一种在线维护的硅烷燃烧塔装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种在线维护的硅烷燃烧塔装置，涉及硅烷燃烧塔技术领域，为解决现有的硅烷绕烧塔在使用的过程中燃烧仓外部的温度得不到有效维护控制的问题。所述炉体的内部设置有燃烧仓，所述炉体的下端设置有内容框架，所述内容框架的内部设置有储水仓，所述燃烧仓的上方设置有分支管，所述分支管的下端设置有降温喷淋头，所述炉体的一侧设置有循环水泵，所述内容框架的两端均设置有散热风机，所述循环水泵的进水端和出水端上分别设置有抽水管和上水管，且抽水管位于储水仓的内部，所述循环水泵通过上水管与分支管连通设置，所述炉体的一侧外壁上设置有温度仪表，且温度仪表的感应端位于炉体的内部。

【技术实现步骤摘要】
一种在线维护的硅烷燃烧塔装置
本技术涉及硅烷燃烧塔
，具体为一种在线维护的硅烷燃烧塔装置。
技术介绍
硅烷即硅与氢的化合物，是一系列化合物的总称，包括甲硅烷、乙硅烷和一些更高级的硅氢化合物，其中，甲硅烷最为常见，有时也将甲硅烷简称为硅烷，硅烷之所以在高科技中被广泛应用并且越来越重要,首先是与它的特性有关，同时也与现代高技术的特殊需求有关。通过热分解或与其它气体的化学反应，可由硅烷制得单晶硅、多晶硅、非晶硅、金属硅化物、氮化硅、碳化硅、氧化硅等一系列含硅物质，利用硅烷可以实现最高的纯度、最精细(可达原子尺寸)的控制和最灵活多变的化学反应。从而将各种含硅材料按各种需要制成复杂精细的结构,这正是现代具有各种特异功能的材料和器件所要求的基本条件，硅烷在进行热分解处理是需要借助燃烧塔进行加工工作。现有的硅烷绕烧塔在使用的过程中燃烧仓外部的温度得不到有效的维护控制，导致炉体的整体温度升高，影响硅烷绕烧塔使用的安全系数，为此，我们提供一种在线维护的硅烷燃烧塔装置。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种在线维护的硅烷燃烧塔装置，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种在线维护的硅烷燃烧塔装置，包括炉体(1)，其特征在于：所述炉体(1)的内部设置有燃烧仓(2)，所述炉体(1)的下端设置有内容框架(6)，所述内容框架(6)的内部设置有储水仓(7)，所述燃烧仓(2)的上方设置有分支管(16)，所述分支管(16)的下端设置有降温喷淋头(17)，所述炉体(1)的一侧设置有循环水泵(11)，所述内容框架(6)的两端均设置有散热风机(9)。/n

【技术特征摘要】
1.一种在线维护的硅烷燃烧塔装置，包括炉体(1)，其特征在于：所述炉体(1)的内部设置有燃烧仓(2)，所述炉体(1)的下端设置有内容框架(6)，所述内容框架(6)的内部设置有储水仓(7)，所述燃烧仓(2)的上方设置有分支管(16)，所述分支管(16)的下端设置有降温喷淋头(17)，所述炉体(1)的一侧设置有循环水泵(11)，所述内容框架(6)的两端均设置有散热风机(9)。


2.根据权利要求1所述的一种在线维护的硅烷燃烧塔装置，其特征在于：所述循环水泵(11)的进水端和出水端上分别设置有抽水管(13)和上水管(14)，且抽水管(13)位于储水仓(7)的内部，所述循环水泵(11)通过上水管(14)与分支管(16)连通设置，所述炉体(1)的一侧外壁上设置有温度仪表(15)，且温度仪表(15)的感应端位于炉体(1)的内部。


3.根据权利要求1所述的一种在线维护的硅烷燃烧塔装置，其特征在于：所述炉体(1)的底部设置有定位托台(21)，且炉体(1)通过定位托台(21)与燃烧仓(2)支撑连接，所述定位托台(21)的四周均设置有排水孔(22)，且排水孔(22)与炉体(1)一体成型设置，所述排水孔...

【专利技术属性】
技术研发人员：邵震，
申请(专利权)人：江苏超日净化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32