一种聚对二甲苯卧式沉积腔室滚筒的复合结构制造技术

本实用新型专利技术属于沉积腔室滚筒技术领域，尤其是一种聚对二甲苯卧式沉积腔室滚筒的复合结构，现提出如下方案，包括沉积腔室，所述沉积腔室的一端活动套接有滚筒，所述滚筒伸出沉积腔室的一端安装有与沉积腔室固接的L型结构的支撑板，所述滚筒的两侧开设有与其内部连通的对接槽，所述对接槽的内部卡接有圆弧形结构的封闭板，所述对接槽远离支撑板的一端开设有位于滚筒端部的进气口，所述进气口的两侧设置有封闭机构。本实用新型专利技术能够方便滚筒内部的工件的更换，在更滑之前将滚筒进行密封，同时抽离滚筒内部残余的气体，避免原料泄漏浪费，实现滚筒的开合，方便工件的更换放置，提高工件的加工效率。

【技术实现步骤摘要】
一种聚对二甲苯卧式沉积腔室滚筒的复合结构
本技术涉及沉积腔室滚筒
，尤其涉及一种聚对二甲苯卧式沉积腔室滚筒的复合结构。
技术介绍
聚对二甲苯是通过化学气相沉积法制备的具有聚二甲结构的聚合物薄膜的统称，具有极其优良的电性能、化学稳定性和生物相容性，在微电子机械系统、电子元器件、医疗器材等领域有着广泛的应用。聚对二甲苯薄膜均采用气相沉积法(CVD工艺)制造，工艺如下：对二甲苯二聚体在180℃下升华为气体，经过高温裂解为对二甲苯单体，再导入内部沉积装置中在室温下沉积聚合于产品表面；现有的沉积腔室功能单一，不方便工件的更换，同时原料气体容易泄漏，为此需要一种聚对二甲苯卧式沉积腔室滚筒的复合结构。
技术实现思路
本技术提出的一种聚对二甲苯卧式沉积腔室滚筒的复合结构，解决了现有技术中存在的问题。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种聚对二甲苯卧式沉积腔室滚筒的复合结构，包括沉积腔室，所述沉积腔室的一端活动套接有滚筒，所述滚筒伸出沉积腔室的一端安装有与沉积腔室固接的L型结构的支撑板，所述滚筒的两侧开设有本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种聚对二甲苯卧式沉积腔室滚筒的复合结构，包括沉积腔室（1），其特征在于，所述沉积腔室（1）的一端活动套接有滚筒（3），所述滚筒（3）伸出沉积腔室（1）的一端安装有与沉积腔室（1）固接的L型结构的支撑板（2），所述滚筒（3）的两侧开设有与其内部连通的对接槽（4），所述对接槽（4）的内部卡接有圆弧形结构的封闭板（5），所述对接槽（4）远离支撑板（2）的一端开设有位于滚筒（3）端部的进气口（9），所述进气口（9）的两侧设置有封闭机构（10），所述滚筒（3）伸入沉积腔室（1）一端活动套接有驱动机构（8），所述驱动机构（8）的两侧安装有位于滚筒（3）外侧壁的开合机构（6），所述开合机构（6）设置有...

【技术特征摘要】
1.一种聚对二甲苯卧式沉积腔室滚筒的复合结构，包括沉积腔室（1），其特征在于，所述沉积腔室（1）的一端活动套接有滚筒（3），所述滚筒（3）伸出沉积腔室（1）的一端安装有与沉积腔室（1）固接的L型结构的支撑板（2），所述滚筒（3）的两侧开设有与其内部连通的对接槽（4），所述对接槽（4）的内部卡接有圆弧形结构的封闭板（5），所述对接槽（4）远离支撑板（2）的一端开设有位于滚筒（3）端部的进气口（9），所述进气口（9）的两侧设置有封闭机构（10），所述滚筒（3）伸入沉积腔室（1）一端活动套接有驱动机构（8），所述驱动机构（8）的两侧安装有位于滚筒（3）外侧壁的开合机构（6），所述开合机构（6）设置有锁紧机构（7）；
开合机构（6）包括固定在封闭板（5）外凸面的弧形结构的导向条（61），导向条（61）远离封闭板（5）的一侧滑动套接有半圆形结构的保持板（62），保持板（62）远离导向条（61）的一侧固接有L型结构的支撑杆（63），支撑杆（63）的另一端固定套接有与其垂直设置的拉杆（64），拉杆（64）的顶部固定套接有与驱动机构（8）固接的导向单元（65），拉杆（64）的底部开设有位于支撑板（2）顶部的第一导向槽（66），第一导向槽（66）沿支撑板（2）长度方向设置且与拉杆（64）活动套接，第一导向槽（66）远离滚筒（3）的一端开设有与其倾斜设置的第二导向槽（67）。


2.根据权利要求1所述的一种聚对二甲苯卧式沉积腔室滚筒的复合结构，其特征在于，所述封闭机构（10）包括两组开设在进气口（9）两侧的内侧壁上的安装槽（15）以及活动套接在滚筒（3）外圈的抵触套环（14），安装槽（15）的内部滑动套接有密封板（16），抵触套环（14）位于对接槽（4）靠近进气口（9）的一侧，抵触套环（14）的内圈开设...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨宏武，李洪，王军，
申请(专利权)人：吉世科精密涂装深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44