放置在底座(1)上表面，陶瓷盘(2)与底座(1)可拆卸连接，底座上设置有用于夹紧陶瓷盘的夹紧单元，夹紧单元包括夹紧头(21)和夹紧气缸(22)；
底座(1)下方还设有导向单元，导向单元用于带动底座(1)移动；
导向单元包括滚珠丝杆和滑台，滑台与滚珠丝杆配合连接，滑台固定连接在底座(1)下表面。


3.根据权利要求2所述的一种贴片机防飘片检测装置，其特征在于：贴片机(3)包括吸盘(31)以及驱动单元，吸盘(31)通过连接杆(393)与驱动单元连接，所述驱动单元用于带动吸盘(31)沿X方向和Y方向水平运动；
驱动单元包括第一驱动单元和第二驱动单元，第一驱动单元用于带动吸盘(31)沿X方向水平运动，第二驱动单元用于带动吸盘(31)沿Y方向水平运动；
还包括支撑架(32)，第一驱动单元和第二驱动单元设置在支撑架(32)内，吸盘(31)位于支撑架(32)下方；
第一驱动单元包括第一滑台(33)和第一滚珠丝杆(34)，支撑架(32)内壁设置有用于对第一滑台(33)导向的第一导向槽(36)，第一滚珠丝杆(34)一端连接有第一驱动电机(35)；
还包括滑槽(37)，第二驱动单元设置在滑槽(37)内，第二驱动单元包括第二滑台(38)和第二滚珠丝杆(39)，滑槽(37)内壁设置有用于对第二滑台(38)导向的第二导向槽(392)，第二滚珠丝杆(39)一端连接有第二驱动电机(391)；
连接杆(393)为伸缩杆。


4.根据权利要求1所述的一种贴片机防飘片检测装置，其特征在于：摄像头还连接有调节单元，调节单元用于调节摄像头与陶瓷盘(2)的相对位置。


5.根据权利要求4所述的一种贴片机防飘片检测装置，其特征在于：调节单元安装座(5)、第一调节单元、第二调节单元；
安装座(5)与贴片机(3)的柜体固定连接，第一调节单元包括第一伸缩调节杆(6)和第二伸缩调节杆(7)，第一伸缩...

【专利技术属性】
技术研发人员：李文磊，严政先，安爱博，赵欣，郭会波，刘子申，孙晨光，王彦君，
申请(专利权)人：中环领先半导体材料有限公司，天津中环领先材料技术有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32