一种高纯氟化氢使用的输送系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种高纯氟化氢使用的输送系统，包括底座和柜体，底座顶部的中心固定安装有减震柱，柜体的内部通过隔板从上到下依次分隔为HF供应室和HF检测室，HF供应室内壁的一侧从上到下依次固定安装有报警器和处理器，HF供应室内壁的另一侧从上到下依次固定安装有总碳氢化合物分析器、颗粒度分析器、氧分分析器和水分分析器，本实用新型专利技术一种高纯氟化氢使用的输送系统，两个气体检测器实时监控房间和柜体的HF浓度，控制房间换气直接排放大气还是排放到废气处理内，加热圈的设置可以防止HF产生冷凝，若干个换气片和两个换气风机的安装，确保即使柜体泄漏也不会有HF聚集，维修板的设置便于使用者及时对柜体进行维修。

【技术实现步骤摘要】
一种高纯氟化氢使用的输送系统
本技术涉及高纯氟化氢输送领域，具体为一种高纯氟化氢使用的输送系统。
技术介绍
HF为无色气体，有强烈刺激性气味，在气瓶中以液化气形式存在，极易溶于水，泄漏到空气中，与空气中水分子结合会产生白烟；剧毒，强烈腐蚀性，ppm即产生刺激性味道，吸入较高浓度氟化氢即可引起眼和呼吸道刺激症状，还可导致眼结膜、口腔粘膜和鼻腔粘膜溃疡，喉头水肿窒息，生产中接触到氟化氢需尽快用六氟灵冲洗，然后在灼伤处涂抹葡萄糖酸钙凝胶。HF及其替代品是化工行业和半导体行业的主要原料之一，多用于清洗，刻蚀，用量很大，对纯度要求不高，故其供应多采用大包装容器，通过气体架分流、压力控制后经过PCTFE管路运送至POU，在线low-e中HF做为一种重要工艺原料，对纯度要求很高，需要精确控制，同时也要保证使用者的安全。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种高纯氟化氢使用的输送系统，以解决上述
技术介绍
中提出HF及其替代品是化工行业和半导体行业的主要原料之一，多用于清洗，刻蚀，用量很大，对纯度要求不高，故其供应多采用大包装容器，通过气体架分流、压力控制后经过PCTFE管路运送至POU，在线low-e中HF做为一种重要工艺原料，对纯度要求很高，需要精确控制，同时也要保证使用者的安全的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种高纯氟化氢使用的输送系统，包括底座和柜体，所述底座顶部的中心固定安装有减震柱，所述减震柱的顶部与柜体底部的中心固定连接，所述柜体的内部通过隔板从上到下依次分隔为HF供应室和HF检测室，所述HF供应室内壁的一侧从上到下依次固定安装有报警器和处理器，所述HF供应室内壁的另一侧从上到下依次固定安装有总碳氢化合物分析器、颗粒度分析器、氧分分析器和水分分析器，所述HF供应室内壁顶部的中心固定安装有泵吸附式气体检测器，所述柜体背面底部的两端分别固定安装有开关和报警按钮，所述总碳氢化合物分析器、颗粒度分析器、氧分分析器、水分分析器、报警器和泵吸附式气体检测器均与处理器电性连接，所述处理器通过开关与外接电源电性连接。作为本技术的一种优选技术方案，所述HF检测室内壁底部的两端分别固定安装有第一气体检测器和第二气体检测器，所述第一气体检测器和第二气体检测器均与处理器电性连接。作为本技术的一种优选技术方案，所述柜体背面的中部固定安装有压力表，所述柜体背面的顶部固定连通有输送管，所述输送管的外部套设有加热圈，所述加热圈的内部填充有若干个电阻丝，若干个所述电阻丝均与处理器电性连接。作为本技术的一种优选技术方案，所述柜体的一侧固定安装有若干个换气片，所述柜体另一侧的两端均固定安装有换气风机，两个所述换气风机均通过开关与外接电源电性连接。作为本技术的一种优选技术方案，所述柜体正面的中部固定安装有维修板。与现有技术相比，本技术的有益效果是：1、两个气体检测器实时监控房间和柜体的HF浓度，基于此来控制房间换气直接排放大气还是排放到废气处理内，加热圈的设置即可满足使用，又可以防止HF产生冷凝；2、若干个换气片和两个换气风机的安装，确保即使柜体泄漏也不会有HF聚集，维修板的设置便于使用者及时对柜体进行维修。附图说明图1为本技术的正面剖视图；图2为本技术的后视图；图3为本技术的立体图。图中：1、底座；2、减震柱；3、第一气体检测器；4、第二气体检测器；5、HF检测室；6、隔板；7、水分分析器；8、氧分分析器；9、颗粒度分析器；10、总碳氢化合物分析器；11、HF供应室；12、柜体；13、泵吸附式气体检测器；14、报警器；15、处理器；16、输送管；17、加热圈；18、开关；19、报警按钮；20、压力表；21、换气片；22、换气风机；23、维修板。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3，本技术提供了一种高纯氟化氢使用的输送系统，包括底座1和柜体12，底座1顶部的中心固定安装有减震柱2，减震柱2的顶部与柜体12底部的中心固定连接，柜体12的内部通过隔板6从上到下依次分隔为HF供应室11和HF检测室5，HF供应室11内壁的一侧从上到下依次固定安装有报警器14和处理器15，HF供应室11内壁的另一侧从上到下依次固定安装有总碳氢化合物分析器10、颗粒度分析器9、氧分分析器8和水分分析器7，HF供应室11内壁顶部的中心固定安装有泵吸附式气体检测器13，柜体12背面底部的两端分别固定安装有开关18和报警按钮19，总碳氢化合物分析器10、颗粒度分析器9、氧分分析器8、水分分析器7、报警器14泵吸附式气体检测器13均与处理器15电性连接，处理器15通过开关18与外接电源电性连接。优选的，HF检测室5内壁底部的两端分别固定安装有第一气体检测器3和第二气体检测器4，第一气体检测器3和第二气体检测器4均与处理器15电性连接，第一气体检测器3对房间内的气体浓度进行检测，第二气体检测器4对柜体12内部的气体进行浓度检测，实时监控房间的HF浓度，基于此来控制房间换气直接排放大气还是排放到废气处理内。优选的，柜体12背面的中部固定安装有压力表20，柜体12背面的顶部固定连通有输送管16，输送管16的外部套设有加热圈17，加热圈17的内部填充有若干个电阻丝，若干个电阻丝均与处理器15电性连接，压力表20便于使用者直观了解到柜体12内的压力状况，加热圈17的设置即可满足使用，又可以防止HF产生冷凝。优选的，柜体12的一侧固定安装有若干个换气片21，柜体12另一侧的两端均固定安装有换气风机22，两个换气风机22均通过开关18与外接电源电性连接，若干个换气片21和两个换气风机22的安装，确保即使柜体12泄漏也不会有HF聚集。优选的，柜体12正面的中部固定安装有维修板23，维修板23的设置便于使用者及时对柜体12进行维修。具体使用时，本技术一种高纯氟化氢使用的输送系统，柜体12的内部通过隔板6从上到下依次分隔为HF供应室11和HF检测室5，HF供应室11内总碳氢化合物分析器10、颗粒度分析器9、氧分分析器8和水分分析器7分别对HF气体内的总碳氢化合物、颗粒度、氧分和水分进行分析，总碳氢化合物分析器10、颗粒度分析器9、氧分分析器8和水分分析器7的型号均为,MALDI-TOF023，HF供应室11内泵吸附式气体检测器13对HF浓度再一次进行检测，泵吸附式气体检测器13的型号为XT-XWHHF01，第一气体检测器3对房间内的气体浓度进行检测，第二气体检测器4对柜体12内部的气体进行浓度检测，实时监控房间的HF浓度，基于此来控制房间换气直接排放大气还是排放到废气处理内，两个气体浓度检测器的型号均为S本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高纯氟化氢使用的输送系统，包括底座(1)和柜体(12)，其特征在于：所述底座(1)顶部的中心固定安装有减震柱(2)，所述减震柱(2)的顶部与柜体(12)底部的中心固定连接，所述柜体(12)的内部通过隔板(6)从上到下依次分隔为HF供应室(11)和HF检测室(5)，所述HF供应室(11)内壁的一侧从上到下依次固定安装有报警器(14)和处理器(15)，所述HF供应室(11)内壁的另一侧从上到下依次固定安装有总碳氢化合物分析器(10)、颗粒度分析器(9)、氧分分析器(8)和水分分析器(7)，所述HF供应室(11)内壁顶部的中心固定安装有泵吸附式气体检测器(13)，所述柜体(12)背面底部的两端分别固定安装有开关(18)和报警按钮(19)，所述总碳氢化合物分析器(10)、颗粒度分析器(9)、氧分分析器(8)、水分分析器(7)、报警器(14)和泵吸附式气体检测器(13)均与处理器(15)电性连接，所述处理器(15)通过开关(18)与外接电源电性连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种高纯氟化氢使用的输送系统，包括底座(1)和柜体(12)，其特征在于：所述底座(1)顶部的中心固定安装有减震柱(2)，所述减震柱(2)的顶部与柜体(12)底部的中心固定连接，所述柜体(12)的内部通过隔板(6)从上到下依次分隔为HF供应室(11)和HF检测室(5)，所述HF供应室(11)内壁的一侧从上到下依次固定安装有报警器(14)和处理器(15)，所述HF供应室(11)内壁的另一侧从上到下依次固定安装有总碳氢化合物分析器(10)、颗粒度分析器(9)、氧分分析器(8)和水分分析器(7)，所述HF供应室(11)内壁顶部的中心固定安装有泵吸附式气体检测器(13)，所述柜体(12)背面底部的两端分别固定安装有开关(18)和报警按钮(19)，所述总碳氢化合物分析器(10)、颗粒度分析器(9)、氧分分析器(8)、水分分析器(7)、报警器(14)和泵吸附式气体检测器(13)均与处理器(15)电性连接，所述处理器(15)通过开关(18)与外接电源电性连接。


2.根据权利要求1所述的一种高纯氟化氢使...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹振宇，
申请(专利权)人：曹振宇，
类型：新型
国别省市：河南;41