一种流量可准确控制的氮化炉制造技术

本实用新型专利技术涉及一种流量可准确控制的氮化炉，其中包括手动切断阀、设置在整个氮气路径的进口处、气动调节阀、设置在手动切断阀之后、远传式氮气流量计设置在气动调节阀之后、PID调节系统、将气动调节阀和远传流量计连接起来、三通管件、设置在远传流量计之后、最后与氮化炉相连、所有的手动切断阀、气动调节阀、远传流量计、三通管件、炉体通过塑料软管相连接。本实用新型专利技术结构简单、流量精度高、保证了氮化硅的氮气通入量始终处于设定值内。

【技术实现步骤摘要】
一种流量可准确控制的氮化炉
本技术属于氮化烧结装置设备领域，具体涉及一种流量可准确控制的氮化炉。
技术介绍
高纯氮化硅粉体主要用在光伏产业中作为脱模剂来使用，对于高纯氮化硅，首先要求是纯度高，杂质含量低，这就需要在制造中每个过程均保持稳定，因此对氮化反应过程中的流量控制显得尤为重要。现在的真空氮化烧结炉所采用的为手动调节浮子流量计，波动性差，无法对流量进行一个随时准确的调整，对氮化反应产生一定影响，为此提出了一种流量可准确控制的氮化炉。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是，提供一种结构简单、操作方便、能随时并准确控制氮气通入量的氮化炉本技术解决其技术问题采用的技术方案是：一种流量可准确控制的氮化炉，其中包括手动切断阀、设置在整个氮气路径的进口处、气动调节阀、设置在手动切断阀之后、远传式氮气流量计设置在气动调节阀之后、PID调节系统、将气动调节阀和远传流量计连接起来、三通管件、设置在远传流量计之后、最后与氮化炉相连、所有的手动切断阀、气动调节阀、远传流量计、三通管件、炉体通过塑料软管相连接。>其中，手动切断阀设本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种流量可准确控制的氮化炉，其特征在于：包括手动切断阀（2）、设置在整个氮气路径的进口处、气动调节阀（3）、设置在手动切断阀（2）之后、远传流量计（4）设置在气动调节阀（3）之后、PID调节系统（7）、将气动调节阀（3）和远传流量计（4）连接起来、三通管件（5）、设置在远传流量计（4）之后、最后与炉体（6）相连，其特征在于，所有的手动切断阀（2）、气动调节阀（3）、远传流量计（4）、三通管件（5）、炉体（6）通过塑料软管（1）相连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种流量可准确控制的氮化炉，其特征在于：包括手动切断阀（2）、设置在整个氮气路径的进口处、气动调节阀（3）、设置在手动切断阀（2）之后、远传流量计（4）设置在气动调节阀（3）之后、PID调节系统（7）、将气动调节阀（3）和远传流量计（4）连接起来、三通管件（5）、设置在远传流量计（4）之后、最后与炉体（6）相连，其特征在于，所有的手动切断阀（2）、气动调节阀（3）、远传流量计（4）、三通管件（5）、炉体（6）通过塑料软管（1）相连接。


2.根据权利要求1所述的一种流量可准确控制的氮化炉，其特征在于手动切断阀（2）...

【专利技术属性】
技术研发人员：李庆中，
申请(专利权)人：高邑县富当特种耐火材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13