本实用新型专利技术公开了一种聚对二甲苯沉积使用的真空度测量装置，包括真空沉积腔室，真空沉积腔室顶部前方中心设有蜂鸣器，蜂鸣器通过螺钉安装在真空沉积腔室上，真空沉积腔室底部四侧均设有支撑腿，支撑腿均通过焊接安装在真空沉积腔室上，真空沉积腔室左面中心设有通管，通管通过焊接与真空沉积腔室内部连通，通管左面设有法兰，法兰通过套装密封在通管上，法兰内侧左端设有通气管，通气管通过套装密封安装在法兰内，通气管左面设有测量腔室，通气管通过焊接与测量腔室内部连通，测量腔室顶部中心设有真空规管；本实用新型专利技术一种聚对二甲苯沉积使用的真空度测量装置具有便于拆卸、信息储存、提醒报警、远程信息传输、温度湿度真空度检测查看方便的优点。
【技术实现步骤摘要】
一种聚对二甲苯沉积使用的真空度测量装置
本技术涉及真空测量
，具体为一种聚对二甲苯沉积使用的真空度测量装置。
技术介绍
聚对二甲苯是具有聚二甲结构的聚合物薄膜的统称，具有极其优良的电性能、化学稳定性和生物相容性，在微电子机械系统、电子元器件、医疗器材等领域有着广泛的应用；聚对二甲苯薄膜均采用气相沉积法(CVD工艺)制造，工艺如下：对二甲苯二聚体在180℃下升华为气体，经过高温700℃裂解为对二甲苯单体，再导入内部沉积装置中在室温下沉积聚合于产品表面，内部沉积装置又称为真空腔室；这种工艺使得聚对二甲苯薄膜具有无残余应力、完全同形、高度均匀、渗透力强等优势，但是现在的聚对二甲苯沉积使用的真空度测量装置都不具备便于拆卸、信息储存、提醒报警、远程信息传输、温度湿度真空度检测查看方便的优点。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种聚对二甲苯沉积使用的真空度测量装置，具有便于拆卸、信息储存、提醒报警、远程信息传输、温度湿度真空度检测查看方便的优点，解决了现有技术中的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种聚对二甲苯沉积使用的真空度测量装置，包括真空沉积腔室，所述真空沉积腔室顶部前方中心设有蜂鸣器，所述蜂鸣器通过螺钉安装在真空沉积腔室上，所述真空沉积腔室底部四侧均设有支撑腿，所述支撑腿均通过焊接安装在真空沉积腔室上，所述真空沉积腔室左面中心设有通管，所述通管通过焊接与真空沉积腔室内部连通，所述通管左面设有法兰，所述法兰通过套装密封在通管上，所述法兰内侧左端设有通气管，所述通气管通过套装密封安装在法兰内，所述通气管左面设有测量腔室，所述通气管通过焊接与测量腔室内部连通，所述测量腔室顶部中心设有真空规管，所述真空规管通过嵌入安装在测量腔室上，所述测量腔室侧面下方设有湿度传感器，所述湿度传感器通过嵌入安装在测量腔室上，所述湿度传感器下方设有热电偶，所述热电偶通过嵌入安装在测量腔室上，所述测量腔室内壁均设有隔热层，所述隔热层均通过粘贴安装在测量腔室内，所述法兰内部右侧设有过滤层，所述过滤层通过螺纹安装在通管内，所述真空沉积腔室前面上方设有显示器，所述显示器通过螺钉安装在真空沉积腔室上，所述显示器下方设有保护盒，所述保护盒通过螺钉安装在真空沉积腔室上，所述保护盒内壁左侧设有控制器，所述控制器通过螺钉安装在保护盒内，所述控制器右侧设有无线通信模块，所述无线通信模块通过螺钉安装在保护盒内，所述无线通信模块右侧设有按钮，所述按钮通过螺钉安装在保护盒内，所述按钮上方设有存储模块，所述存储模块通过螺钉安装在保护盒内。优选的，所述通管、通气管和测量腔室均采用材料为保温隔热材料。优选的，所述支撑腿采用材料为EPP泡沫材料。优选的，所述真空规管、湿度传感器和热电偶的检测端均嵌入安装在测量腔室内。优选的，所述隔热层采用材料为玻璃纤维保温棉，所述过滤层采用材料为过滤网。优选的，所述蜂鸣器型号为：ND16-22FS，所述真空规管型号为：ZJ-52T，所述湿度传感器型号为：HSTL-106WS，所述热电偶采用型号为：WRNK，所述控制器型号为：ESX-3CM，所述无线通信模块型号为：LTE-LTE-364，所述存储模块型号为：HU-684，所述显示器型号为：AMT9507。优选的，所述按钮通过线缆连接有电源，所述按钮通过线缆连接控制器，所述控制器通过线缆连接有蜂鸣器、真空规管、湿度传感器、热电偶、无线通信模块、存储模块和显示器。与现有技术相比，本技术的有益效果如下：1.本一种聚对二甲苯沉积使用的真空度测量装置采用真空沉积腔室进行固定，方便装置部件进行安装，采用蜂鸣器进行提醒，方便意外情况进行报警提醒，采用支撑腿进行支撑，方便对真空沉积腔室进行支撑固定，采用通管和通气管进行连接，方便将真空沉积腔室和测量腔室进行连通，采用法兰进行连接安装，方便对测量腔室进行拆卸，采用测量腔室进行安装，方便对装置部件进行固定，采用真空规管进行检测，方便检测测量腔室真空度，采用湿度传感器进行检测，方便检测测量腔室的湿度。2.本一种聚对二甲苯沉积使用的真空度测量装置采用热电偶进行检测，方便检测测量腔室的温度，隔热层采用玻璃纤维保温棉进行保温，方便对测量腔室进行保温隔热，采用过滤层进行过滤，方便过滤杂质防止设备损坏，采用显示器进行显示，方便查看检测的信息，采用保护盒进行保护，防止控制器损坏，采用控制器进行控制，方便控制装置部件运行，采用无线通信模块进行传输，方便对信息进行远程传输，采用按钮进行控制，方便控制装置电源，采用存储模块进行储存，方便对信息进行储存。附图说明图1为本技术一种聚对二甲苯沉积使用的真空度测量装置的整体结构示意图；图2为本技术一种聚对二甲苯沉积使用的真空度测量装置的测量腔室剖视图。图中标注说明：1、真空沉积腔室；2、蜂鸣器；3、支撑腿；4、通管；5、法兰；6、通气管；7、测量腔室；8、真空规管；9、湿度传感器；10、热电偶；11、隔热层；12、过滤层；13、保护盒；14、控制器；15、无线通信模块；16、按钮；17、存储模块；18、显示器。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。实施例1：请参阅图1、2，一种聚对二甲苯沉积使用的真空度测量装置,包括真空沉积腔室1，真空沉积腔室1顶部前方中心设有蜂鸣器2，蜂鸣器2型号为：ND16-22FS，蜂鸣器2通过螺钉安装在真空沉积腔室1上，真空沉积腔室1底部四侧均设有支撑腿3，支撑腿3采用材料为EPP泡沫材料，支撑腿3均通过焊接安装在真空沉积腔室1上，真空沉积腔室1左面中心设有通管4，通管4通过焊接与真空沉积腔室1内部连通，通管4左面设有法兰5，法兰5通过套装密封在通管4上，法兰5内侧左端设有通气管6，通气管6通过套装密封安装在法兰5内，通气管6左面设有测量腔室7，通气管6通过焊接与测量腔室7内部连通，通管4、通气管6和测量腔室7均采用材料为保温隔热材料，测量腔室7顶部中心设有真空规管8，真空规管8型号为：ZJ-52T，真空规管8通过嵌入安装在测量腔室7上，测量腔室7侧面下方设有湿度传感器9，湿度传感器9型号为：HSTL-106WS，湿度传感器9通过嵌入安装在测量腔室7上，湿度传感器9下方设有热电偶10，热电偶10采用型号为：WRNK，热电偶10通过嵌入安装在测量腔室7上，真空规本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种聚对二甲苯沉积使用的真空度测量装置，其特征在于：包括真空沉积腔室（1），所述真空沉积腔室（1)顶部前方中心设有蜂鸣器（2），所述蜂鸣器（2）通过螺钉安装在真空沉积腔室（1）上，所述真空沉积腔室（1）底部四侧均设有支撑腿（3），所述支撑腿（3）均通过焊接安装在真空沉积腔室（1）上，所述真空沉积腔室（1）左面中心设有通管（4），所述通管（4）通过焊接与真空沉积腔室（1）内部连通，所述通管（4）左面设有法兰（5），所述法兰（5）通过套装密封在通管（4）上，所述法兰（5）内侧左端设有通气管（6），所述通气管（6）通过套装密封安装在法兰（5）内，所述通气管（6）左面设有测量腔室（7），所述通气管（6）通过焊接与测量腔室（7）内部连通，所述测量腔室（7）顶部中心设有真空规管（8），所述真空规管（8）通过嵌入安装在测量腔室（7）上，所述测量腔室（7）侧面下方设有湿度传感器（9），所述湿度传感器（9）通过嵌入安装在测量腔室（7）上，所述湿度传感器（9）下方设有热电偶（10），所述热电偶（10）通过嵌入安装在测量腔室（7）上，所述测量腔室（7）内壁均设有隔热层（11），所述隔热层（11）均通过粘贴安装在测量腔室（7）内，所述法兰（5）内部右侧设有过滤层（12），所述过滤层（12）通过螺纹安装在通管（4）内，所述真空沉积腔室（1）前面上方设有显示器（18），所述显示器（18）通过螺钉安装在真空沉积腔室（1）上，所述显示器（18）下方设有保护盒（13），所述保护盒（13）通过螺钉安装在真空沉积腔室（1）上，所述保护盒（13）内壁左侧设有控制器（14），所述控制器（14）通过螺钉安装在保护盒（13）内，所述控制器（14）右侧设有无线通信模块（15），所述无线通信模块（15）通过螺钉安装在保护盒（13）内，所述无线通信模块（15）右侧设有按钮（16），所述按钮（16）通过螺钉安装在保护盒（13）内，所述按钮（16）上方设有存储模块（17），所述存储模块（17）通过螺钉安装在保护盒（13）内。/n...
【技术特征摘要】
1.一种聚对二甲苯沉积使用的真空度测量装置，其特征在于：包括真空沉积腔室（1），所述真空沉积腔室（1)顶部前方中心设有蜂鸣器（2），所述蜂鸣器（2）通过螺钉安装在真空沉积腔室（1）上，所述真空沉积腔室（1）底部四侧均设有支撑腿（3），所述支撑腿（3）均通过焊接安装在真空沉积腔室（1）上，所述真空沉积腔室（1）左面中心设有通管（4），所述通管（4）通过焊接与真空沉积腔室（1）内部连通，所述通管（4）左面设有法兰（5），所述法兰（5）通过套装密封在通管（4）上，所述法兰（5）内侧左端设有通气管（6），所述通气管（6）通过套装密封安装在法兰（5）内，所述通气管（6）左面设有测量腔室（7），所述通气管（6）通过焊接与测量腔室（7）内部连通，所述测量腔室（7）顶部中心设有真空规管（8），所述真空规管（8）通过嵌入安装在测量腔室（7）上，所述测量腔室（7）侧面下方设有湿度传感器（9），所述湿度传感器（9）通过嵌入安装在测量腔室（7）上，所述湿度传感器（9）下方设有热电偶（10），所述热电偶（10）通过嵌入安装在测量腔室（7）上，所述测量腔室（7）内壁均设有隔热层（11），所述隔热层（11）均通过粘贴安装在测量腔室（7）内，所述法兰（5）内部右侧设有过滤层（12），所述过滤层（12）通过螺纹安装在通管（4）内，所述真空沉积腔室（1）前面上方设有显示器（18），所述显示器（18）通过螺钉安装在真空沉积腔室（1）上，所述显示器（18）下方设有保护盒（13），所述保护盒（13）通过螺钉安装在真空沉积腔室（1）上，所述保护盒（13）内壁左侧设有控制器（14），所述控制器（14）通过螺钉安装在保护盒（13）内，所述控制器（14）右侧设有无线通信模块（15），所述无线通信模块（15）通过螺钉安装在保护盒（13）内，所述无线通信模块（15）右侧设有按钮（16），所述按钮（16）通过螺钉安...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨宏武，李洪，王军，
申请(专利权)人：吉世科精密涂装深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44
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