【技术实现步骤摘要】
氢氟醚除尘检测装置
本技术属于氢氟醚纯化领域,具体涉及一种氢氟醚除尘检测装置。
技术介绍
氢氟醚可替代氯氟烃用于多种应用中。例如,氢氟醚可以用作传热剂(例如,用于混合动力汽车冷却和半导体工业中集成电路工具的冷却或加热,包括诸如干式蚀刻机、集成电路测试器、光刻曝光工具、灰化器、化学气相沉积设备、自动检测设备和物理气相沉积设备的冷却或加热);可用作诸如磁盘或电路板等电子制品的精密清洗或金属清洗用溶剂;用作传热剂;用作制造绝缘泡沫(例如聚氨酯、酚和热塑性泡沫)中的泡孔尺寸调节剂;用作文献保存材料用的和润滑油用的载流体或溶剂;用作动力循环工作流体,例如用于热泵;用作朗肯循环发动机中热回收流体;用作聚合反应的惰性介质;用作从诸如金属的抛光表面去除抛光研磨化合物的抛光研磨剂;用作除水的置换干燥剂,例如从珠宝或金属零件中除水。当氢氟醚用于电子器件时,通常对氢氟醚的纯度要求较高,需要对其进行除尘除杂,因此提供一种除尘除杂的装置并对结果进行检测是当务之急。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术中的缺陷,提供一种氢氟醚除尘检测装置。本技术为实现上述目的,采用以下技术方案:一种氢氟醚除尘检测装置,包括除尘装置以及检测装置;所述的除尘装置包括过滤箱以及设置在所述的过滤箱内的聚酯长纤维过滤器;所述的过滤箱上设置有液体入口、排气口以及液体出口;所述的聚酯长纤维过滤器包括由聚酯长纤维形成的筒体以及设置在所述的筒体上下两端的上盖和下盖;所述的上盖上设置有与所述的液体入口连通的进液口;所述的检测装 ...
【技术保护点】
1.一种氢氟醚除尘检测装置,其特征在于,包括除尘装置以及检测装置;/n所述的除尘装置包括过滤箱以及设置在所述的过滤箱内的聚酯长纤维过滤器;所述的过滤箱上设置有液体入口、排气口以及液体出口;所述的聚酯长纤维过滤器包括由聚酯长纤维形成的筒体以及设置在所述的筒体上下两端的上盖和下盖;所述的上盖上设置有与所述的液体入口连通的进液口;/n所述的检测装置包括箱体、设置在所述的箱体内的蒸发盘以及与所述的箱体连通的冷凝器;所述的蒸发盘上方设有与所述的液体出口连通的挥发液体入口;所述的蒸发盘底部设置有加热器;所述的挥发液体入口通过输入管路与所述的液体出口连通;所述的输入管路上设置有蠕动泵以及输入质量流量计;所述的冷凝器的出口通过输出管路与回收罐连通;所述的输出管路上设置输出质量流量计。/n
【技术特征摘要】
1.一种氢氟醚除尘检测装置,其特征在于,包括除尘装置以及检测装置;
所述的除尘装置包括过滤箱以及设置在所述的过滤箱内的聚酯长纤维过滤器;所述的过滤箱上设置有液体入口、排气口以及液体出口;所述的聚酯长纤维过滤器包括由聚酯长纤维形成的筒体以及设置在所述的筒体上下两端的上盖和下盖;所述的上盖上设置有与所述的液体入口连通的进液口;
所述的检测装置包括箱体、设置在所述的箱体内的蒸发盘以及与所述的箱体连通的冷凝器;所述的蒸发盘上方设有与所述的液体出口连通的挥发液体入口;所述的蒸发盘底部设置有加热器;所述的挥发液体入口通过输入管路与所述的液体出口连通;所述的输入管...
【专利技术属性】
技术研发人员:汤峤永,白智勇,李津津,
申请(专利权)人:天津长芦新材料研究院有限公司,
类型:新型
国别省市:天津;12
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