加液装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种加液装置包含：储液罐体，所述储液罐体用以存储待加入的液体，所述储液罐体设有出液接口；加液罐体接头，所述加液罐体接头用以密封连接所述加液入口，所述加液罐体接头上有管路接口和抽真空接口；加液管路，所述加液管路连接所述出液接口和所述管路接口。据此，整体的加液装置与周围厂区环境相对封闭，液体不会因为吹扫、溅滴、外溢等情形而挥发散逸到厂区环境中，从而避免了污染厂区环境气体，防止TVOC监测数据局部短时超标导致生产线报警和停线。

【技术实现步骤摘要】
加液装置
本技术涉及集成电路制造设备领域，特别涉及一种加注液体的工具。
技术介绍
随着半导体制造业的不断发展，半导体加工的技术节点不断推进，到达了28nm以下的先进制程节点。先进制程的推进，带来工艺难度与制造成本增加的同时，良率问题也成为一大挑战，任何细小错误都将导致重新流片，控制影响制品良率的环境因素变得越来越重要，越早发现和控制消除就等同更小损失、更大利润空间。已知环境中总挥发性有机物（TVOC）对制品良率有影响，现有技术中，通过在全厂（FAB）环境点安装有27个监测点，24个设备内部检测点，全面管控在环境的TVOC。但是，在某些补液作业中，所加入的液体容易引入挥发性有机物（VOC），从而使得区域环境中TVOC监测数值超过3倍的管控标准上限值（管控标准为≤240μg/m3）。例如，冷却机所采用的冷却液有3M生产的Flourinert与Novec系列产品、甲醇、乙醇、丙酮等，这类冷却液都属于挥发性有机物。在进行前述冷却液加液补液等作业时，VOC会严重影响周围环境，会造成由于冷却液的散逸，而导致VOC的升高使多个区域环境TVOC监测数值超标，而本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种加液装置，用于向用液罐体中加注液体，所述用液罐体具有加液入口，其特征在于，所述加液装置包含：/n储液罐体，所述储液罐体用以存储待加入的液体，所述储液罐体设有出液接口；/n加液罐体接头，所述加液罐体接头用以密封连接所述加液入口，所述加液罐体接头上有管路接口和抽真空接口；/n加液管路，所述加液管路连接所述出液接口和所述管路接口。/n

【技术特征摘要】
1.一种加液装置，用于向用液罐体中加注液体，所述用液罐体具有加液入口，其特征在于，所述加液装置包含：
储液罐体，所述储液罐体用以存储待加入的液体，所述储液罐体设有出液接口；
加液罐体接头，所述加液罐体接头用以密封连接所述加液入口，所述加液罐体接头上有管路接口和抽真空接口；
加液管路，所述加液管路连接所述出液接口和所述管路接口。


2.根据权利要求1所述的加液装置，其特征在于，所述储液罐体上设有漏斗和进液管路，所述进液管路上设有进液开关阀。


3.根据权利要求1所述的加液装置，其特征在于，
所述储液罐体上设有压力平衡机构，所述压力平衡机构包括：压力平衡孔、顶针、弹簧，所述顶针能滑动并能密封所述压力平衡孔，所述弹簧预压缩提供压紧力，所述压紧力推动所述顶针压向、密封所述压力平衡孔；
所述压紧力通过改变弹簧刚度和预压缩量设置；
所述压紧力设置为，所述储液罐体中气体压力小于0.9个大气压时，所述顶针被外部环境中1个大气压顶开，所述外部环境中气体进入储液罐体。


4.根据权利要求1所述的加液装置，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁鹏华，许文泽，
申请(专利权)人：上海华力集成电路制造有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31