一种抛光用白垫表面开槽装置及其实施方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种抛光用白垫表面开槽装置及其实施方法，包括工作台底座，所述工作台底座上表面的一端设置有立架，立架的上表面设置有横向驱动丝杆，横向驱动丝杆上拟合有第一移动块，第一移动块的上表面固定连接有纵向横梁，纵向横梁内设置有纵向驱动丝杆，纵向驱动丝杆上啮合有开槽支架。本发明专利技术提出的一种抛光用白垫表面开槽装置及其实施方法，采用横向驱动丝杆和纵向驱动丝杆控制开槽刀具横向和纵向移动，能够带动开槽刀具移动至抛光白垫表面上的任何位置，方便操控，便于实施，开槽刀具上设置有侧边切刀和底部切刀，侧边切刀先在抛光白垫的上表面切线，再由底部切刀抄底清槽，一次成型，工作效率高。

【技术实现步骤摘要】
一种抛光用白垫表面开槽装置及其实施方法
本专利技术涉及抛光
，特别涉及一种抛光用白垫表面开槽装置及其实施方法。
技术介绍
在众多的化学机械平面化工艺中，抛光组合物与半导体晶片表面接触。抛光组合物以化学方式修饰晶片表面，使该表面更易于进行清理。化学机械平面化工艺用的固定研磨抛光垫与带颗粒浆液的垫子能够去除晶片的修饰层和废弃抛光组合物，使得表面修饰、清理过程得以重复，直至得到所需的最终晶片表面性质，现有的抛光垫需要表面平整，才能对物料进行抛光打磨。中国专利CN212095934U公开了一种抛光白垫平铺压板设备，包括挤压台板，所述挤压台板下方四角处安装支撑柱，挤压台板所谓上方开设安装孔，所述挤压台板上通过安装孔安装有平铺挤压装置；所述平铺挤压装置包括定位杆、平铺板、支撑板和压平装置，定位杆的底端固定在平铺板上，定位杆上端固定在支撑板，支撑板上设置压平装置。本技术一种抛光白垫平铺压板设备，挤压弹簧挤压压板四角处，使整个压板压力均匀，保证抛光垫受力均匀，提高抛光垫挤压后的平整度，增加平铺效率，摩擦垫提高摩擦力，使抛光垫在挤压时不会移位，满足不同尺寸的抛光垫进行挤压平铺，提高设备的多用性，增加生产效益。该申请虽然在一定程度上解决了
技术介绍
中问题，但是该申请中设备主要针对白垫的压平处理，在抛光白垫生产中，往往还需要在白垫的表面对白垫进行开槽，现在还没有针对白垫开槽的设备，给白垫开槽带来不便。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种抛光用白垫表面开槽装置及其实施方法，采用横向驱动丝杆和纵向驱动丝杆控制开槽刀具横向和纵向移动，能够带动开槽刀具移动至抛光白垫表面上的任何位置，方便操控，便于实施，开槽刀具上设置有侧边切刀和底部切刀，侧边切刀先在抛光白垫的上表面切线，再由底部切刀抄底清槽，一次成型，不需要重复刀切开槽，工作效率高，使用简单，另外在侧边切刀上设置有卡合架，安装压制架，压制架在支撑弹簧的作用下紧压抛光白垫，对抛光白垫的表面起到压制作用，在开槽的过程中，能够防止抛光白垫槽口的边缘翘起或者褶皱，保证开槽边缘的完整性，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种抛光用白垫表面开槽装置，包括工作台底座，所述工作台底座上表面的一端设置有立架，立架的上表面设置有横向驱动丝杆，横向驱动丝杆上拟合有第一移动块，第一移动块的上表面固定连接有纵向横梁，纵向横梁内设置有纵向驱动丝杆，纵向驱动丝杆上啮合有开槽支架，所述开槽支架包括第二移动块和延伸支架，第二移动块的与纵向驱动丝杆啮合，第二移动块的一端固定连接有贯穿柱，贯穿柱贯穿纵向横梁，且贯穿柱两端分别连接有延伸支架，延伸支架之间安装有伸缩气缸，伸缩气缸的输出端贯穿延伸支架，且伸缩气缸的输出端连接有开槽刀具，所述开槽刀具的上表面固定连接有安装块，安装块通过螺栓与伸缩气缸的输出端连接，开槽刀具的两侧对称连接有侧边切刀，开槽刀具的一端设置有延伸板，延伸板一侧固定连接有竖直板。优选的，所述工作台底座的上表面设置有吸附台，吸附台上开设有吸附孔，吸附台内设置有真空泵。优选的，所述侧边切刀的外壁上固定连接有卡合架，卡合架上卡合连接有安装架。优选的，所述安装架上等距离的开设有活动孔，活动孔内活动连接有压制架。优选的，所述压制架的上表面等距离设置有第一导向柱，第一导向柱贯穿活动孔，且第一导向柱的上端固定连接有第一限位板，第一限位板上套接有支撑弹簧，支撑弹簧的上下端分别与安装架和压制架连接，压制架的两端开设有辊筒槽，辊筒槽内设置有辊筒结构。优选的，所述辊筒结构包括安装轴和活动辊筒，安装轴的两端与辊筒槽固定连接，安装轴与活动辊筒活动连接。优选的，所述压制架的下表面为光滑的平面，活动辊筒的下表面与压制架齐平。优选的，所述竖直板的下端开设导向孔，导向孔内活动连接有底部切刀。优选的，所述底部切刀的一侧等距离的设置有第二导向柱，第二导向柱贯穿导向孔，且第二导向柱上套接有撑紧弹簧，撑紧弹簧的两端分别与底部切刀和竖直板的侧壁连接。本专利技术要解决的另一技术问题是提供一种抛光用白垫表面开槽装置的实施方法，包括如下步骤：S1：将需要开槽的抛光白垫放置到吸附台上，真空泵开启，将抛光白垫吸附固定；S2：横向驱动丝杆在电机的控制下旋转，第一移动块在横向驱动丝杆上移动位置，直至移动至抛光白垫需要开槽的位置上；S3：纵向驱动丝杆在电机的控制下旋转，第二移动块在纵向驱动丝杆上移动，带动开槽刀具移动至抛光白垫靠近立架的一侧；S4：伸缩气缸带动开槽刀具下移，直至压制架的一端与抛光白垫相抵，继续下移开槽刀具，将侧边切刀插入至抛光白垫中，保持伸缩气缸的伸缩长度，纵向驱动丝杆带动第二移动块移动；S5：第二移动块向远离立架的方向移动，侧边切刀沿直线进行分切，同时底部切刀从开槽的槽底将废料切除，并随着开槽刀具的整体移动，将废料推出槽口。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：本专利技术提出的一种抛光用白垫表面开槽装置及其实施方法，采用横向驱动丝杆和纵向驱动丝杆控制开槽刀具横向和纵向移动，能够带动开槽刀具移动至抛光白垫表面上的任何位置，方便操控，便于实施，开槽刀具上设置有侧边切刀和底部切刀，侧边切刀先在抛光白垫的上表面切线，再由底部切刀抄底清槽，一次成型，不需要重复刀切开槽，工作效率高，使用简单，另外在侧边切刀上设置有卡合架，安装压制架，压制架在支撑弹簧的作用下紧压抛光白垫，对抛光白垫的表面起到压制作用，在开槽的过程中，能够防止抛光白垫槽口的边缘翘起或者褶皱，保证开槽边缘的完整性。附图说明图1为本专利技术的整体结构图；图2为本专利技术的开槽支架安装结构图；图3为本专利技术的开槽刀具结构图；图4为本专利技术的开槽刀具部分结构图；图5为本专利技术的侧边切刀连接结构图；图6为本专利技术的安装架安装结构图；图7为本专利技术的压制架结构图；图8为本专利技术的辊筒结构结构图；图9为本专利技术的底部切刀结构图。图中：1、工作台底座；11、立架；12、横向驱动丝杆；13、第一移动块；14、纵向横梁；15、纵向驱动丝杆；16、吸附台；161、吸附孔；2、开槽支架；21、第二移动块；211、贯穿柱；22、延伸支架；221、伸缩气缸；3、开槽刀具；31、安装块；32、侧边切刀；321、卡合架；33、延伸板；34、竖直板；341、导向孔；35、安装架；351、活动孔；36、压制架；361、第一导向柱；362、第一限位板；363、支撑弹簧；364、辊筒槽；365、辊筒结构；3651、安装轴；3652、活动辊筒；37、底部切刀；371、第二导向柱；372、撑紧弹簧。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图1，一种本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种抛光用白垫表面开槽装置，包括工作台底座(1)，其特征在于：所述工作台底座(1)上表面的一端设置有立架(11)，立架(11)的上表面设置有横向驱动丝杆(12)，横向驱动丝杆(12)上拟合有第一移动块(13)，第一移动块(13)的上表面固定连接有纵向横梁(14)，纵向横梁(14)内设置有纵向驱动丝杆(15)，纵向驱动丝杆(15)上啮合有开槽支架(2)，所述开槽支架(2)包括第二移动块(21)和延伸支架(22)，第二移动块(21)的与纵向驱动丝杆(15)啮合，第二移动块(21)的一端固定连接有贯穿柱(211)，贯穿柱(211)贯穿纵向横梁(14)，且贯穿柱(211)两端分别连接有延伸支架(22)，延伸支架(22)之间安装有伸缩气缸(221)，伸缩气缸(221)的输出端贯穿延伸支架(22)，且伸缩气缸(221)的输出端连接有开槽刀具(3)，所述开槽刀具(3)的上表面固定连接有安装块(31)，安装块(31)通过螺栓与伸缩气缸(221)的输出端连接，开槽刀具(3)的两侧对称连接有侧边切刀(32)，开槽刀具(3)的一端设置有延伸板(33)，延伸板(33)一侧固定连接有竖直板(34)。/n

【技术特征摘要】
1.一种抛光用白垫表面开槽装置，包括工作台底座(1)，其特征在于：所述工作台底座(1)上表面的一端设置有立架(11)，立架(11)的上表面设置有横向驱动丝杆(12)，横向驱动丝杆(12)上拟合有第一移动块(13)，第一移动块(13)的上表面固定连接有纵向横梁(14)，纵向横梁(14)内设置有纵向驱动丝杆(15)，纵向驱动丝杆(15)上啮合有开槽支架(2)，所述开槽支架(2)包括第二移动块(21)和延伸支架(22)，第二移动块(21)的与纵向驱动丝杆(15)啮合，第二移动块(21)的一端固定连接有贯穿柱(211)，贯穿柱(211)贯穿纵向横梁(14)，且贯穿柱(211)两端分别连接有延伸支架(22)，延伸支架(22)之间安装有伸缩气缸(221)，伸缩气缸(221)的输出端贯穿延伸支架(22)，且伸缩气缸(221)的输出端连接有开槽刀具(3)，所述开槽刀具(3)的上表面固定连接有安装块(31)，安装块(31)通过螺栓与伸缩气缸(221)的输出端连接，开槽刀具(3)的两侧对称连接有侧边切刀(32)，开槽刀具(3)的一端设置有延伸板(33)，延伸板(33)一侧固定连接有竖直板(34)。


2.如权利要求1所述的一种抛光用白垫表面开槽装置，其特征在于：所述工作台底座(1)的上表面设置有吸附台(16)，吸附台(16)上开设有吸附孔(161)，吸附台(16)内设置有真空泵。


3.如权利要求1所述的一种抛光用白垫表面开槽装置，其特征在于：所述侧边切刀(32)的外壁上固定连接有卡合架(321)，卡合架(321)上卡合连接有安装架(35)。


4.如权利要求3所述的一种抛光用白垫表面开槽装置，其特征在于：所述安装架(35)上等距离的开设有活动孔(351)，活动孔(351)内活动连接有压制架(36)。


5.如权利要求4所述的一种抛光用白垫表面开槽装置，其特征在于：所述压制架(36)的上表面等距离设置有第一导向柱(361)，第一导向柱(361)贯穿活动孔(351)，且第一导向柱(361)的上端固定连接有第一限位板(362)，第一限位板(362)上套接有支撑弹簧(363)，支撑弹簧(363)的上下端分别与安装架(35)和压制架(36)连接，压制架(...

【专利技术属性】
技术研发人员：李加海，谭鸿，
申请(专利权)人：安徽禾臣新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34