一种用于太阳能电池片钝化的晶体硅氧化处理设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于太阳能电池片钝化的晶体硅氧化处理设备，属于太阳能电池片加工设备技术领域，一种用于太阳能电池片钝化的晶体硅氧化处理设备，包括壳体，壳体的内部中心处设有进气管，且进气管顶端延伸至壳体外，壳体的一侧设有高温蒸汽发生器，高温蒸汽发生器与进气管之间连接有通气管，通气管上设置增压泵，壳体的上表面固定有用于对通气管进行定位的管道定位架，可以实现同时对多个单晶硅片进行氧化处理，有效提升单晶硅的氧化处理效率，且利用特殊的转动喷气结构，使高温蒸汽分布更加均匀，并且高温蒸汽喷出时呈伞形扩散，进一步加速高温蒸汽的扩散，有效避免接触不充分影响氧化质量的现象。

【技术实现步骤摘要】
一种用于太阳能电池片钝化的晶体硅氧化处理设备
本技术涉及太阳能电池片加工设备
，更具体地说，涉及一种用于太阳能电池片钝化的晶体硅氧化处理设备。
技术介绍
硅与含有氧化物质的气体，例如水汽和氧气在高温下进行化学反应，而在硅片表面产生一层致密的二氧化硅薄膜，这是硅平面技术中一项重要的工艺。硅热氧化工艺，按所用的氧化气氛可分为：干氧氧化、水汽氧化和湿氧氧化。干氧氧化是以干燥纯净的氧气作为氧化气氛，在高温下氧直接与硅反应生成二氧化硅。水汽氧化是以高纯水蒸汽为氧化气氛，由硅片表面的硅原子和水分子反应生成二氧化硅。水汽氧化的氧化速率比干氧氧化的为大。而湿氧氧化实质上是干氧氧化和水汽氧化的混合，氧化速率介于二者之间。在集成电路工艺中，以加热高纯水作为水蒸汽源，而湿氧氧化则用干燥氧气通过加热的水所形成的氧和水汽混合物形成氧化气氛。常用的热氧化装置将硅片置于用石英玻璃制成的反应管中，反应管用电阻丝加热炉加热一定温度(常用的温度为900～1200℃，在特殊条件下可降到600℃以下)，氧气或水汽通过反应管（典型的气流速度为1厘米/秒）时，在硅片表面发生化学反应。现有的氧化处理设备大都是利用高温进行氧化，但是现有的氧化设备不能同时对多个单晶硅片进行氧化，工作效率不高，且在氧化过程中高温蒸汽的分布不均匀，从而导致高温蒸汽与单晶硅片接触不充分，影响氧化处理的质量。
技术实现思路
针对现有技术中存在的问题，本技术的目的在于提供一种用于太阳能电池片钝化的晶体硅氧化处理设备，可以实现。为解决上述问题，本技术采用如下的技术方案：一种用于太阳能电池片钝化的晶体硅氧化处理设备，包括壳体，所述壳体的内部中心处设有进气管，且进气管顶端延伸至壳体外，所述壳体的一侧设有高温蒸汽发生器，所述高温蒸汽发生器与进气管之间连接有通气管，所述通气管上设置增压泵，所述壳体的上表面固定有用于对通气管进行定位的管道定位架，所述壳体的内底部中心处固定有轴承座，所述进气管底端与轴承座转动连接，所述壳体与进气管的连接处固定有连接轴承，所述壳体的上表面固定有驱动电机，所述驱动电机的输出端与进气管之间连接有传动皮带，所述进气管的外壁上固定有多组布气管，每组布气管均包括多个呈环形设置的布气管，且布气管与进气管相连通，所述布气管的端部封闭，所述壳体的内壁上固定有多组呈环形设置的支撑板，所述布气管的下侧壁上开设有多个等间距分布的喷气孔，所述喷气孔的外端口径大于内端口径，且喷气孔的侧壁为圆弧形，所述支撑板内部固定有电加热器，所述支撑板上设有硅片支撑托盘。本方案可以实现同时对多个单晶硅片进行氧化处理，有效提升单晶硅的氧化处理效率，且利用特殊的转动喷气结构，使高温蒸汽分布更加均匀，并且高温蒸汽喷出时呈伞形扩散，进一步加速高温蒸汽的扩散，有效避免接触不充分影响氧化质量的现象。进一步的，所述通气管与进气管的连接处固定有密封轴承，保证通气管与进气管连接处的密封性，避免高温蒸汽泄漏。进一步的，所述硅片支撑托盘与支撑板之间连接有多个均匀分布的导热柱，且导热柱为铜柱，能够使硅片受热更加均匀，有效提升晶体硅氧化效果。进一步的，所述壳体的内壁上位于每个支撑板的下侧均对应固定有加强筋，所述加强筋顶端与支撑板固定连接，用于对支撑板进行支撑，提升支撑板的稳定性。进一步的，所述壳体的外侧还设有冷凝水箱，所述壳体的外壁上固定有螺旋冷凝管道，所述冷凝水箱的出水口端与螺旋冷凝管道的进水，口端连接有循环出水管，所述冷凝水箱的进水口端与螺旋冷凝管道的出水口端连接有循环进水管，所述循环出水管上设有水泵。利用设置的冷凝水箱、循环出水管、螺旋冷凝管道和循环进水管构成冷却水循环，可对壳体内部进行快速冷却降温，螺旋形的冷却水流可提升冷却效果，满足不同条件下的使用需求。相比于现有技术，本技术的优点在于：（1）本方案可以实现同时对多个单晶硅片进行氧化处理，有效提升单晶硅的氧化处理效率，且利用特殊的转动喷气结构，使高温蒸汽分布更加均匀，并且高温蒸汽喷出时呈伞形扩散，进一步加速高温蒸汽的扩散，有效避免接触不充分影响氧化质量的现象；（2）通气管与进气管的连接处固定有密封轴承，保证通气管与进气管连接处的密封性，避免高温蒸汽泄漏；（3）硅片支撑托盘与支撑板之间连接有多个均匀分布的导热柱，且导热柱为铜柱，能够使硅片受热更加均匀，有效提升晶体硅氧化效果；（4）壳体的内壁上位于每个支撑板的下侧均对应固定有加强筋，加强筋顶端与支撑板固定连接，用于对支撑板进行支撑，提升支撑板的稳定性；（5）利用设置的冷凝水箱、循环出水管、螺旋冷凝管道和循环进水管构成冷却水循环，可对壳体内部进行快速冷却降温，螺旋形的冷却水流可提升冷却效果，满足不同条件下的使用需求。附图说明图1为本技术的正视图；图2为本技术中壳体内部结构示意图；图3为图2中A处的放大结构示意图；图中标号说明：1壳体、2进气管、3高温蒸汽发生器、4通气管、5增压泵、6管道定位架、7驱动电机、8连接轴承、9轴承座、10布气管、11喷气孔、12支撑板、13电加热器、14导热柱、15硅片支撑托盘、16加强筋、17冷凝水箱、18水泵、19循环出水管、20螺旋冷凝管道、21循环进水管。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图；对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；显然；所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例；而不是全部的实施例，基于本技术中的实施例；本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例；都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。实施例1：请参阅图1-3，一种用于太阳能电池片钝化的晶体硅氧化处理设备，包括壳体1，壳体1的内部中心处设有进气管2，且进气管2顶端延伸至壳体1外，壳体1的一侧设有高温蒸汽发生器3，高温蒸汽发生器3为现有技术，在此不再赘述，高温蒸汽发生器3与进气管2之间连接有通气管4，通气管4上设置增压泵5，壳体1的上表面固定有用于对通气管4进行定位的管道定位架6，壳体1的内底部中心处固定有轴承座9，进气管2底端与轴本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于太阳能电池片钝化的晶体硅氧化处理设备，包括壳体（1），其特征在于：所述壳体（1）的内部中心处设有进气管（2），且进气管（2）顶端延伸至壳体（1）外，所述壳体（1）的一侧设有高温蒸汽发生器（3），所述高温蒸汽发生器（3）与进气管（2）之间连接有通气管（4），所述通气管（4）上设置增压泵（5），所述壳体（1）的上表面固定有用于对通气管（4）进行定位的管道定位架（6），所述壳体（1）的内底部中心处固定有轴承座（9），所述进气管（2）底端与轴承座（9）转动连接，所述壳体（1）与进气管（2）的连接处固定有连接轴承（8），所述壳体（1）的上表面固定有驱动电机（7），所述驱动电机（7）的输出端与进气管（2）之间连接有传动皮带，所述进气管（2）的外壁上固定有多组布气管（10），每组布气管（10）均包括多个呈环形设置的布气管（10），且布气管（10）与进气管（2）相连通，所述布气管（10）的端部封闭，所述壳体（1）的内壁上固定有多组呈环形设置的支撑板（12），所述布气管（10）的下侧壁上开设有多个等间距分布的喷气孔（11），所述喷气孔（11）的外端口径大于内端口径，且喷气孔（11）的侧壁为圆弧形，所述支撑板（12）内部固定有电加热器（13），所述支撑板（12）上设有硅片支撑托盘（15）。/n...

【技术特征摘要】
1.一种用于太阳能电池片钝化的晶体硅氧化处理设备，包括壳体（1），其特征在于：所述壳体（1）的内部中心处设有进气管（2），且进气管（2）顶端延伸至壳体（1）外，所述壳体（1）的一侧设有高温蒸汽发生器（3），所述高温蒸汽发生器（3）与进气管（2）之间连接有通气管（4），所述通气管（4）上设置增压泵（5），所述壳体（1）的上表面固定有用于对通气管（4）进行定位的管道定位架（6），所述壳体（1）的内底部中心处固定有轴承座（9），所述进气管（2）底端与轴承座（9）转动连接，所述壳体（1）与进气管（2）的连接处固定有连接轴承（8），所述壳体（1）的上表面固定有驱动电机（7），所述驱动电机（7）的输出端与进气管（2）之间连接有传动皮带，所述进气管（2）的外壁上固定有多组布气管（10），每组布气管（10）均包括多个呈环形设置的布气管（10），且布气管（10）与进气管（2）相连通，所述布气管（10）的端部封闭，所述壳体（1）的内壁上固定有多组呈环形设置的支撑板（12），所述布气管（10）的下侧壁上开设有多个等间距分布的喷气孔（11），所述喷气孔（11）的外端口径大于内端口径，且喷气孔（11）的侧壁为圆弧形，所述支撑板（12）内部固定有电加热器（13），所述支撑...

【专利技术属性】
技术研发人员：王泉龙，李琪，孙珠珠，周国栋，
申请(专利权)人：徐州中辉光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32