一种太阳能电池硅片低压扩散镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种太阳能电池硅片低压扩散镀膜设备，属于电池片生产设备技术领域，一种太阳能电池硅片低压扩散镀膜设备，包括扩散炉体，扩散炉体的内壁上固定有多组呈环形分布的支撑架，扩散炉体的内部中心处设有竖直设置的气体扩散管，扩散炉体的内底部中心处固定有轴承座，气体扩散管的底端与轴承座转动连接，气体扩散管的外壁上开设有多个气体扩散孔，且多个气体扩散孔呈环形分布，气体扩散管的顶端贯穿扩散炉体顶端设置，且气体扩散管与扩散炉体的接触处设有第二密封轴承，可以实现利用转动的气体扩散管将反应气体在扩散炉体内部均匀扩散，提高气体扩散效率，使反应气体分布均匀，有效避免因气体扩散不均匀影响扩散质量的现象。

【技术实现步骤摘要】
一种太阳能电池硅片低压扩散镀膜设备
本技术涉及电池片生产设备
，更具体地说，涉及一种太阳能电池硅片低压扩散镀膜设备。
技术介绍
太阳能电池是一种有效吸收太阳辐射能并利用光生伏打效应把光能转换成电能的器件，当太阳光照在半导体P-N结上，形成新的空穴-电子对，在P-N结电场的作用下，空穴由N区流向P区，电子由P区流向N区，接通电路后就形成电流。晶硅太阳能电池的制造工艺有6道工序，分别为制绒，扩散，去磷硅玻璃和背结，镀膜，丝网印刷，烧结。其中扩散工序是在硅片正面形成电池的核心部件PN结。在太阳光的照射下，PN结两侧形成电势差，接通电路后就形成电流。目前，在晶硅太阳电池扩散设备中，待反应气体通过炉尾处的进气管导入炉体内，并在炉体内某点释放，然后扩散至整个炉腔，但是现有的扩散炉内，气体通入后不能很快的均匀扩散在炉体内四周，从而引发太阳能电池硅片扩散掺杂的不均匀现象，影响炉管工艺腔室内的对硅片进行扩散的质量和效率，影响产能。
技术实现思路
1．要解决的技术问题针对现有技术中存在的问题，本技术的目的在于提供一种太阳能电池硅片低压扩散镀膜设备，可以实现利用转动的气体扩散管将反应气体在扩散炉体内部均匀扩散，提高气体扩散效率，使反应气体分布均匀，有效避免因气体扩散不均匀影响扩散质量的现象。2．技术方案为解决上述问题，本技术采用如下的技术方案。一种太阳能电池硅片低压扩散镀膜设备，包括扩散炉体，所述扩散炉体的内壁上固定有多组呈环形分布的支撑架，所述扩散炉体的内部中心处设有竖直设置的气体扩散管，所述扩散炉体的内底部中心处固定有轴承座，所述气体扩散管的底端与轴承座转动连接，所述气体扩散管的外壁上开设有多个气体扩散孔，且多个气体扩散孔呈环形分布，所述气体扩散管的顶端贯穿扩散炉体顶端设置，且气体扩散管与扩散炉体的接触处设有第二密封轴承，所述扩散炉体的上表面固定有驱动马达，所述驱动马达的输出端连接有固定轴，且转动轴与气体扩散管的顶端之间连接有传动皮带，所述传动皮带的顶端连接有气体输入连接罩，所述气体输入连接罩连接有气体输入管道，所述气体输入管道与外置供气源相连接，所述气体输入管道通过支架固定在扩散炉体的上表面，所述扩散炉体的顶端还连接有出气管，所述出气管上设有阀门，所述扩散炉体的侧壁上固定有吸附装置，且出气管与吸附装置相连接；所述气体扩散管的顶端开设有环形槽，所述气体输入连接罩的底端固定有连接圆环，且连接圆环与环形槽相匹配，所述环形槽的内壁上粘贴有密封气囊，所述气体扩散管外壁上设置用于对密封气囊进行充放气的接头，所述连接圆环的底端固定有第一环形永磁体，所述环形槽的内顶部固定有第二环形永磁体，且第二环形永磁体和第一环形永磁体磁吸设置。设备工作时，启动驱动马达工作通过后传动皮带带动气体扩散管转动，同时反应气体由气体输入管道进入气体扩散管内，并由多个气体扩散孔均匀流出，由于气体扩散管处于转动状态，从而能够将反应气体在扩散炉体内部均匀扩散，提高气体扩散效率，使反应气体分布均匀，有效避免因气体扩散不均匀影响扩散质量的现象，而气体输入连接罩与气体扩散管之间通过连接圆环和环形槽进行卡接，并由设置的第一环形永磁体和第二环形永磁体进行磁吸固定，能够有效保证连接稳定性，同时不影响气体扩散管的转动，设置的密封气囊在充气后膨胀，保证连接处的密封性，避免反应气体泄漏，反应气体进入扩散炉体内部后扩散炉体工作进行扩散，扩散结束后，废气由出气管排出进入吸附装置内部进行过滤吸附处理，避免废气直接排出影响环境。所述气体扩散管为耐高温金属管，且气体扩散管的内壁和外壁均采用防锈处理，有效避免腐蚀，延长其使用寿命。所述气体扩散孔外端的口径小于内端的口径，能够在反应气体流出气体扩散管时增加气体的流速，从而加速气体的扩散，有效提高气体扩散效率。所述气体输入连接罩为漏斗状连接罩，且顶端口径大于底端，能够在气体输入时有效增加流速，从而提高气体扩散效率。所述吸附装置包括固定在扩散炉体外壁上的吸附箱，所述出气管插入吸附箱内，所述吸附箱的内壁上固定有环形冷却水囊，且环形冷却水囊包裹出气管设置，所述吸附箱内部位于环形冷却水囊的下侧设有活性炭吸附球，所述吸附箱的内底部设有多层活性炭吸附网，所述吸附箱的底端开设有出气口。废气排出后进入吸附装置内，设置的环形冷却水囊先对废气进行冷却，之后利用设置的活性炭吸附球和活性炭吸附网进行双层过滤吸附，吸附后排出，有效对废气进行处理。3．有益效果相比于现有技术，本技术的优点在于：（1）本方案可以实现利用转动的气体扩散管将反应气体在扩散炉体内部均匀扩散，提高气体扩散效率，使反应气体分布均匀，有效避免因气体扩散不均匀影响扩散质量的现象，而气体输入连接罩与气体扩散管之间通过连接圆环和环形槽进行卡接，并由设置的第一环形永磁体和第二环形永磁体进行磁吸固定，能够有效保证连接稳定性，同时不影响气体扩散管的转动，设置的密封气囊在充气后膨胀，保证连接处的密封性，避免反应气体泄漏。（2）气体扩散管为耐高温金属管，且气体扩散管的内壁和外壁均采用防锈处理，有效避免腐蚀，延长其使用寿命。（3）气体扩散孔外端的口径小于内端的口径，能够在反应气体流出气体扩散管时增加气体的流速，从而加速气体的扩散，有效提高气体扩散效率。（4）气体输入连接罩为漏斗状连接罩，且顶端口径大于底端，能够在气体输入时有效增加流速，从而提高气体扩散效率。（5）废气排出后进入吸附装置内，设置的环形冷却水囊先对废气进行冷却，之后利用设置的活性炭吸附球和活性炭吸附网进行双层过滤吸附，吸附后排出，有效对废气进行处理。附图说明图1为本技术的正视图；图2为本技术中气体输入连接罩和气体扩散管的连接处示意图；图3为本技术中气体输入连接罩和气体扩散管的连接处俯视图；图4为本技术中吸附装置的结构示意图。图中标号说明：1扩散炉体、2支撑架、3气体扩散管、4气体扩散孔、5轴承座、6第二密封轴承、7驱动马达、8传动皮带、9气体输入连接罩、10气体输入管道、11出气管、12吸附装置、121吸附箱、122环形冷却水囊、123活性炭吸附球、124活性炭吸附网、125出气口、13环形槽、14连接圆环、15密封气囊、16第一环形永磁体、17第二环形永磁体。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图；对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；显然；所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例；而不是全部的实施例，基于本技术中的实施例；本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例；都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种太阳能电池硅片低压扩散镀膜设备，包括扩散炉体（1），所述扩散炉体（1）的内壁上固定有多组呈环形分布的支撑架（2），其特征在于：所述扩散炉体（1）的内部中心处设有竖直设置的气体扩散管（3），所述扩散炉体（1）的内底部中心处固定有轴承座（5），所述气体扩散管（3）的底端与轴承座（5）转动连接，所述气体扩散管（3）的外壁上开设有多个气体扩散孔（4），且多个气体扩散孔（4）呈环形分布，所述气体扩散管（3）的顶端贯穿扩散炉体（1）顶端设置，且气体扩散管（3）与扩散炉体（1）的接触处设有第二密封轴承（6），所述扩散炉体（1）的上表面固定有驱动马达（7），所述驱动马达（7）的输出端连接有固定轴，且转动轴与气体扩散管（3）的顶端之间连接有传动皮带（8），所述传动皮带（8）的顶端连接有气体输入连接罩（9），所述气体输入连接罩（9）连接有气体输入管道（10），所述气体输入管道（10）与外置供气源相连接，所述气体输入管道（10）通过支架固定在扩散炉体（1）的上表面，所述扩散炉体（1）的顶端还连接有出气管（11），所述出气管（11）上设有阀门，所述扩散炉体（1）的侧壁上固定有吸附装置（12），且出气管（11）与吸附装置（12）相连接；/n所述气体扩散管（3）的顶端开设有环形槽（13），所述气体输入连接罩（9）的底端固定有连接圆环（14），且连接圆环（14）与环形槽（13）相匹配，所述环形槽（13）的内壁上粘贴有密封气囊（15），所述气体扩散管（3）外壁上设置用于对密封气囊（15）进行充放气的接头，所述连接圆环（14）的底端固定有第一环形永磁体（16），所述环形槽（13）的内顶部固定有第二环形永磁体（17），且第二环形永磁体（17）和第一环形永磁体（16）磁吸设置。/n...

【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池硅片低压扩散镀膜设备，包括扩散炉体（1），所述扩散炉体（1）的内壁上固定有多组呈环形分布的支撑架（2），其特征在于：所述扩散炉体（1）的内部中心处设有竖直设置的气体扩散管（3），所述扩散炉体（1）的内底部中心处固定有轴承座（5），所述气体扩散管（3）的底端与轴承座（5）转动连接，所述气体扩散管（3）的外壁上开设有多个气体扩散孔（4），且多个气体扩散孔（4）呈环形分布，所述气体扩散管（3）的顶端贯穿扩散炉体（1）顶端设置，且气体扩散管（3）与扩散炉体（1）的接触处设有第二密封轴承（6），所述扩散炉体（1）的上表面固定有驱动马达（7），所述驱动马达（7）的输出端连接有固定轴，且转动轴与气体扩散管（3）的顶端之间连接有传动皮带（8），所述传动皮带（8）的顶端连接有气体输入连接罩（9），所述气体输入连接罩（9）连接有气体输入管道（10），所述气体输入管道（10）与外置供气源相连接，所述气体输入管道（10）通过支架固定在扩散炉体（1）的上表面，所述扩散炉体（1）的顶端还连接有出气管（11），所述出气管（11）上设有阀门，所述扩散炉体（1）的侧壁上固定有吸附装置（12），且出气管（11）与吸附装置（12）相连接；
所述气体扩散管（3）的顶端开设有环形槽（13），所述气体输入连接罩（9）的底端固定有连接圆环（14），且连接圆环（14）与环形槽（13）相匹配，所述环形槽（13）的内壁上粘贴有密封气囊（1...

【专利技术属性】
技术研发人员：王泉龙，李琪，孙珠珠，周国栋，
申请(专利权)人：徐州中辉光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32